लेजर समाचार
२००२ देखि लेजर प्रणाली र औद्योगिक अनुप्रयोगहरूको लागि सटीक तापमान नियन्त्रण
भाषा
अर्धचालक उत्पादनमा थर्मल तनाव रोक्न, प्रक्रिया स्थिरता सुधार गर्न र चिप कार्यसम्पादन बढाउन सटीक तापक्रम नियन्त्रण आवश्यक छ। उच्च-परिशुद्धता चिलरहरूले दरार र डिलेमिनेशन जस्ता दोषहरू कम गर्न, एकसमान डोपिङ सुनिश्चित गर्न र निरन्तर अक्साइड तह मोटाई कायम राख्न मद्दत गर्छन् - उपज र विश्वसनीयता बढाउने प्रमुख कारकहरू।
अर्धचालक निर्माणमा, सटीक तापक्रम नियन्त्रणले चिपको गुणस्तर, कार्यसम्पादन र उत्पादन उपज सुनिश्चित गर्न महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छ। तापक्रममा थोरै उतारचढावले पनि सामग्री व्यवहार र प्रक्रिया परिणामहरूमा महत्त्वपूर्ण परिवर्तन ल्याउन सक्छ, जसले गर्दा दोष वा उपकरण विफलता निम्त्याउन सक्छ।
थर्मल तनावको प्रभाव
अर्धचालक उपकरणहरूमा थर्मल विस्तारको विभिन्न गुणांक (CTE) भएका सामग्रीका धेरै तहहरू हुन्छन्। उदाहरणका लागि, सिलिकन वेफरहरू, धातु इन्टरकनेक्टहरू, र डाइइलेक्ट्रिक तहहरू द्रुत ताप वा शीतलनको समयमा फरक दरमा विस्तार वा संकुचन हुन्छन्। यो बेमेलले थर्मल तनाव सिर्जना गर्न सक्छ, जसले गर्दा गम्भीर उत्पादन समस्याहरू निम्त्याउन सक्छ जस्तै:
* दरारहरू: वेफरहरूमा सतह वा आन्तरिक दरारहरूले मेकानिकल अखण्डतालाई क्षति पुर्याउन सक्छ र उपकरणको विफलता निम्त्याउन सक्छ।
* डिलेमिनेशन: धातु वा डाइइलेक्ट्रिक तहहरू जस्ता पातलो फिल्महरू अलग हुन सक्छन्, जसले चिपको विद्युतीय कार्यसम्पादन र दीर्घकालीन विश्वसनीयतालाई कमजोर बनाउँछ।
* संरचनात्मक विकृति: तनावका कारण उपकरणको संरचनाहरू बाङ्गिन सक्छन्, जसले गर्दा चुहावट वा सर्ट सर्किट जस्ता विद्युतीय समस्याहरू निम्त्याउन सक्छन्।
उच्च-परिशुद्धता तापमान नियन्त्रणको भूमिका
TEYU औद्योगिक चिलरहरू जस्ता उन्नत तापक्रम नियन्त्रण प्रणालीहरू असाधारण परिशुद्धताका साथ तापक्रम स्थिरता कायम राख्न डिजाइन गरिएका छन्। उदाहरणका लागि, TEYU को अल्ट्राफास्ट लेजर चिलरले ±०.०८°C सम्मको नियन्त्रण शुद्धता प्रदान गर्दछ, जसले गर्दा इचर, निक्षेपण प्रणाली र आयन इम्प्लान्टरहरू सहित महत्वपूर्ण अर्धचालक उपकरणहरूको लागि प्रक्रिया स्थिरता सुनिश्चित हुन्छ।
अर्धचालक प्रक्रियाहरूमा प्रेसिजन कूलिङका फाइदाहरू
१. थर्मल स्ट्रेस क्र्याकिंगलाई रोक्छ: एकरूप शीतलन कायम राखेर, चिलरहरूले विभिन्न सामग्रीहरू बीच CTE बेमेलको प्रभावलाई कम गर्छन्, जसले गर्दा थर्मल साइकल चलाउँदा क्र्याक र डिलेमिनेशनको जोखिम प्रभावकारी रूपमा कम हुन्छ।
२. डोपिङ एकरूपता सुधार गर्दछ: आयन इम्प्लान्टेसन र त्यसपछिको एनिलिङमा, स्थिर थर्मल अवस्थाहरूले वेफरभरि निरन्तर डोपेन्ट सक्रियता सुनिश्चित गर्दछ, चिप प्रदर्शन र विश्वसनीयता बढाउँछ।
३. अक्साइड तहको स्थिरता बढाउँछ: सटीक तापक्रम नियमनले अक्सिडेशनको समयमा किनारा-देखि-केन्द्र थर्मल ग्रेडियन्टहरू हटाउन मद्दत गर्दछ, एकरूप गेट अक्साइड मोटाई सुनिश्चित गर्दछ, जुन ट्रान्जिस्टर विशेषताहरूको लागि महत्त्वपूर्ण छ।
निष्कर्ष
अर्धचालक निर्माणमा तापक्रम नियन्त्रण अपरिहार्य छ। उच्च-परिशुद्धता थर्मल व्यवस्थापनको साथ, निर्माताहरूले थर्मल तनावबाट हुने दोषहरू कम गर्न, डोपिङ र अक्सिडेशन प्रक्रियाहरूमा एकरूपता सुधार गर्न, र अन्ततः उच्च चिप उपज र राम्रो उपकरण प्रदर्शन प्राप्त गर्न सक्छन्।
तपाईलाई हाम्रो आवश्यकता पर्दा हामी तपाईको लागि यहाँ छौं।
कृपया हामीलाई सम्पर्क गर्न फारम भर्नुहोस्, र हामी तपाईंलाई मद्दत गर्न खुसी हुनेछौं।
TEYU S&A चिलर २००२ मा २३ वर्षको चिलर उत्पादन अनुभवको साथ स्थापित भएको थियो, र अब लेजर उद्योगमा कूलिंग टेक्नोलोजी अग्रगामी र भरपर्दो साझेदारको रूपमा चिनिन्छ।.
प्रतिलिपि अधिकार © २०२५ TEYU S&A चिलर - सबै अधिकार सुरक्षित।
