Lazer yangiliklari
2002 yildan beri lazer tizimlari va sanoat ilovalari uchun haroratni aniq nazorat qilish
Til
Yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda issiqlik kuchlanishining oldini olish, jarayon barqarorligini yaxshilash va chip ish faoliyatini yaxshilash uchun haroratni aniq nazorat qilish juda muhimdir. Yuqori aniqlikdagi sovutgichlar yoriqlar va qatlamlanish kabi nuqsonlarni kamaytirishga yordam beradi, bir xil dopingni ta'minlaydi va doimiy oksid qatlami qalinligini ta'minlaydi - hosildorlik va ishonchlilikni oshirishning asosiy omillari.
Yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda haroratni aniq nazorat qilish chip sifati, ishlashi va ishlab chiqarish rentabelligini ta'minlashda muhim rol o'ynaydi. Hatto ozgina harorat o'zgarishi ham materialning xatti-harakatlarida va jarayon natijalarida sezilarli o'zgarishlarga olib kelishi mumkin, bu esa nuqsonlar yoki qurilmaning ishdan chiqishiga olib kelishi mumkin.
Termal stressning ta'siri
Yarimo'tkazgichli qurilmalar turli xil issiqlik kengayish koeffitsientlari (CTE) bo'lgan bir necha qatlamli materiallardan iborat. Masalan, silikon plastinalar, metall o'zaro bog'langan va dielektrik qatlamlar tez isitish yoki sovutish jarayonida turli tezliklarda kengayadi yoki qisqaradi. Ushbu nomuvofiqlik termal stressni keltirib chiqarishi mumkin, bu jiddiy ishlab chiqarish muammolariga olib keladi, masalan:
* Yoriqlar: gofretlardagi sirt yoki ichki yoriqlar mexanik yaxlitlikni buzishi va qurilmaning ishdan chiqishiga olib kelishi mumkin.
* Delaminatsiya: metall yoki dielektrik qatlamlar kabi yupqa plyonkalar ajralib chiqishi mumkin, bu chipning elektr ishlashini va uzoq muddatli ishonchliligini zaiflashtiradi.
* Strukturaviy deformatsiya: Qurilma konstruksiyalari kuchlanish tufayli egri bo‘lishi mumkin, bu esa elektr oqish yoki qisqa tutashuv kabi muammolarni keltirib chiqarishi mumkin.
Yuqori aniqlikdagi haroratni nazorat qilishning roli
TEYU sanoat sovutgichlari kabi ilg'or haroratni nazorat qilish tizimlari harorat barqarorligini juda aniqlik bilan saqlash uchun mo'ljallangan. Masalan, TEYU ning o‘ta tezkor lazerli sovutgichi ±0,08°C gacha bo‘lgan nazorat aniqligini taklif etadi, bu esa muhim yarimo‘tkazgich uskunalari, jumladan etcherlar, cho‘ktirish tizimlari va ion implantatorlari uchun jarayon barqarorligini ta’minlaydi.
Yarimo'tkazgich jarayonlarida nozik sovutishning afzalliklari
1. Termal stress yorilishining oldini oladi: Bir xil sovutishni saqlab, sovutgichlar turli materiallar orasidagi CTE nomuvofiqligining ta'sirini kamaytiradi, termal aylanish jarayonida yoriqlar va delaminatsiya xavfini samarali kamaytiradi.
2. Dopingning bir xilligini yaxshilaydi: Ion implantatsiyasi va keyingi tavlanishda barqaror termal sharoitlar gofret bo'ylab doimiy dopant faollashuvini ta'minlaydi, chipning ishlashi va ishonchliligini oshiradi.
3. Oksid qatlamining mustahkamligini oshiradi: To'g'ri haroratni tartibga solish oksidlanish jarayonida chekkadan markazga termal gradientlarni yo'q qilishga yordam beradi, bir xil eshik oksidi qalinligini ta'minlaydi, bu izchil tranzistor xarakteristikalari uchun juda muhimdir.
Xulosa
Yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarishda haroratni nazorat qilish ajralmas hisoblanadi. Yuqori aniqlikdagi issiqlik boshqaruvi bilan ishlab chiqaruvchilar termal stressdan kelib chiqadigan nuqsonlarni kamaytirishi, doping va oksidlanish jarayonlarida bir xillikni yaxshilashi va oxir-oqibat yuqori chip rentabelligi va qurilmaning yaxshi ishlashiga erishishi mumkin.
Sizga kerak bo'lganda biz siz uchun shu yerdamiz.
Biz bilan bog‘lanish uchun shaklni to‘ldiring, biz sizga yordam berishdan xursand bo‘lamiz.
. 
TEYU S&A Chiller 2002 yilda 23 yillik chiller ishlab chiqarish tajribasi bilan tashkil etilgan va hozirda lazer sanoatida sovutish texnologiyasi kashshofi va ishonchli hamkori sifatida tan olingan.
Mualliflik huquqi © 2025 TEYU S&A Chiller - Barcha huquqlar himoyalangan.
