Hobaneng Taolo ea Mocheso e le ea Bohlokoa Tlhahisong ea Semiconductor?

Tlhahisong ea li-semiconductor, taolo e nepahetseng ea mocheso e bapala karolo ea bohlokoa ho netefatseng boleng ba chip, ts'ebetso le chai ea tlhahiso. Esita le ho feto-fetoha ho honyenyane ha mocheso ho ka baka liphetoho tse kholo boitšoarong ba thepa le liphellong tsa ts'ebetso, e leng se ka lebisang ho liphoso kapa ho hloleha ha sesebelisoa.

Tšusumetso ea Khatello ea Thermal

Disebediswa tsa semiconductor di na le dikarolo tse ngata tsa thepa tse nang le di-coefficient tse fapaneng tsa katoloso ya mocheso (CTE). Mohlala, di-wafer tsa silicon, dikgokelo tsa tshepe, le dikarolo tsa dielectric di a atoloha kapa di a honyela ka lebelo le fapaneng nakong ya ho futhumatsa kapa ho phodisa ka potlako. Ho se tshwane hona ho ka baka kgatello ya mocheso, e leng se lebisang mathateng a tebileng a tlhahiso a kang:

* Mapetso: Mapetso a bokaholimo kapa a ka hare ho li-wafer a ka beha botsitso ba mechini kotsing 'me a lebisa ho hloleheng ha sesebelisoa.

* Ho qhaqha: Lifilimi tse tšesaane, tse kang likarolo tsa tšepe kapa tsa dielectric, li ka arohana, tsa fokolisa ts'ebetso ea motlakase ea chip le ts'epo ea nako e telele.

* Phetoho ea sebopeho: Meaho ea sesebelisoa e ka sotha ka lebaka la khatello ea maikutlo, e leng se bakang mathata a motlakase joalo ka ho lutla kapa lipotoloho tse khutšoane.

Karolo ea Taolo ea Mocheso o Nepahetseng ka ho Fetisisa

Mekhoa e tsoetseng pele ea taolo ea mocheso joalo ka li-chiller tsa indasteri tsa TEYU li etselitsoe ho boloka botsitso ba mocheso ka ho nepahala ho ikhethang. Mohlala, chiller ea laser e potlakileng ea TEYU e fana ka ho nepahala ha taolo ho fihlela ho ± 0.08°C, e netefatsang botsitso ba ts'ebetso bakeng sa lisebelisoa tsa bohlokoa tsa semiconductor, ho kenyeletsoa li-etcher, litsamaiso tsa ho beha, le li-implant tsa ion.

Melemo ea ho Pholisa ka ho Nepahetseng Mekhoeng ea Semiconductor

1. E Thibela ho Petsoha ha Kgatelelo ya Thempereichara: Ka ho boloka ho phodisa ho tshwanang, di-chiller di fokotsa ditlamorao tsa ho se tshwane ha CTE pakeng tsa thepa e fapaneng, ka katleho di fokotsa kotsi ya ho petsoha le ho kgaohana ha diphaephe nakong ya potoloho ya thempereichara.

2. E Ntlafatsa ho Tšoana ha Doping: Ha ho kenngwa ion le ho annealing ka morao ho moo, maemo a tsitsitseng a mocheso a netefatsa hore dopant e sebetsa ka mokhoa o tsitsitseng ho pholletsa le wafer, e leng se ntlafatsang tshebetso ya chip le botshepehi.

3. E Ntlafatsa ho Tiea ha Lera la Oxide: Taolo e nepahetseng ea mocheso e thusa ho felisa li-gradients tsa mocheso tse tlohang moeling ho ea bohareng nakong ea oxidation, e netefatsa botenya ba oxide ea heke bo lekanang, e leng sa bohlokoa bakeng sa litšobotsi tse tsitsitseng tsa transistor.

Qetello

Taolo ea mocheso ke ea bohlokoa haholo tlhahisong ea semiconductor. Ka taolo ea mocheso e nepahetseng haholo, bahlahisi ba ka fokotsa liphoso tse bakoang ke khatello ea mocheso, ba ntlafatsa ho tšoana lits'ebetsong tsa doping le oxidation, 'me qetellong ba fihlella chai e phahameng ea chip le ts'ebetso e betere ea sesebelisoa.