ហេតុអ្វីបានជាការគ្រប់គ្រងសីតុណ្ហភាពមានសារៈសំខាន់ក្នុងការផលិត Semiconductor?

នៅក្នុងការផលិត semiconductor, ការត្រួតពិនិត្យសីតុណ្ហភាពជាក់លាក់  ដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់ក្នុងការធានាគុណភាពបន្ទះឈីប ដំណើរការ និងទិន្នផលផលិតកម្ម។ សូម្បីតែការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាពបន្តិចអាចបណ្តាលឱ្យមានការផ្លាស់ប្តូរយ៉ាងសំខាន់នៅក្នុងឥរិយាបថសម្ភារៈ និងលទ្ធផលនៃដំណើរការ ដែលនាំឱ្យខូចមុខងារ ឬឧបករណ៍បរាជ័យ។

ឥទ្ធិពលនៃភាពតានតឹងកម្ដៅ

ឧបករណ៍ semiconductor មានស្រទាប់ជាច្រើននៃសម្ភារៈដែលមានមេគុណផ្សេងគ្នានៃការពង្រីកកំដៅ (CTE) ។ ឧទហរណ៍ ស៊ីលីកុន wafers ការភ្ជាប់គ្នារវាងលោហៈ និងស្រទាប់ dielectric ពង្រីក ឬចុះកិច្ចសន្យាក្នុងអត្រាផ្សេងគ្នាកំឡុងពេលកំដៅ ឬត្រជាក់យ៉ាងលឿន។ ភាពមិនស៊ីសង្វាក់គ្នានេះអាចបង្កើតភាពតានតឹងកម្ដៅ ដែលនាំឱ្យមានបញ្ហាផលិតកម្មធ្ងន់ធ្ងរដូចជា៖

* ស្នាមប្រេះ៖ ការប្រេះលើផ្ទៃ ឬខាងក្នុងនៅក្នុង wafers អាចប៉ះពាល់ដល់ភាពសុចរិតនៃមេកានិច និងនាំឱ្យមានការបរាជ័យឧបករណ៍។

* ការបំផ្លិចបំផ្លាញ៖ ខ្សែភាពយន្តស្តើង ដូចជាលោហៈ ឬស្រទាប់ឌីអេឡិចត្រិច អាចបំបែកចេញពីគ្នា ដែលធ្វើឲ្យដំណើរការអគ្គិសនីរបស់បន្ទះឈីបចុះខ្សោយ និងភាពជឿជាក់ក្នុងរយៈពេលយូរ។

* ខូចទ្រង់ទ្រាយ៖ រចនាសម្ព័ន្ធឧបករណ៍អាចប្រែប្រួលដោយសារតែភាពតានតឹង ដែលបណ្តាលឱ្យមានបញ្ហាអគ្គិសនីដូចជាការលេចធ្លាយ ឬសៀគ្វីខ្លី។

តួនាទីនៃការត្រួតពិនិត្យសីតុណ្ហភាពភាពជាក់លាក់ខ្ពស់។

ប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងសីតុណ្ហភាពកម្រិតខ្ពស់ដូចជាម៉ាស៊ីនកំដៅឧស្សាហកម្ម TEYU ត្រូវបានរចនាឡើងដើម្បីរក្សាស្ថេរភាពសីតុណ្ហភាពជាមួយនឹងភាពជាក់លាក់ពិសេស។ ឧទាហរណ៍ TEYU's ម៉ាស៊ីនត្រជាក់ឡាស៊ែរជ្រុល  ផ្តល់នូវភាពត្រឹមត្រូវនៃការគ្រប់គ្រងរហូតដល់ ±0.08°C ដែលធានានូវស្ថេរភាពដំណើរការសម្រាប់ឧបករណ៍ semiconductor សំខាន់ៗ រួមទាំង etchers ប្រព័ន្ធដាក់ប្រាក់ និងឧបករណ៍ដាក់អ៊ីយ៉ុង។

អត្ថប្រយោជន៍នៃការត្រជាក់ភាពជាក់លាក់នៅក្នុងដំណើរការ Semiconductor

1. ការពារការបំបែកភាពតានតឹងដោយកម្ដៅ៖  ដោយរក្សាភាពត្រជាក់ឯកសណ្ឋាន ម៉ាស៊ីនត្រជាក់កាត់បន្ថយផលប៉ះពាល់នៃ CTE មិនត្រូវគ្នារវាងវត្ថុធាតុផ្សេងៗគ្នា កាត់បន្ថយហានិភ័យនៃការប្រេះ និង delamination យ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាពអំឡុងពេលជិះកង់កម្ដៅ។

2. ធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវឯកសណ្ឋាន Doping៖  នៅក្នុងការផ្សាំអ៊ីយ៉ុង និងការបន្ទោរបង់ជាបន្តបន្ទាប់ លក្ខខណ្ឌកម្ដៅមានស្ថេរភាពធានាបាននូវសកម្មភាព dopant ជាប់លាប់នៅទូទាំង wafer បង្កើនដំណើរការបន្ទះឈីប និងភាពជឿជាក់។

3. បង្កើនភាពស៊ីសង្វាក់គ្នានៃស្រទាប់អុកស៊ីដ៖  បទប្បញ្ញត្តិសីតុណ្ហភាពត្រឹមត្រូវជួយលុបបំបាត់ជម្រាលកម្ដៅពីគែមទៅកណ្តាលកំឡុងពេលអុកស៊ីតកម្ម ធានាបាននូវភាពក្រាស់នៃច្រកទ្វារអុកស៊ីត ដែលមានសារៈសំខាន់សម្រាប់លក្ខណៈត្រង់ស៊ីស្ទ័រស្រប។

សេចក្តីសន្និដ្ឋាន

ការ​គ្រប់​គ្រង​សីតុណ្ហភាព​គឺ​ជា​រឿង​មិន​អាច​ខ្វះ​បាន​ក្នុង​ការ​ផលិត​គ្រឿង​អេឡិចត្រូនិក។ ជាមួយនឹងការគ្រប់គ្រងកម្ដៅដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ក្រុមហ៊ុនផលិតអាចកាត់បន្ថយពិការភាពដែលបណ្តាលមកពីភាពតានតឹងកម្ដៅ ធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវឯកសណ្ឋាននៅក្នុងដំណើរការសារធាតុ doping និងអុកស៊ីតកម្ម ហើយទីបំផុតសម្រេចបាននូវទិន្នផលបន្ទះឈីបខ្ពស់ និងដំណើរការឧបករណ៍កាន់តែប្រសើរ។