Vim li cas kev tswj kub thiaj tseem ceeb hauv kev tsim khoom semiconductor?

Hauv kev tsim cov khoom siv semiconductor, kev tswj qhov kub thiab txias kom raug yog ib qho tseem ceeb heev rau kev ua kom cov chip zoo, kev ua tau zoo, thiab cov txiaj ntsig ntawm cov khoom tsim tawm. Txawm tias qhov kub thiab txias me ntsis kuj tuaj yeem ua rau muaj kev hloov pauv loj hauv cov khoom siv thiab cov txiaj ntsig ntawm cov txheej txheem, uas ua rau muaj qhov tsis zoo lossis cov khoom siv tsis ua haujlwm.

Kev Cuam Tshuam ntawm Kev Nyuaj Siab Thermal

Cov khoom siv semiconductor muaj ntau txheej ntawm cov ntaub ntawv nrog cov coefficients sib txawv ntawm thermal expansion (CTE). Piv txwv li, silicon wafers, hlau interconnects, thiab dielectric txheej nthuav dav lossis cog lus ntawm cov nqi sib txawv thaum lub sijhawm cua sov lossis txias sai. Qhov tsis sib xws no tuaj yeem tsim kev ntxhov siab thermal, ua rau muaj teeb meem loj hauv kev tsim khoom xws li:

* Cov kab nrib pleb: Cov kab nrib pleb saum npoo lossis sab hauv ntawm cov wafers tuaj yeem ua rau lub tshuab ua haujlwm tsis zoo thiab ua rau lub cuab yeej tsis ua haujlwm.

* Kev tawg ua tej daim me me: Cov zaj duab xis nyias nyias, xws li cov hlau lossis cov txheej dielectric, yuav sib cais, ua rau lub nti lub zog hluav taws xob tsis muaj zog thiab kev ntseeg tau mus sij hawm ntev.

* Kev hloov pauv ntawm cov qauv: Cov qauv ntawm cov khoom siv yuav hloov pauv vim muaj kev ntxhov siab, ua rau muaj teeb meem hluav taws xob xws li xau lossis luv luv.

Lub Luag Haujlwm ntawm Kev Tswj Kub Siab

Cov tshuab tswj qhov kub siab heev xws li TEYU cov tshuab ua kom txias hauv kev lag luam tau tsim los tswj qhov kub kom ruaj khov nrog qhov tseeb tshwj xeeb. Piv txwv li, TEYU lub tshuab ua kom txias laser ceev ceev muab qhov tseeb ntawm kev tswj hwm txog li ± 0.08 ° C, ua kom muaj kev ruaj khov ntawm cov txheej txheem rau cov khoom siv semiconductor tseem ceeb, suav nrog etchers, deposition systems, thiab ion implanters.

Cov txiaj ntsig ntawm Kev Txias Txias Uas Muaj Kev Ntsuas Zoo hauv Cov Txheej Txheem Semiconductor

1. Tiv Thaiv Kev Nchuav Kub Thaum Tshav Kub: Los ntawm kev tswj kom txias sib npaug, cov tshuab ua kom txias txo qhov cuam tshuam ntawm CTE tsis sib xws ntawm cov ntaub ntawv sib txawv, txo qhov kev pheej hmoo ntawm kev tawg thiab kev tawg thaum lub sijhawm thermal cycling.

2. Txhim kho Doping Uniformity: Hauv ion implantation thiab tom qab annealing, cov xwm txheej thermal ruaj khov ua kom muaj kev ua haujlwm dopant thoob plaws lub wafer, txhim kho kev ua haujlwm ntawm lub chip thiab kev ntseeg siab.

3. Txhim Kho Kev Sib Xws ntawm Cov Txheej Oxide: Kev tswj qhov kub kom raug pab tshem tawm cov kev hloov pauv kub ntawm ntug mus rau nruab nrab thaum lub sijhawm oxidation, ua kom ntseeg tau tias qhov tuab ntawm lub qhov rooj oxide sib xws, tseem ceeb rau cov yam ntxwv transistor sib xws.

Xaus lus

Kev tswj qhov kub thiab txias yog qhov tseem ceeb hauv kev tsim cov khoom siv semiconductor. Nrog kev tswj qhov kub thiab txias siab, cov chaw tsim khoom tuaj yeem txo cov qhov tsis zoo uas tshwm sim los ntawm kev ntxhov siab thermal, txhim kho kev sib xws hauv cov txheej txheem doping thiab oxidation, thiab thaum kawg ua tiav cov txiaj ntsig ntawm cov chips siab dua thiab kev ua haujlwm zoo dua ntawm cov khoom siv.