Kílódé tí Ìṣàkóso Òtútù Fi Ṣe Pàtàkì Nínú Ṣíṣe Àwọn Ohun Èlò Semiconductor?

Nínú iṣẹ́ àgbékalẹ̀ semiconductor, ìṣàkóso ìwọ̀n otútù tó péye kó ipa pàtàkì nínú rírí dájú pé ërún náà dára, iṣẹ́ rẹ̀ dára, àti pé ó máa ń jáde. Kódà àwọn ìyípadà díẹ̀ nínú ìwọ̀n otútù lè fa àwọn ìyípadà pàtàkì nínú ìwà àti àbájáde iṣẹ́, èyí tó lè yọrí sí àbùkù tàbí ìkùnà ẹ̀rọ.

Ipa ti wahala ooru

Àwọn ẹ̀rọ Semiconductor ní ọ̀pọ̀lọpọ̀ ìpele àwọn ohun èlò pẹ̀lú onírúurú coefficients of thermal expansion (CTE). Fún àpẹẹrẹ, àwọn wafer silicon, àwọn ìsopọ̀ irin, àti àwọn ìpele dielectric máa ń fẹ̀ síi tàbí kí wọ́n dì ní oríṣiríṣi ìwọ̀n nígbà tí a bá ń gbóná tàbí kí a máa tutù kíákíá. Àìbáramu yìí lè dá wàhálà ooru sílẹ̀, èyí tí ó lè fa àwọn ìṣòro iṣẹ́ ọnà tó le koko bíi:

* Àwọn ìfọ́: Àwọn ìfọ́ ojú tàbí ìfọ́ inú nínú àwọn wafers lè ba ìdúróṣinṣin ẹ̀rọ jẹ́ kí ẹ̀rọ náà sì bàjẹ́.

* Ìparẹ́: Àwọn fíìmù tín-tín, bíi àwọn fẹ́lẹ́fẹ́lẹ́ irin tàbí dielectric, lè ya sọ́tọ̀, èyí tí yóò mú kí iṣẹ́ iná mànàmáná chip náà dínkù àti ìgbẹ́kẹ̀lé ìgbà pípẹ́.

* Ìyípadà ìṣètò: Àwọn ìṣètò ẹ̀rọ lè wọ́ nítorí wàhálà, èyí tó lè fa ìṣòro iná mànàmáná bíi jíjò tàbí àwọn ìyípo kúkúrú.

Ipa ti Iṣakoso Iwọn otutu to peye giga

Àwọn ètò ìṣàkóso ìgbóná ooru tó ti pẹ́ bíi TEYU àwọn ẹ̀rọ amúlétutù ilé iṣẹ́ ni a ṣe láti mú kí ìdúróṣinṣin ìgbóná ooru dúró ṣinṣin pẹ̀lú ìṣedéédé tó tayọ. Fún àpẹẹrẹ, ẹ̀rọ amúlétutù lésà tó yára jù [1000000] ní ìṣedéédé ìṣàkóso tó tó ±0.08°C, èyí tó ń rí i dájú pé àwọn ẹ̀rọ amúlétutù tó ṣe pàtàkì dúró ṣinṣin, títí bí àwọn ẹ̀rọ amúlétutù, àwọn ẹ̀rọ amúlétutù, àti àwọn ẹ̀rọ amúlétutù ion.

Àwọn Àǹfààní Ìtutù Pípé Nínú Àwọn Ìlànà Semiconductor

1. Ó ń dènà ìfọ́kálẹ̀ ìdààmú ooru: Nípa mímú kí ìtútù bá ara mu, àwọn ohun èlò ìtutù máa ń dín àwọn ipa àìbáramu CTE láàárín àwọn ohun èlò tó yàtọ̀ síra kù, èyí sì máa ń dín ewu ìfọ́ká àti ìfọ́ká kù nígbà tí a bá ń lo ooru.

2. Mu Iṣọkan Doping pọ si: Ninu fifi ion sii ati fifi annealing leyin naa, awọn ipo ooru ti o duro ṣinṣin rii daju pe imuṣiṣẹ dopant waye ni gbogbo wafer, ti o mu iṣẹ ṣiṣe chip ati igbẹkẹle pọ si.

3. Ó mú kí ìṣọ̀kan àwọn ìpele oxide pọ̀ sí i: Ìṣàkóso ìwọ̀n otútù tó péye ń ran lọ́wọ́ láti mú àwọn ìpele ooru etí sí àárín kúrò nígbà ìfọ́sídì, ó sì ń rí i dájú pé ó nípọn oxide ẹnu ọ̀nà tó dọ́gba, èyí tó ṣe pàtàkì fún àwọn ànímọ́ transistor tó dọ́gba.

Ìparí

Iṣakoso iwọn otutu jẹ pataki ninu iṣelọpọ semiconductor. Pẹlu iṣakoso ooru ti o peye giga, awọn aṣelọpọ le dinku awọn abawọn ti wahala ooru fa, mu iṣọkan pọ si ni awọn ilana doping ati oxidation, ati nikẹhin ṣaṣeyọri awọn eso chip ti o ga julọ ati iṣẹ ṣiṣe ẹrọ ti o dara julọ.