Կիսահաղորդիչների արտադրության մեջ ջերմաստիճանի ճշգրիտ կառավարումը կարևոր է՝ ջերմային լարվածությունը կանխելու, գործընթացի կայունությունը բարելավելու և չիպի աշխատանքը բարելավելու համար: Բարձր ճշգրտության սառեցուցիչները օգնում են նվազեցնել ճաքերի և շերտազատման նման թերությունները, ապահովել միատարր խառնուրդ և պահպանել օքսիդային շերտի հաստության կայունությունը, որոնք արտադրողականության և հուսալիության բարձրացման հիմնական գործոններ են:
Կիսահաղորդիչների արտադրության մեջ ջերմաստիճանի ճշգրիտ կառավարումը կարևոր դեր է խաղում չիպի որակի, կատարողականության և արտադրության արդյունավետության ապահովման գործում: Նույնիսկ ջերմաստիճանի աննշան տատանումները կարող են զգալի փոփոխություններ առաջացնել նյութի վարքագծում և գործընթացի արդյունքներում, ինչը կարող է հանգեցնել թերությունների կամ սարքի խափանումների:
Ջերմային լարվածության ազդեցությունը
Կիսահաղորդչային սարքերը բաղկացած են տարբեր ջերմային ընդարձակման գործակիցներով (CTE) նյութերի բազմաթիվ շերտերից: Օրինակ՝ սիլիցիումային թիթեղները, մետաղական միացումները և դիէլեկտրիկ շերտերը արագ տաքացման կամ սառեցման ժամանակ ընդարձակվում կամ կծկվում են տարբեր արագությամբ: Այս անհամապատասխանությունը կարող է ստեղծել ջերմային լարվածություն, ինչը հանգեցնում է լուրջ արտադրական խնդիրների, ինչպիսիք են՝
* Ճաքեր. թիթեղների մակերեսային կամ ներքին ճաքերը կարող են խաթարել մեխանիկական ամբողջականությունը և հանգեցնել սարքի խափանման։
* Շերտավորում. Բարակ թաղանթները, ինչպիսիք են մետաղական կամ դիէլեկտրիկ շերտերը, կարող են առանձնանալ, ինչը կթուլացնի չիպի էլեկտրական աշխատանքը և երկարաժամկետ հուսալիությունը։
* Կառուցվածքային դեֆորմացիա. Սարքի կառուցվածքը կարող է ծռվել լարվածության պատճառով, ինչը կարող է առաջացնել էլեկտրական խնդիրներ, ինչպիսիք են արտահոսքը կամ կարճ միացումը։
Բարձր ճշգրտության ջերմաստիճանի կառավարման դերը
TEYU արդյունաբերական սառեցուցիչների նման առաջադեմ ջերմաստիճանի կառավարման համակարգերը նախագծված են ջերմաստիճանի կայունությունը բացառիկ ճշգրտությամբ պահպանելու համար: Օրինակ, TEYU-ի գերարագ լազերային սառեցուցիչը առաջարկում է մինչև ±0.08°C կառավարման ճշգրտություն՝ ապահովելով կարևորագույն կիսահաղորդչային սարքավորումների, այդ թվում՝ փորագրիչների, նստեցման համակարգերի և իոնային իմպլանտատորների գործընթացի կայունությունը:
Կիսահաղորդչային գործընթացներում ճշգրիտ սառեցման առավելությունները
1. Կանխում է ջերմային լարվածության ճաքերի առաջացումը. Միատարր սառեցումը պահպանելով՝ սառեցուցիչները նվազագույնի են հասցնում տարբեր նյութերի միջև CTE անհամապատասխանության ազդեցությունը, արդյունավետորեն նվազեցնելով ճաքերի առաջացման և շերտավորման ռիսկը ջերմային ցիկլի ընթացքում:
2. Բարելավում է դոպինգի միատարրությունը. Իոնային իմպլանտացիայի և հետագա թրծման ժամանակ կայուն ջերմային պայմանները ապահովում են դոպինգի կայուն ակտիվացում վեֆերի վրա, բարելավելով չիպի աշխատանքը և հուսալիությունը:
3. Բարելավում է օքսիդային շերտի կայունությունը. ջերմաստիճանի ճշգրիտ կարգավորումը օգնում է վերացնել եզրից կենտրոն ջերմային գրադիենտները օքսիդացման ընթացքում՝ ապահովելով դարպասի օքսիդի միատարր հաստություն, որը կարևոր է տրանզիստորի կայուն բնութագրերի համար:
Եզրակացություն
Ջերմաստիճանի կառավարումը անփոխարինելի է կիսահաղորդչային արտադրության մեջ: Բարձր ճշգրտության ջերմային կառավարման միջոցով արտադրողները կարող են նվազեցնել ջերմային լարվածության հետևանքով առաջացած արատները, բարելավել միատարրությունը խառնուրդների և օքսիդացման գործընթացներում և, ի վերջո, հասնել չիպերի ավելի բարձր արտադրողականության և սարքի ավելի լավ աշխատանքի:
Մենք այստեղ ենք ձեզ համար, երբ դուք մեր կարիքն ունեք:
Խնդրում ենք լրացնել ձևը մեզ հետ կապվելու համար, և մենք ուրախ կլինենք օգնել ձեզ:
Հեղինակային իրավունք © 2025 TEYU S&A Chiller - Բոլոր իրավունքները պաշտպանված են։