Лазер жаңалықтары
2002 жылдан бастап лазерлік жүйелер мен өнеркәсіптік қолданбалар үшін температураны дәл бақылау
Тіл
Температураны дәл бақылау термиялық кернеуді болдырмау, процесс тұрақтылығын жақсарту және чип өнімділігін арттыру үшін жартылай өткізгіштерді өндіруде маңызды. Жоғары дәлдіктегі салқындатқыштар жарықтар мен деламиминация сияқты ақауларды азайтуға, біркелкі қоспаны қамтамасыз етуге және оксид қабатының тұрақты қалыңдығын сақтауға көмектеседі — кірістілік пен сенімділікті арттырудың негізгі факторлары.
Жартылай өткізгішті өндіруде дәл температураны бақылау чиптің сапасын, өнімділігін және өндіріс өнімділігін қамтамасыз етуде маңызды рөл атқарады. Тіпті шамалы температура ауытқулары ақауларға немесе құрылғының істен шығуына әкеліп соқтыратын материалдың мінез-құлқы мен процесс нәтижелерінде елеулі өзгерістер тудыруы мүмкін.
Жылулық кернеудің әсері
Жартылай өткізгішті құрылғылар әртүрлі жылу кеңею коэффициенттері (CTE) бар материалдардың бірнеше қабаттарынан тұрады. Мысалы, кремний пластиналары, металдардың өзара байланыстары және диэлектрлік қабаттар жылдам қыздыру немесе салқындату кезінде әртүрлі жылдамдықпен кеңейеді немесе қысқарады. Бұл сәйкессіздік термиялық кернеуді тудыруы мүмкін, бұл күрделі өндірістік мәселелерге әкеледі, мысалы:
* Жарықтар: пластиналардағы беттік немесе ішкі жарықтар механикалық тұтастықты бұзып, құрылғының істен шығуына әкелуі мүмкін.
* Деламинация: металл немесе диэлектрлік қабаттар сияқты жұқа қабықшалар бөлініп, чиптің электрлік өнімділігін және ұзақ мерзімді сенімділігін әлсіретуі мүмкін.
* Құрылымдық деформация: құрылғы құрылымдары кернеу салдарынан майысып, ағып кету немесе қысқа тұйықталу сияқты электр ақауларын тудыруы мүмкін.
Жоғары дәлдіктегі температураны бақылаудың рөлі
TEYU өнеркәсіптік салқындатқыштары сияқты жетілдірілген температураны бақылау жүйелері температура тұрақтылығын ерекше дәлдікпен сақтауға арналған. Мысалы, TEYU-ның ультра жылдам лазерлік салқындатқышы ±0,08°C-қа дейінгі бақылау дәлдігін ұсынады, бұл жартылай өткізгіштердің маңызды жабдықтары, соның ішінде еріткіштер, тұндыру жүйелері және ион имплантаторлары үшін процестің тұрақтылығын қамтамасыз етеді.
Жартылай өткізгіш процестердегі дәл салқындату артықшылықтары
1. Термиялық кернеудің жарылуын болдырмайды: Біркелкі салқындатуды сақтай отырып, салқындатқыштар әртүрлі материалдар арасындағы CTE сәйкессіздігінің әсерін барынша азайтады, жылу циклі кезінде жарықтар мен қабаттасудың пайда болу қаупін тиімді төмендетеді.
2. Допингтің біркелкілігін жақсартады: иондарды имплантациялау және кейінгі жасыту кезінде тұрақты жылу жағдайлары вафлидегі қоспаның дәйекті активтенуін қамтамасыз етеді, чип өнімділігі мен сенімділігін арттырады.
3. Оксид қабатының консистенциясын жақсартады: Температураны дәл реттеу тотығу кезінде шеттен орталыққа жылу градиенттерін жоюға көмектеседі, транзистордың тұрақты сипаттамалары үшін өте маңызды қақпа оксидінің біркелкі қалыңдығын қамтамасыз етеді.
Қорытынды
Температураны бақылау жартылай өткізгіштерді өндіруде өте қажет. Жоғары дәлдіктегі термиялық басқару арқылы өндірушілер термиялық кернеуден туындаған ақауларды азайта алады, қоспалау және тотығу процестерінің біркелкілігін жақсартады және сайып келгенде, жоғары чип шығымдылығына және құрылғының жақсы өнімділігіне қол жеткізе алады.
Сізге қажет кезде біз сіз үшін осындамыз.
Бізбен байланысу үшін пішінді толтырыңыз, біз сізге көмектесуге қуаныштымыз.
TEYU S&A Chiller 2002 жылы салқындатқыштарды өндіру бойынша 23 жылдық тәжірибесі бар негізі қаланған және қазір салқындату технологиясының пионері және лазерлік индустриядағы сенімді серіктес ретінде танылды.
Copyright © 2025 TEYU S&A Chiller - Барлық құқықтар қорғалған.
