Lazerinės naujienos
Tikslus temperatūros valdymas lazerinėms sistemoms ir pramoninėms reikmėms nuo 2002 m.
Kalba
Tikslus temperatūros valdymas yra būtinas puslaidininkių gamyboje, siekiant išvengti terminio įtempio, pagerinti proceso stabilumą ir lustų našumą. Didelio tikslumo aušintuvai padeda sumažinti defektus, tokius kaip įtrūkimai ir delaminacija, užtikrinti vienodą legiravimą ir išlaikyti pastovų oksido sluoksnio storį – tai pagrindiniai veiksniai, didinantys našumą ir patikimumą.
Puslaidininkių gamyboje tikslus temperatūros valdymas atlieka gyvybiškai svarbų vaidmenį užtikrinant lustų kokybę, našumą ir gamybos našumą. Net ir nedideli temperatūros svyravimai gali sukelti reikšmingų medžiagos elgsenos ir proceso rezultatų pokyčių, o tai gali sukelti defektus ar įrenginių gedimus.
Terminio įtempio poveikis
Puslaidininkiniai įtaisai susideda iš kelių medžiagų sluoksnių, turinčių skirtingus šiluminio plėtimosi koeficientus (ŠTL). Pavyzdžiui, silicio plokštelės, metalinės jungtys ir dielektriniai sluoksniai greito kaitinimo ar aušinimo metu plečiasi arba traukiasi skirtingu greičiu. Šis neatitikimas gali sukelti terminį įtempį, dėl kurio gali kilti rimtų gamybos problemų, tokių kaip:
* Įtrūkimai: Paviršiniai arba vidiniai įtrūkimai plokštelėse gali pakenkti mechaniniam vientisumui ir sukelti įrenginio gedimą.
* Delaminacija: Plonos plėvelės, tokios kaip metaliniai arba dielektriniai sluoksniai, gali atsiskirti, susilpnindamos lusto elektrines charakteristikas ir ilgalaikį patikimumą.
* Konstrukcinė deformacija: Dėl įtempių įrenginio konstrukcijos gali deformuotis, sukeldamos elektros problemų, tokių kaip nuotėkis ar trumpieji jungimai.
Didelio tikslumo temperatūros kontrolės vaidmuo
Pažangios temperatūros valdymo sistemos, tokios kaip „TEYU“ pramoniniai aušintuvai, yra sukurtos taip, kad palaikytų temperatūros stabilumą išskirtiniu tikslumu. Pavyzdžiui, „TEYU“ itin greitas lazerinis aušintuvas siūlo iki ±0,08 °C valdymo tikslumą, užtikrindamas svarbiausios puslaidininkių įrangos, įskaitant ėsdintuvus, nusodinimo sistemas ir jonų implantatorius, proceso stabilumą.
Tikslaus aušinimo privalumai puslaidininkių procesuose
1. Apsaugo nuo terminio įtrūkimo: palaikydami vienodą aušinimą, šaldymo įrenginiai sumažina CTE neatitikimo tarp skirtingų medžiagų poveikį, efektyviai sumažindami įtrūkimų ir delaminacijos riziką terminio ciklavimo metu.
2. Pagerina legiravimo vienodumą: jonų implantavimo ir vėlesnio atkaitinimo metu stabilios terminės sąlygos užtikrina nuoseklų legiravimo aktyvavimą visoje plokštelėje, taip pagerindamos lusto našumą ir patikimumą.
3. Pagerina oksido sluoksnio nuoseklumą: tikslus temperatūros reguliavimas padeda pašalinti šiluminius gradientus nuo krašto iki centro oksidacijos metu, užtikrinant vienodą užtūros oksido storį, kuris yra labai svarbus nuoseklioms tranzistoriaus charakteristikoms.
Išvada
Temperatūros kontrolė yra būtina puslaidininkių gamyboje. Dėl didelio tikslumo šilumos valdymo gamintojai gali sumažinti dėl terminio įtempio atsirandančius defektus, pagerinti legiravimo ir oksidacijos procesų vienodumą ir galiausiai pasiekti didesnį lustų išeigą bei geresnį įrenginio našumą.
Mes esame čia, kai jums mūsų reikia.
Norėdami susisiekti su mumis, užpildykite formą ir mes mielai jums padėsime.
„TEYU S&A Chiller“ buvo įkurta 2002 m., turint 23 metų aušintuvų gamybos patirtį, ir dabar yra pripažinta aušinimo technologijų pradininke ir patikimu partneriu lazerių pramonėje.
Autorių teisės © 2025 TEYU S&A Chiller - Visos teisės saugomos.
