No ke aha he mea koʻikoʻi ka kaohi mahana i ka hana ʻana o Semiconductor?

I ka hana ʻana o ka semiconductor, he kuleana koʻikoʻi ka kaohi wela pololei i ka hōʻoia ʻana i ka maikaʻi o ka chip, ka hana, a me ka hua hana. ʻOiai nā loli iki o ka mahana hiki ke hana i nā loli koʻikoʻi i ke ʻano o nā mea a me nā hopena o ke kaʻina hana, e alakaʻi paha i nā hemahema a i ʻole ka hemahema o ka hāmeʻa.

Ka Hopena o ke Koʻikoʻi Wera

Aia nā mea hana semiconductor i nā papa he nui o nā mea me nā coefficients like ʻole o ka hoʻonui wela (CTE). No ka laʻana, hoʻonui a ʻuʻuku paha nā wafers silicon, nā interconnects metala, a me nā papa dielectric i nā wikiwiki like ʻole i ka wā e hoʻomehana wikiwiki ai a hoʻoluʻu paha. Hiki i kēia kūlike ʻole ke hana i ke kaumaha wela, e alakaʻi ana i nā pilikia hana koʻikoʻi e like me:

* Nā māwae: Hiki i nā māwae ʻili a kūloko paha i loko o nā wafers ke hoʻopilikia i ka pono mechanical a alakaʻi i ka hāʻule ʻana o ka hāmeʻa.

* Delamination: Hiki ke hoʻokaʻawale ʻia nā ʻili lahilahi, e like me ka metala a i ʻole nā ​​papa dielectric, e hoʻonāwaliwali ana i ka hana uila o ka chip a me ka hilinaʻi lōʻihi.

* Ke ʻano hoʻololi ʻano: Hiki ke ʻano o nā ʻano o ka hāmeʻa ke ʻano ʻē ma muli o ke kaumaha, e hana ana i nā pilikia uila e like me ka leakage a i ʻole nā ​​​​kaapuni pōkole.

Ke Kuleana o ka Mana Mahana Kiʻekiʻe

Ua hoʻolālā ʻia nā ʻōnaehana hoʻomalu mahana holomua e like me nā mea hoʻomaʻalili ʻoihana TEYU e mālama i ke kūpaʻa o ka mahana me ka pololei loa. No ka laʻana, hāʻawi ka mea hoʻomaʻalili laser wikiwiki loa o TEYU i ka pololei o ka hoʻomalu a hiki i ka ±0.08°C, e hōʻoiaʻiʻo ana i ke kūpaʻa o ke kaʻina hana no nā lako semiconductor koʻikoʻi, me nā mea kālai ʻia, nā ʻōnaehana hoʻopaʻa ʻana, a me nā mea hoʻokomo ion.

Nā Pōmaikaʻi o ka Hoʻomaʻalili Kūpono i nā Kaʻina Hana Semiconductor

1. Kāohi i ka haki ʻana o ke koʻikoʻi wela: Ma ka mālama ʻana i ka hoʻoluʻu like ʻana, hoʻemi nā mea hoʻoluʻu i nā hopena o ka CTE mismatch ma waena o nā mea like ʻole, e hōʻemi pono ana i ka pilikia o nā māwae a me ka delamination i ka wā o ka thermal cycling.

2. Hoʻomaikaʻi i ke ʻano like o ka Doping: I ka hoʻokomo ʻana o ka ion a me ka annealing ma hope, hōʻoia nā kūlana thermal paʻa i ka hoʻāla ʻana o ka dopant ma waena o ka wafer, e hoʻomaikaʻi ana i ka hana a me ka hilinaʻi o ka chip.

3. Hoʻonui i ke kūlike o ka papa Oxide: Kōkua ka hoʻoponopono wela pololei i ka hoʻopau ʻana i nā gradients thermal lihi-a-waena i ka wā o ka oxidation, e hōʻoiaʻiʻo ana i ka mānoanoa like o ka gate oxide, he mea nui no nā ʻano transistor kūlike.

Hopena

He mea nui ka kaohi ʻana i ka mahana i ka hana ʻana o ka semiconductor. Me ka hoʻokele wela kiʻekiʻe, hiki i nā mea hana ke hōʻemi i nā hemahema i hoʻokumu ʻia e ke kaumaha wela, hoʻomaikaʻi i ka like ʻana i nā kaʻina hana doping a me oxidation, a i ka hopena e hoʻokō i nā hua chip kiʻekiʻe a me ka hana maikaʻi o ka hāmeʻa.