Laser Berriak
Tenperatura Kontrol Zehatza Laser Sistemetarako eta Aplikazio Industrialetarako 2002tik
Hizkuntza
Tenperatura-kontrol zehatza ezinbestekoa da erdieroaleen fabrikazioan estres termikoa saihesteko, prozesuaren egonkortasuna hobetzeko eta txiparen errendimendua hobetzeko. Zehaztasun handiko hozkailuek pitzadurak eta delaminazioa bezalako akatsak murrizten laguntzen dute, dopaketa uniformea bermatzen dute eta oxido geruzaren lodiera koherentea mantentzen dute; faktore gakoak dira errendimendua eta fidagarritasuna handitzeko.
Erdieroaleen fabrikazioan, tenperaturaren kontrol zehatzak funtsezko zeregina du txiparen kalitatea, errendimendua eta ekoizpen-errendimendua bermatzeko. Tenperatura-gorabehera txikiek ere aldaketa nabarmenak eragin ditzakete materialen portaeran eta prozesuen emaitzetan, eta horrek akatsak edo gailuen matxurak sor ditzake.
Estres Termikoaren Eragina
Erdieroaleen gailuek hainbat materialen geruza dituzte, hedapen termiko koefiziente (CTE) desberdinekin. Adibidez, siliziozko obleak, metalezko interkonexioak eta dielektriko geruzak abiadura desberdinetan zabaltzen edo uzkurtzen dira berotze edo hozte azkarraren ondorioz. Desoreka horrek tentsio termikoa sor dezake, eta horrek fabrikazio arazo larriak sor ditzake, hala nola:
* Pitzadurak: Obleen gainazaleko edo barneko pitzadurek osotasun mekanikoa arriskuan jar dezakete eta gailuaren matxura eragin.
* Delaminazioa: Geruza meheak, hala nola metalezko edo dielektrikozko geruzak, bereizi egin daitezke, txiparen errendimendu elektrikoa eta epe luzeko fidagarritasuna ahulduz.
* Egitura-deformazioa: Gailuen egiturak deformatu egin daitezke tentsioaren ondorioz, eta horrek arazo elektrikoak eragin ditzake, hala nola ihesak edo zirkuitulaburrak.
Tenperatura-kontrolaren zehaztasun handiko eginkizuna
TEYU hozkailu industrialak bezalako tenperatura-kontrol sistema aurreratuak tenperatura-egonkortasuna zehaztasun apartekoarekin mantentzeko diseinatuta daude. Adibidez, TEYUren laser hozkailu ultra-azkarrak ±0,08 °C-ko kontrol-zehaztasuna eskaintzen du, erdieroaleen ekipamendu kritikoetarako prozesu-egonkortasuna bermatuz, besteak beste, grabatzaileak, deposizio-sistemak eta ioi-inplantatzaileak.
Erdieroaleen prozesuetan zehaztasun handiko hoztearen abantailak
1. Tentsio Termikoaren Pitzadurak Saihestu: Hozte uniformea mantenduz, hozkailuek material ezberdinen arteko CTE desadostasunaren ondorioak minimizatzen dituzte, ziklo termikoan zehar pitzadurak eta delaminazioa izateko arriskua eraginkortasunez murriztuz.
2. Dopaketaren uniformetasuna hobetzen du: Ioi inplantazioan eta ondorengo errekuntzan, baldintza termiko egonkorrek dopantearen aktibazio koherentea bermatzen dute oblean zehar, txiparen errendimendua eta fidagarritasuna hobetuz.
3. Oxido geruzaren koherentzia hobetzen du: Tenperatura-erregulazio zehatzak oxidazioan zehar ertz-zentro gradiente termikoak ezabatzen laguntzen du, atearen oxidoaren lodiera uniformea bermatuz, transistorearen ezaugarri koherenteetarako ezinbestekoa dena.
Ondorioa
Tenperatura kontrolatzea ezinbestekoa da erdieroaleen fabrikazioan. Zehaztasun handiko kudeaketa termikoarekin, fabrikatzaileek estres termikoak eragindako akatsak murriztu ditzakete, dopatze eta oxidazio prozesuen uniformetasuna hobetu eta, azken finean, txiparen errendimendu handiagoa eta gailuaren errendimendu hobea lor ditzakete.
Zuretzat gaude behar gaituzunean.
Mesedez, bete formularioa gurekin harremanetan jartzeko, eta pozik lagunduko dizugu.
TEYU S&A Chiller 2002an sortu zen, 23 urteko hozkailuen fabrikazioan esperientziarekin, eta orain hozte-teknologiako aitzindari eta laser-industrian bazkide fidagarri gisa aitortzen da.
Copyright © 2025 TEYU S&A Chiller - Eskubide guztiak erreserbatuta.
