Täpne temperatuuri reguleerimine lasersüsteemidele ja tööstuslikele rakendustele alates 2002. aastast
Keel
Pooljuhtide tootmisel on täpne temperatuuri reguleerimine oluline, et vältida termilist pinget, parandada protsessi stabiilsust ja kiibi jõudlust. Ülitäpsed jahutid aitavad vähendada defekte, nagu praod ja delaminatsioon, tagada ühtlane legeerimine ja säilitada ühtlane oksiidikihi paksus – need on olulised tegurid saagikuse ja töökindluse suurendamisel.
Pooljuhtide tootmises mängib täpne temperatuuri reguleerimine olulist rolli kiibi kvaliteedi, jõudluse ja tootmistulemuste tagamisel. Isegi väikesed temperatuurikõikumised võivad põhjustada olulisi muutusi materjali käitumises ja protsessi tulemustes, mis võib viia defektide või seadmete riketeni.
Termilise stressi mõju
Pooljuhtseadised koosnevad mitmest materjalikihist, millel on erinevad soojuspaisumistegurid (CTE). Näiteks räniplaadid, metallühendused ja dielektrilised kihid paisuvad või tõmbuvad kokku kiire kuumutamise või jahutamise ajal erineva kiirusega. See ebakõla võib tekitada termilist pinget, mis viib tõsiste tootmisprobleemideni, näiteks:
* Praod: Vahvlite pinna- või sisemised praod võivad kahjustada mehaanilist terviklikkust ja põhjustada seadme rikke.
* Delaminatsioon: Õhukesed kiled, näiteks metall- või dielektrilised kihid, võivad eralduda, nõrgendades kiibi elektrilist jõudlust ja pikaajalist töökindlust.
* Konstruktsioonideformatsioon: Seadme konstruktsioonid võivad pinge tõttu deformeeruda, põhjustades elektriprobleeme, näiteks lekkeid või lühiseid.
Ülitäpse temperatuurikontrolli roll
Täiustatud temperatuuri juhtimissüsteemid, näiteks TEYU tööstuslikud jahutid, on loodud temperatuuri stabiilsuse säilitamiseks erakordse täpsusega. Näiteks TEYU ülikiire laserjahuti pakub kuni ±0,08 °C juhtimistäpsust, tagades protsessi stabiilsuse kriitiliste pooljuhtseadmete, sealhulgas söövitusseadmete, sadestussüsteemide ja ioonimplantaatorite jaoks.
Täppisjahutuse eelised pooljuhtprotsessides
1. Hoiab ära termilise pinge pragunemise: Ühtlase jahutuse säilitamise abil minimeerivad jahutid erinevate materjalide CTE mittevastavuse mõju, vähendades tõhusalt pragude ja delaminatsiooni ohtu termilise tsükkelduse ajal.
2. Parandab dopingu ühtlust: ioonide implanteerimisel ja järgneval lõõmutamisel tagavad stabiilsed termilised tingimused dopantide ühtlase aktiveerimise kogu vahvlis, parandades kiibi jõudlust ja töökindlust.
3. Parandab oksiidikihi ühtlust: täpne temperatuuri reguleerimine aitab oksüdeerimise ajal kõrvaldada servast keskpunktini ulatuvaid termilisi gradiente, tagades ühtlase paisuoksiidi paksuse, mis on transistori ühtlaste omaduste jaoks ülioluline.
Kokkuvõte
Temperatuuri reguleerimine on pooljuhtide tootmisel hädavajalik. Täpse termilise juhtimise abil saavad tootjad vähendada termilisest pingest tingitud defekte, parandada legeerimis- ja oksüdatsiooniprotsesside ühtlust ning lõppkokkuvõttes saavutada suurema kiibi saagise ja parema seadme jõudluse.
Oleme teie jaoks olemas, kui te meid vajate.
Meiega ühenduse võtmiseks täitke vorm ja me aitame teid hea meelega.
TEYU S&A Chiller asutati 2002. aastal 23-aastase jahutite tootmise kogemusega ning on nüüdseks tunnustatud jahutustehnoloogia pioneerina ja usaldusväärse partnerina laseritööstuses.
Autoriõigus © 2025 TEYU S&A Chiller - Kõik õigused kaitstud.
