Лазерные новости
Точный контроль температуры для лазерных систем и промышленных применений с 2002 года
Язык
Точный контроль температуры необходим в производстве полупроводников для предотвращения термического напряжения, повышения стабильности процесса и улучшения производительности чипов. Высокоточные охладители помогают уменьшить дефекты, такие как трещины и расслоение, обеспечить равномерное легирование и поддерживать постоянную толщину оксидного слоя — ключевые факторы повышения производительности и надежности.
В производстве полупроводников точный контроль температуры играет жизненно важную роль в обеспечении качества чипов, производительности и выхода продукции. Даже незначительные колебания температуры могут вызвать значительные изменения в поведении материала и результатах процесса, что может привести к дефектам или сбоям в работе устройства.
Влияние термического стресса
Полупроводниковые приборы состоят из нескольких слоев материалов с разными коэффициентами теплового расширения (КТР). Например, кремниевые пластины, металлические соединения и диэлектрические слои расширяются или сжимаются с разной скоростью при быстром нагреве или охлаждении. Это несоответствие может создавать термическое напряжение, что приводит к серьезным производственным проблемам, таким как:
* Трещины: поверхностные или внутренние трещины в пластинах могут нарушить механическую целостность и привести к выходу устройства из строя.
* Расслоение: тонкие пленки, такие как слои металла или диэлектрика, могут разделиться, что приведет к снижению электрических характеристик и долгосрочной надежности микросхемы.
* Деформация конструкции: конструкции устройства могут деформироваться из-за напряжения, что может привести к электрическим проблемам, таким как утечка или короткое замыкание.
Роль высокоточного контроля температуры
Продвинутые системы контроля температуры, такие как промышленные охладители TEYU, разработаны для поддержания температурной стабильности с исключительной точностью. Например, сверхбыстрый лазерный охладитель TEYU обеспечивает точность контроля до ±0,08°C, гарантируя стабильность процесса для критического полупроводникового оборудования, включая травильные установки, системы осаждения и ионные имплантеры.
Преимущества прецизионного охлаждения в полупроводниковых процессах
1. Предотвращает растрескивание под действием термических напряжений: поддерживая равномерное охлаждение, охладители минимизируют влияние несоответствия КТР между различными материалами, эффективно снижая риск образования трещин и расслоения во время термоциклирования.
2. Улучшает однородность легирования: при ионной имплантации и последующем отжиге стабильные тепловые условия обеспечивают постоянную активацию легирующей примеси по всей пластине, что повышает производительность и надежность чипа.
3. Улучшает однородность оксидного слоя: точное регулирование температуры помогает устранить температурные градиенты от края к центру во время окисления, обеспечивая равномерную толщину оксидного слоя затвора, что имеет решающее значение для стабильных характеристик транзистора.
Заключение
Контроль температуры необходим в производстве полупроводников. Благодаря высокоточному тепловому управлению производители могут уменьшить дефекты, вызванные термическим напряжением, улучшить однородность процессов легирования и окисления и в конечном итоге достичь более высокого выхода годных чипов и лучшей производительности устройств.
Мы здесь для вас, когда вы в нас нуждаетесь.
Пожалуйста, заполните форму, чтобы связаться с нами, и мы будем рады вам помочь.
Компания TEYU S&A Chiller была основана в 2002 году и имеет 23-летний опыт производства чиллеров. В настоящее время она признана пионером в области технологий охлаждения и надежным партнером в лазерной промышленности.
Авторские права © 2025 TEYU S&A Chiller - Все права защищены.
