He aha te mea he mea nui te mana o te pāmahana i roto i te hanga Semiconductor?

I roto i te hanga semiconductor, mana pāmahana pū  he mahi nui ki te whakarite i te kounga o te maramara, te mahi, me te hua whakaputa. Ahakoa te iti o te paheketanga o te pāmahana ka puta he huringa nui i roto i te whanonga rawa me nga hua o te tukanga, ka arai pea ki te koha, ki te rahunga ranei o te taputapu.

Te Painga o te Ngaawha

Ko nga taputapu Semiconductor he maha nga paparanga o nga rawa me nga rereke rereke o te roha wera (CTE). Hei tauira, ko nga angiangi silicon, nga hononga whakarewa, me nga paparanga dielectric ka whakawhānuihia, ka kirimana ranei i nga reiti rereke i te wa e tere ana te whakamahana, te whakamatao ranei. Ka taea e tenei koretake te hanga i te ahotea waiariki, ka arai i nga take whakangao nui penei i te:

* Kapiti: Ko nga kapiti o te mata, o roto ranei i roto i nga angiangi ka taea te whakararu i te tika o te miihini me te arai ki te kore o te taputapu.

* Te whakamaarama: Ko nga kiriata angiangi, penei i te konganuku, te paparanga dielectric ranei, ka wehe, ka ngoikore te mahi hiko o te maramara me te pono mo te wa roa.

* Te rereke o te hanganga: Ka paheke pea nga hanganga o nga taputapu na te ahotea, ka raru te hiko penei i te turuturu, te ara iahiko poto ranei.

Te Mahi a te Mana Whakawera-Tirohanga

Ko nga punaha whakahaere pāmahana teitei penei i nga miihini ahumahi TEYU i hangaia hei pupuri i te pumau o te pāmahana me te tino tika. Hei tauira, ko TEYU's chiller taiaho ultrafast  tuku i te mana tika ki runga ki ± 0.08°C, whakarite i te pūmautanga tukanga mō taputapu semiconductor tino, tae atu etchers, pūnaha waipara, me implanters katote.

Nga Painga o te Whakamaoho Tika i roto i nga Tukatuka Semiconductor

1. Aukati i te Ngatata Ngawha:  Ma te pupuri i te whakamahana riterite, ka whakaitihia e te hunga whakamaroke nga paanga o te kore o te CTE i waenga i nga rawa rereke, ka whakaiti pai i te tupono o te kapiti me te whakaroa i te wa o te paihikara waiariki.

2. Whakapai ake i te Tauritenga Doping:  I roto i te whakaurunga o te katote me te whakapouri i muri mai, ko nga tikanga waiariki pumau ka whakarite kia rite tonu te whakahohe dopant puta noa i te angiangi, te whakarei ake i te mahi maramara me te pono.

3. Whakarei ake i te Tauritenga Papa Oxide:  Ka awhina te ture pāmahana tika ki te whakakore i nga rōnaki waiariki taha-ki-pokapū i te hāoratanga, me te whakarite kia rite te matotoru o te kuaha waikura, he mea nui mo nga ahuatanga transistor rite.

Whakamutunga

He mea nui te whakahaere i te pāmahana i roto i te hanga semiconductor. Ma te tino tika o te whakahaere waiariki, ka taea e nga kaihanga te whakaheke i nga hapa i puta mai i te ahotea o te waiariki, te whakapai ake i te riterite i roto i nga mahi doping me te hāora, me te mutunga ka eke ki runga ake nga hua maramara me te pai ake o te mahi a te taputapu.