Nahoana no tena ilaina ny fanaraha-maso ny mari-pana amin'ny famokarana semiconductor?

Ao amin'ny famokarana semiconductor, ny fanaraha-maso mazava tsara ny mari-pana dia mitana anjara toerana lehibe amin'ny fiantohana ny kalitaon'ny puce, ny fahombiazana ary ny vokatra azo avy amin'ny famokarana. Na dia ny fiovaovan'ny mari-pana kely aza dia mety hiteraka fiovana lehibe eo amin'ny fitondran-tenan'ny fitaovana sy ny vokatra azo avy amin'ny dingana, izay mety hitarika amin'ny lesoka na ny tsy fahombiazan'ny fitaovana.

Ny fiantraikan'ny adin-tsaina mafana

Ny fitaovana semiconductor dia misy sosona fitaovana maromaro misy coefficient de expansion thermal (CTE) samihafa. Ohatra, ny wafer silicon, ny interconnects metaly, ary ny sosona dielectric dia mivelatra na mihena amin'ny tahan'ny samihafa mandritra ny fanafanana na fampangatsiahana haingana. Io tsy fitoviana io dia mety hiteraka stress thermal, izay mitarika olana lehibe amin'ny famokarana toy ny:

* Triatra: Ny triatra eny ambonin'ny na anatiny amin'ny wafers dia mety hanimba ny fahamarinan'ny fitaovana ary hitarika amin'ny fahasimban'ny fitaovana.

* Fanalana sosona: Mety hisaraka ireo sarimihetsika manify, toy ny metaly na sosona dielektrika, ka hampihena ny fahombiazan'ny puce amin'ny herinaratra sy ny fahatokisana maharitra.

* Fiovan'ny firafitry ny fitaovana: Mety hivadika ny firafitry ny fitaovana noho ny tsindry, ka hiteraka olana amin'ny herinaratra toy ny fivoahan'ny rano na ny fifandraisana fohy.

Ny anjara asan'ny fanaraha-maso ny mari-pana avo lenta

Ny rafitra fanaraha-maso ny mari-pana mandroso toy ny vata fampangatsiahana indostrialy TEYU dia natao hihazonana ny fahamarinan'ny mari-pana amin'ny fomba miavaka. Ohatra, ny vata fampangatsiahana laser haingam-pandeha indrindra an'ny TEYU dia manolotra fahamarinan'ny fanaraha-maso hatramin'ny ±0.08°C, izay miantoka ny fahamarinan'ny fizotran'ny asa ho an'ny fitaovana semiconductor manan-danja, anisan'izany ny etchers, ny rafitra fametrahana, ary ny ion implants.

Tombontsoa azo avy amin'ny fampangatsiahana mazava tsara amin'ny fizotran'ny semiconductor

1. Misoroka ny triatra ateraky ny hafanana: Amin'ny fitazonana ny fampangatsiahana mitovy, ny vata fampangatsiahana dia mampihena ny vokatry ny tsy fitoviana CTE eo amin'ny fitaovana samihafa, ka mampihena tsara ny mety hisian'ny triatra sy ny fisarahana mandritra ny tsingerin'ny hafanana.

2. Manatsara ny fitoviana amin'ny doping: Amin'ny fametrahana ion sy ny fanafanana manaraka, ny fepetra ara-hafanana marin-toerana dia miantoka ny fiasan'ny dopant tsy tapaka manerana ny wafer, mampitombo ny fahombiazan'ny puce sy ny fahatokisana.

3. Manatsara ny Fifandanjan'ny Sosona Oksida: Ny fandrindrana ny mari-pana marina dia manampy amin'ny fanesorana ny fiovaovan'ny hafanana avy amin'ny sisiny mankany amin'ny afovoany mandritra ny oksidasiona, ka miantoka ny hatevin'ny oksida vavahady mitovy, izay tena ilaina amin'ny toetran'ny transistor mitovy.

Famaranana

Tena ilaina amin'ny fanamboarana semiconductor ny fanaraha-maso ny mari-pana. Amin'ny alàlan'ny fitantanana ny mari-pana avo lenta, afaka mampihena ny lesoka ateraky ny fihenjanana ara-mafana ireo mpanamboatra, manatsara ny fitoviana amin'ny fizotran'ny doping sy oxidation, ary amin'ny farany dia mahazo vokatra chip ambony kokoa sy fahombiazan'ny fitaovana tsara kokoa.