تُعد الرقائق المادة الأساسية في تصنيع أشباه الموصلات، حيث تعمل كركائز للدوائر المتكاملة وغيرها من الأجهزة الإلكترونية الدقيقة. تُصنع الرقائق عادةً من السيليكون أحادي البلورة، وهي ناعمة ومسطحة، ويبلغ سمكها عادةً 0.5 مم، مع أقطار شائعة تبلغ 200 مم (8 بوصات) أو 300 مم (12 بوصة). تعتبر عملية الإنتاج معقدة للغاية، وتتضمن تنقية السيليكون، وتقطيع السبائك، وتلميع الرقاقة، والتصوير الضوئي، والحفر، وزرع الأيونات، والطلاء الكهربائي، واختبار الرقاقة، وأخيرًا تقطيع الرقاقة إلى قطع صغيرة. بسبب خصائصها المادية، تتطلب الرقائق تحكمًا صارمًا في النقاء والمسطحية ومعدلات العيوب، حيث تؤثر هذه الخصائص بشكل مباشر على أداء الشريحة.
تحديات تقطيع الرقاقات الشائعة
يتم اعتماد تقنية تقطيع الليزر على نطاق واسع في معالجة الرقاقة بسبب دقتها العالية ومزايا عدم التلامس. ومع ذلك، قد تنشأ العديد من مشكلات الجودة أثناء التقطيع:
العيوب والتشققات: غالبًا ما تنشأ هذه العيوب بسبب التبريد غير الكافي أو أدوات القطع البالية. إن تحسين نظام التبريد عن طريق ترقية سعة المبرد وزيادة تدفق المياه يمكن أن يساعد في تقليل التسخين غير المتساوي وتقليل تلف الحافة.
انخفاض دقة القطع: يحدث بسبب وضع الماكينة بشكل سيئ، أو طاولات العمل غير المستقرة، أو معلمات القطع غير الصحيحة. يمكن استعادة الدقة عن طريق تحسين معايرة الماكينة وتحسين إعدادات المعلمات.
أسطح القطع غير المستوية: يمكن أن يؤدي تآكل الشفرة أو الإعدادات غير الصحيحة أو عدم محاذاة المغزل إلى حدوث مخالفات في السطح. إن الصيانة الدورية وإعادة معايرة الماكينة أمران ضروريان لضمان قطع سلس.
دور مبردات الليزر في تقطيع الرقاقات
مبردات الليزر
تلعب دورًا حيويًا في الحفاظ على أداء واستقرار أنظمة الليزر والبصريات المستخدمة في تقطيع الرقاقات. من خلال توفير التحكم الدقيق في درجة الحرارة، فإنها تمنع انحراف الطول الموجي لليزر الناتج عن تقلبات درجة الحرارة، وهو أمر بالغ الأهمية للحفاظ على دقة القطع. كما يعمل التبريد الفعال على تقليل الضغط الحراري أثناء التقطيع، مما يقلل من خطر تشوه الشبكة أو التقطيع أو الشقوق الدقيقة التي يمكن أن تؤثر على جودة الرقاقة.
بالإضافة إلى ذلك، تستخدم مبردات الليزر نظام تبريد مائي مغلق الحلقة يعزل دائرة التبريد عن التلوث الخارجي. بفضل أنظمة المراقبة والإنذار المتكاملة، فإنها تعمل على تعزيز موثوقية معدات تقطيع الرقاقات على المدى الطويل بشكل كبير.
نظرًا لأن جودة تقطيع الرقاقة تؤثر بشكل مباشر على إنتاج الرقاقة، فإن دمج مبرد الليزر الموثوق به يساعد في تقليل العيوب الشائعة والحفاظ على الأداء الثابت. يعد اختيار المبرد المناسب بناءً على الحمل الحراري لنظام الليزر وبيئة التشغيل، بالإضافة إلى الصيانة المنتظمة، أمرًا أساسيًا لضمان التشغيل المستقر والفعال.
![Improving Wafer Dicing Quality in Laser Processing]()