Chifukwa Chiyani Kulamulira Kutentha Ndikofunikira Kwambiri Pakupanga Ma Semiconductors?

Pakupanga ma semiconductor, kuwongolera kutentha kolondola kumachita gawo lofunikira kwambiri pakuwonetsetsa kuti ma chip ali bwino, magwiridwe antchito, komanso kupanga bwino. Ngakhale kusinthasintha pang'ono kwa kutentha kungayambitse kusintha kwakukulu pa kachitidwe ka zinthu ndi zotsatira zake, zomwe zingayambitse zolakwika kapena kulephera kwa chipangizocho.

Zotsatira za Kupsinjika kwa Kutentha

Zipangizo za semiconductor zimakhala ndi zigawo zingapo za zipangizo zomwe zimakhala ndi ma coefficients osiyanasiyana a thermal expansion (CTE). Mwachitsanzo, ma silicon wafers, ma metal interconnects, ndi ma dielectric layers amakula kapena kufupika pamitengo yosiyana panthawi yotenthetsera kapena kuzizira mwachangu. Kusagwirizana kumeneku kungayambitse kupsinjika kwa kutentha, zomwe zimayambitsa mavuto akuluakulu opanga zinthu monga:

* Ming'alu: Ming'alu ya pamwamba kapena yamkati mwa ma wafers ingasokoneze umphumphu wa makina ndikupangitsa kuti chipangizocho chilephereke.

* Kuchotsa matope: Mafilimu opyapyala, monga zitsulo kapena zigawo za dielectric, amatha kulekanitsidwa, zomwe zimafooketsa magwiridwe antchito amagetsi a chip komanso kudalirika kwa nthawi yayitali.

* Kusintha kwa kapangidwe kake: Kapangidwe ka chipangizocho kangasinthe chifukwa cha kupsinjika, zomwe zimayambitsa mavuto amagetsi monga kutuluka kwa madzi kapena ma circuit afupiafupi.

Udindo wa Kulamulira Kutentha Kwambiri

Makina apamwamba owongolera kutentha monga ma chiller a mafakitale TEYU adapangidwa kuti asunge kukhazikika kwa kutentha molondola kwambiri. Mwachitsanzo, chiller cha laser chothamanga kwambiri cha TEYU chimapereka kulondola kowongolera mpaka ± 0.08°C, kuonetsetsa kukhazikika kwa njira ya zida zofunika kwambiri za semiconductor, kuphatikiza ma etcher, machitidwe oyika, ndi ma implant a ion.

Ubwino wa Kuziziritsa Moyenera mu Njira za Semiconductor

1. Zimaletsa Kusweka kwa Kutentha: Mwa kusunga kuzizira kofanana, ma chiller amachepetsa zotsatira za kusalingana kwa CTE pakati pa zipangizo zosiyanasiyana, zomwe zimathandiza kuchepetsa chiopsezo cha ming'alu ndi kusweka kwa madzi panthawi ya kutentha.

2. Zimathandiza Kugwirizana kwa Doping: Pakuyika ma ion ndi annealing pambuyo pake, kutentha kokhazikika kumatsimikizira kuti dopant imagwira ntchito nthawi zonse pa wafer, zomwe zimapangitsa kuti chip igwire bwino ntchito komanso kudalirika.

3. Zimawonjezera Kugwirizana kwa Oxide Layer: Kulamulira kutentha molondola kumathandiza kuchotsa kutentha kwa m'mphepete mpaka pakati panthawi ya okosijeni, kuonetsetsa kuti makulidwe a oxide a chipata ndi ofanana, ofunikira kwambiri pa mawonekedwe a transistor ogwirizana.

Mapeto

Kulamulira kutentha n'kofunika kwambiri popanga zinthu za semiconductor. Ndi kasamalidwe ka kutentha kolondola kwambiri, opanga amatha kuchepetsa zolakwika zomwe zimachitika chifukwa cha kupsinjika kwa kutentha, kukonza kufanana kwa njira zopangira mankhwala ndi okosijeni, ndipo pamapeto pake amapeza ma chip ambiri komanso magwiridwe antchito abwino a chipangizocho.