Дакладны кантроль тэмпературы для лазерных сістэм і прамысловага прымянення з 2002 года
Мова
Дакладны кантроль тэмпературы мае важнае значэнне ў вытворчасці паўправаднікоў для прадухілення цеплавых нагрузак, павышэння стабільнасці працэсу і павышэння прадукцыйнасці чыпаў. Высокадакладныя ахаладжальнікі дапамагаюць паменшыць колькасць дэфектаў, такіх як расколіны і расслаенне, забяспечваюць раўнамернае легіраванне і падтрымліваюць пастаянную таўшчыню аксіднага пласта — ключавыя фактары павышэння выхаду і надзейнасці.
У вытворчасці паўправаднікоў дакладны кантроль тэмпературы адыгрывае жыццёва важную ролю ў забеспячэнні якасці, прадукцыйнасці і выхаду чыпаў. Нават нязначныя ваганні тэмпературы могуць выклікаць значныя змены ў паводзінах матэрыялу і выніках працэсу, што патэнцыйна можа прывесці да дэфектаў або паломак прылад.
Уплыў цеплавога стрэсу
Паўправадніковыя прылады складаюцца з некалькіх слаёў матэрыялаў з рознымі каэфіцыентамі цеплавога пашырэння (КТР). Напрыклад, крэмніевыя пласціны, металічныя злучэнні і дыэлектрычныя слаі пашыраюцца або сціскаюцца з рознай хуткасцю падчас хуткага награвання або астуджэння. Гэта неадпаведнасць можа ствараць цеплавое напружанне, што прыводзіць да сур'ёзных праблем у вытворчасці, такіх як:
* Расколіны: Павярхоўныя або ўнутраныя расколіны ў пласцінах могуць парушыць механічную цэласнасць і прывесці да паломкі прылады.
* Расслаенне: Тонкія плёнкі, такія як металічныя або дыэлектрычныя пласты, могуць аддзяляцца, што аслабляе электрычныя характарыстыкі і доўгатэрміновую надзейнасць чыпа.
* Дэфармацыя канструкцыі: канструкцыі прылад могуць дэфармавацца з-за напружання, што прыводзіць да электрычных праблем, такіх як уцечка або кароткае замыканне.
Роля высокадакладнага кантролю тэмпературы
Такія перадавыя сістэмы кантролю тэмпературы, як прамысловыя чылеры TEYU, прызначаны для падтрымання стабільнасці тэмпературы з выключнай дакладнасцю. Напрыклад, звышхуткі лазерны чылер TEYU забяспечвае дакладнасць кіравання да ±0,08°C, што забяспечвае стабільнасць працэсу для крытычна важнага паўправадніковага абсталявання, у тым ліку травільнікаў, сістэм нанясення і іённых імплантатараў.
Перавагі дакладнага астуджэння ў паўправадніковых працэсах
1. Прадухіляе расколіны ад цеплавога напружання: падтрымліваючы раўнамернае астуджэнне, чылеры мінімізуюць наступствы няроўнасці КТР паміж рознымі матэрыяламі, эфектыўна зніжаючы рызыку расколін і расслаення падчас тэрмічнага цыклавання.
2. Паляпшае аднастайнасць легіравання: пры іённай імплантацыі і наступным адпале стабільныя тэрмічныя ўмовы забяспечваюць паслядоўную актывацыю легіруючых рэчываў па ўсёй пласціне, павышаючы прадукцыйнасць і надзейнасць чыпа.
3. Паляпшае кансістэнцыю аксіднага пласта: Дакладнае рэгуляванне тэмпературы дапамагае ліквідаваць цеплавыя градыенты ад краю да цэнтра падчас акіслення, забяспечваючы раўнамерную таўшчыню аксіднага пласта затвора, што мае вырашальнае значэнне для стабільных характарыстык транзістара.
Выснова
Кантроль тэмпературы незаменны ў вытворчасці паўправаднікоў. Дзякуючы высокадакладнаму тэрмарэгуляванню вытворцы могуць паменшыць колькасць дэфектаў, выкліканых цеплавым напружаннем, палепшыць аднастайнасць працэсаў легіравання і акіслення і, у канчатковым выніку, дасягнуць больш высокага выхаду чыпаў і лепшай прадукцыйнасці прылад.
Мы тут для вас, калі мы вам патрэбны.
Калі ласка, запоўніце форму, каб звязацца з намі, і мы будзем рады вам дапамагчы.
Кампанія TEYU S&A Chiller была заснавана ў 2002 годзе і мае 23-гадовы вопыт вытворчасці чылераў, і цяпер прызнана піянерам у галіне тэхналогій астуджэння і надзейным партнёрам у лазернай прамысловасці.
Аўтарскае права © 2025 TEYU S&A Chiller - Усе правы абаронены.
