Назорати дақиқи ҳарорат дар истеҳсоли нимноқилҳо барои пешгирии фишори гармӣ, беҳтар кардани устувории раванд ва баланд бардоштани самаранокии чип муҳим аст. Чиллерҳои дақиқи баланд ба кам кардани камбудиҳо, ба монанди тарқишҳо ва деламинатсия, таъмин кардани допинги якхела ва нигоҳ доштани ғафсии пайвастаи қабати оксиди - омилҳои асосии баланд бардоштани ҳосилнокӣ ва эътимоднокӣ кӯмак мекунанд.
Дар истеҳсоли нимноқилҳо назорати дақиқи ҳарорат дар таъмини сифат, кор ва ҳосили истеҳсолот нақши муҳим мебозад. Ҳатто тағйирёбии ночизи ҳарорат метавонад дар рафтори моддӣ ва натиҷаҳои раванд тағйироти ҷиддие ба вуҷуд орад, ки эҳтимолан ба камбудиҳо ё нокомии дастгоҳ оварда мерасонад.
Таъсири фишори гармидиҳӣ
Дастгоҳҳои нимноқилӣ аз қабатҳои сершумори мавод бо коэффисиентҳои гуногуни васеъшавии гармӣ (CTE) иборатанд. Масалан, пластинкаҳои кремний, пайвасткуниҳои металлӣ ва қабатҳои диэлектрикӣ ҳангоми гармкунӣ ё хунуккунии зуд бо суръатҳои гуногун васеъ ё кӯтоҳ мешаванд. Ин номувофиқатӣ метавонад фишори гармиро эҷод кунад, ки боиси мушкилоти ҷиддии истеҳсолӣ гардад, ба монанди:
* Тарқишҳо: Тарқишҳои рӯизаминӣ ё дохилӣ дар вафлиҳо метавонанд тамомияти механикиро вайрон кунанд ва ба шикасти дастгоҳ оварда расонанд.
* Деламинатсия: Плёнкаҳои тунук, ба монанди қабатҳои металлӣ ё диэлектрикӣ, метавонанд аз ҳам ҷудо шаванд, ки ин кори барқии чип ва эътимоднокии дарозмуддатро суст мекунад.
* Деформатсияи сохторӣ: Сохторҳои дастгоҳ метавонанд аз сабаби фишор печида шаванд ва боиси мушкилоти барқӣ ба монанди ихроҷ ё ноқилҳои кӯтоҳ шаванд.
Нақши назорати ҳарорати баланд дақиқ
Системаҳои пешрафтаи назорати ҳарорат ба монанди хунуккунакҳои саноатии TEYU барои нигоҳ доштани устувории ҳарорат бо дақиқии истисноӣ тарҳрезӣ шудаанд. Масалан, хунуккунаки лазерии ултратези TEYU дақиқии назоратро то ± 0,08°C пешниҳод намуда, устувории равандро барои таҷҳизоти муҳими нимноқилҳо, аз ҷумла ҷӯйборҳо, системаҳои ҷойгиркунӣ ва имплантаторҳои ион таъмин мекунад.
Манфиатҳои сардшавии дақиқ дар равандҳои нимноқилҳо
1. Крекшавии фишори гармиро пешгирӣ мекунад: Бо нигоҳ доштани хунуккунии якхела, хунуккунакҳо таъсири номутобиқатии CTE-ро байни маводи гуногун кам карда, хатари тарқишҳо ва деламинатсияро ҳангоми гардиши гармӣ ба таври муассир коҳиш медиҳанд.
2. Якхелаи допингро беҳтар мекунад: Ҳангоми имплантатсияи ионҳо ва коркарди минбаъда, шароити гармидиҳии устувор фаъолшавии пайвастаи допингро дар вафли таъмин намуда, фаъолият ва эътимоднокии чипҳоро беҳтар мекунад.
3. Мутобиқати қабати оксидҳоро такмил медиҳад: Танзими дақиқи ҳарорат ба бартараф кардани градиентҳои гармии канор ба марказ ҳангоми оксидшавӣ кӯмак мекунад ва ғафсии якхелаи оксиди дарвозаро таъмин мекунад, ки барои хусусиятҳои пайвастаи транзистор муҳим аст.
Хулоса
Назорати ҳарорат дар истеҳсоли нимноқилҳо зарур аст. Бо идоракунии дақиқи баланди гармӣ, истеҳсолкунандагон метавонанд камбудиҳои аз фишори гармӣ ба вуҷудомадаро коҳиш диҳанд, якрангии равандҳои допинг ва оксидшавиро беҳтар созанд ва дар ниҳоят ба ҳосили баландтари чипҳо ва кори беҳтари дастгоҳ ноил шаванд.
Вақте ки шумо ба мо ниёз доред, мо дар ин ҷо ҳастем.
Лутфан формаро пур кунед, то бо мо тамос гиред ва мо бо омодагӣ ба шумо кӯмак хоҳем кард.
Copyright © 2025 TEYU S&A Chiller - Ҳама ҳуқуқҳо ҳифз шудаанд.