No ke aha he mea koʻikoʻi ka mana o ka wela i ka hana semiconductor?

I ka hana semiconductor, hoʻomalu mahana pono  He kuleana koʻikoʻi ia i ka hōʻoia ʻana i ka maikaʻi o ka chip, ka hana, a me ka hua hana. Hiki i nā loli liʻiliʻi o ka wela ke hoʻololi nui i ka ʻano a me nā hopena kaʻina hana, hiki ke alakaʻi i nā hemahema a i ʻole nā ​​mea hana.

Ka hopena o ke kaumaha wela

Loaʻa nā ʻenehana Semiconductor i nā papa he nui o nā mea me nā coefficients like ʻole o ka hoʻonui wela (CTE). No ka laʻana, hoʻonui a hoʻopaʻa ʻia nā wafer silika, nā mea pili metala, a me nā papa dielectric i nā uku like ʻole i ka wā e hoʻomehana wikiwiki ai a hoʻomaha paha. Hiki i kēia mismatch ke hana i ke kaumaha wela, e alakaʻi ana i nā pilikia hana koʻikoʻi e like me:

* Nā māwae: Hiki i ka ʻili a i ʻole nā māwae i loko o nā wafers ke hoʻololi i ka pono mechanical a alakaʻi i ka hemahema o ka mīkini.

* Delamination: Hiki i nā kiʻiʻoniʻoni lahilahi, e like me ka metala a i ʻole nā papa dielectric, hiki ke hoʻokaʻawale, hoʻonāwaliwali i ka hana uila o ka chip a me ka hilinaʻi lōʻihi.

* Hoʻololi hoʻolālā: Hiki ke hoʻoneʻe ʻia nā ʻōnaehana ma muli o ke koʻikoʻi, e hoʻopilikia ana i ka uila e like me ka leakage a i ʻole nā ​​kaapuni pōkole.

ʻO ke kuleana o ka hoʻomalu wela kiʻekiʻe

Hoʻolālā ʻia nā ʻōnaehana hoʻomalu wela kiʻekiʻe e like me TEYU ʻoihana chillers e mālama i ke kūpaʻa wela me ka pololei ʻokoʻa. No ka laʻana, ʻo TEYU's mea hoʻoheheʻe laser ultrafast  hāʻawi i ka mana pololei a hiki i ± 0.08 ° C, e hōʻoia ana i ka paʻa o ke kaʻina hana no nā lako semiconductor koʻikoʻi, me nā etchers, nā ʻōnaehana deposition, a me nā implanters ion.

Pōmaikaʻi o ka hoʻoluʻu pololei i nā kaʻina hana semiconductor

1. Kāohi i ka haʻihaʻi wela:  Ma ka mālama ʻana i ka hoʻoluʻu ʻaʻahu, hoʻemi ka chillers i nā hopena o ka like ʻole o ka CTE ma waena o nā mea like ʻole, e hōʻemi maikaʻi ana i ka pilikia o nā māwae a me ka delamination i ka wā kaʻa uila.

2. Hoʻomaikaʻi i ka like ʻana o ka Doping:  I ka hoʻokomo ʻana i ka ion a me ka hoʻopili ʻana ma hope, ʻo nā kūlana wela kūpaʻa e hōʻoia i ka hoʻoulu ʻana o ka dopant ma waena o ka wafer, hoʻonui i ka hana chip a me ka hilinaʻi.

3. Hoʻonui i ka paʻa ʻana o ka Layer Oxide:  ʻO ka hoʻoponopono wela kūpono e kōkua i ka hoʻopau ʻana i nā gradients wela o ke kikowaena i ka wā o ka oxidation, e hōʻoia ana i ka mānoanoa o ka ʻīpuka oxide, koʻikoʻi no nā ʻano transistor mau.

Ka hopena

He mea nui ka mana o ka wela i ka hana semiconductor. Me ka hoʻokele thermal precision kiʻekiʻe, hiki i nā mea hana ke hōʻemi i nā hemahema i hoʻokumu ʻia e ke koʻikoʻi wela, hoʻomaikaʻi i ka hoʻohālikelike ʻana i nā kaʻina doping a me ka oxidation, a loaʻa i ka hopena kiʻekiʻe aʻe a me ka hana ʻoi aku ka maikaʻi.