တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်ရေးမှာ ဘာကြောင့် အပူချိန်ထိန်းချုပ်မှုက အရေးကြီးတာလဲ။

တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်ရာတွင် တိကျသော အပူချိန်ထိန်းချုပ်မှုသည် ချစ်ပ်အရည်အသွေး၊ စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် ထုတ်လုပ်မှုအထွက်နှုန်းကို သေချာစေရန် အရေးကြီးသော အခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်သည်။ အနည်းငယ်သော အပူချိန်အတက်အကျများပင်လျှင် ပစ္စည်းအပြုအမူနှင့် လုပ်ငန်းစဉ်ရလဒ်များတွင် သိသာထင်ရှားသော ပြောင်းလဲမှုများကို ဖြစ်စေနိုင်ပြီး ချို့ယွင်းချက်များ သို့မဟုတ် စက်ပစ္စည်း ချို့ယွင်းမှုများကို ဖြစ်ပေါ်စေနိုင်သည်။

အပူဖိစီးမှု၏ သက်ရောက်မှု

တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းကိရိယာများတွင် မတူညီသော အပူချဲ့ထွင်မှုကိန်းဂဏန်းများ (CTE) ရှိသော ပစ္စည်းအလွှာများစွာ ပါဝင်သည်။ ဥပမာအားဖြင့်၊ ဆီလီကွန်ဝေဖာများ၊ သတ္တုချိတ်ဆက်မှုများနှင့် ဒိုက်ထရစ်အလွှာများသည် လျင်မြန်စွာ အပူပေးခြင်း သို့မဟုတ် အအေးခံခြင်းအတွင်း မတူညီသောနှုန်းထားများဖြင့် ချဲ့ထွင်ခြင်း သို့မဟုတ် ကျုံ့ခြင်းတို့ကို ဖြစ်ပေါ်စေသည်။ ဤမကိုက်ညီမှုသည် အပူဖိစီးမှုကို ဖန်တီးပေးပြီး အောက်ပါကဲ့သို့သော ပြင်းထန်သော ထုတ်လုပ်မှုပြဿနာများကို ဖြစ်ပေါ်စေသည်။

* အက်ကွဲကြောင်းများ- ဝေဖာများရှိ မျက်နှာပြင် သို့မဟုတ် အတွင်းပိုင်း အက်ကွဲကြောင်းများသည် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ တည်တံ့မှုကို ထိခိုက်စေပြီး စက်ပစ္စည်း ချို့ယွင်းမှုကို ဖြစ်စေနိုင်သည်။

* ပြိုကွဲခြင်း- သတ္တု သို့မဟုတ် dielectric အလွှာများကဲ့သို့သော ပါးလွှာသောဖလင်များသည် ကွဲထွက်နိုင်ပြီး ချစ်ပ်၏ လျှပ်စစ်စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် ရေရှည်ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကို အားနည်းစေပါသည်။

* ဖွဲ့စည်းပုံပုံပျက်ခြင်း- ကိရိယာဖွဲ့စည်းပုံများသည် ဖိစီးမှုကြောင့် ကောက်ကွေးနိုင်ပြီး ယိုစိမ့်မှု သို့မဟုတ် ရှော့ပတ်လမ်းများကဲ့သို့သော လျှပ်စစ်ပြဿနာများကို ဖြစ်စေနိုင်သည်။

မြင့်မားသောတိကျမှုရှိသော အပူချိန်ထိန်းချုပ်မှု၏ အခန်းကဏ္ဍ

TEYU စက်မှုလုပ်ငန်းသုံး အအေးပေးစက်များကဲ့သို့သော အဆင့်မြင့်အပူချိန်ထိန်းချုပ်စနစ်များကို အပူချိန်တည်ငြိမ်မှုကို အလွန်တိကျစွာ ထိန်းသိမ်းရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။ ဥပမာအားဖြင့်၊ TEYU ၏ အလွန်မြန်ဆန်သော လေဆာ အအေးပေးစက်သည် ±0.08°C အထိ ထိန်းချုပ်မှုတိကျမှုကို ပေးစွမ်းပြီး etcher များ၊ deposition စနစ်များနှင့် ion implanter များအပါအဝင် အရေးကြီးသော semiconductor စက်ပစ္စည်းများအတွက် လုပ်ငန်းစဉ်တည်ငြိမ်မှုကို သေချာစေသည်။

တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် တိကျသောအအေးပေးခြင်း၏ အကျိုးကျေးဇူးများ

၁။ အပူဖိစီးမှုအက်ကွဲခြင်းကို ကာကွယ်ပေးသည်- အအေးဓာတ်ကို တသမတ်တည်းထိန်းသိမ်းထားခြင်းဖြင့် ရေခဲသေတ္တာများသည် မတူညီသောပစ္စည်းများအကြား CTE မကိုက်ညီမှု၏အကျိုးသက်ရောက်မှုများကို လျှော့ချပေးပြီး အပူလည်ပတ်မှုအတွင်း အက်ကွဲကြောင်းများနှင့် အက်ကွဲကြောင်းများဖြစ်ပေါ်နိုင်ခြေကို ထိရောက်စွာလျှော့ချပေးသည်။

၂။ Doping Uniformity ကို ပိုမိုကောင်းမွန်စေသည်- အိုင်းယွန်းထည့်သွင်းခြင်းနှင့် နောက်ဆက်တွဲ အပူပေးခြင်းတို့တွင် တည်ငြိမ်သော အပူအခြေအနေများသည် wafer တစ်လျှောက်တွင် dopant activation ကို တသမတ်တည်းဖြစ်စေပြီး ချစ်ပ်စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကို မြှင့်တင်ပေးသည်။

၃။ အောက်ဆိုဒ်အလွှာ တသမတ်တည်းဖြစ်မှုကို မြှင့်တင်ပေးသည်- တိကျသော အပူချိန်ထိန်းညှိမှုသည် အောက်ဆိုဒ်ဓာတ်တိုးခြင်းအတွင်း အစွန်းမှအလယ်ဗဟိုသို့ အပူပြောင်းလဲမှုများကို ဖယ်ရှားပေးရန် ကူညီပေးပြီး တသမတ်တည်းရှိသော ထရန်စစ္စတာ ဝိသေသလက္ခဏာများအတွက် အရေးကြီးသော ဂိတ်အောက်ဆိုဒ်အထူကို သေချာစေသည်။

နိဂုံးချုပ်

အပူချိန်ထိန်းချုပ်မှုသည် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်ရာတွင် မရှိမဖြစ်လိုအပ်ပါသည်။ မြင့်မားသောတိကျသော အပူချိန်စီမံခန့်ခွဲမှုဖြင့် ထုတ်လုပ်သူများသည် အပူဖိစီးမှုကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော ချို့ယွင်းချက်များကို လျှော့ချနိုင်ပြီး၊ doping နှင့် oxidation လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် တစ်ပြေးညီဖြစ်မှုကို မြှင့်တင်ပေးနိုင်ကာ နောက်ဆုံးတွင် ချစ်ပ်ထုတ်လုပ်မှု မြင့်မားခြင်းနှင့် စက်ပစ္စည်းစွမ်းဆောင်ရည် ပိုမိုကောင်းမွန်လာခြင်းတို့ကို ရရှိစေပါသည်။