Kādas ir biežāk sastopamās vafeļu griešanas problēmas un kā lāzerdzesētāji var palīdzēt?

Plātnes ir pusvadītāju ražošanas pamatmateriāls, kas kalpo kā substrāti integrētām shēmām un citām mikroelektroniskām ierīcēm. Parasti no monokristāliska silīcija izgatavotās plāksnes ir gludas, plakanas un parasti 0,5 mm biezas, ar kopējo diametru 200 mm (8 collas) vai 300 mm (12 collas). Ražošanas process ir ļoti sarežģīts, ietverot silīcija attīrīšanu, stieņu griešanu, plākšņu pulēšanu, fotolitogrāfiju, kodināšanu, jonu implantāciju, galvanizāciju, plākšņu testēšanu un visbeidzot plākšņu sagriešanu kubiņos. To materiālu īpašību dēļ vafeļu tīrībai, līdzenumam un defektu līmenim ir nepieciešama stingra kontrole, jo tie tieši ietekmē mikroshēmas veiktspēju.

Bieži sastopamas vafeļu sagriešanas problēmas

Lāzera griešanas tehnoloģija tiek plaši izmantota vafeļu apstrādē, pateicoties tās augstajai precizitātei un bezkontakta priekšrocībām. Tomēr griešanas laikā var rasties vairākas kvalitātes problēmas.:

Atgriezumi un šķembas: Šie defekti bieži rodas nepietiekamas dzesēšanas vai nolietotu griezējinstrumentu dēļ. Dzesēšanas sistēmas uzlabošana, palielinot dzesētāja jaudu un ūdens plūsmu, var palīdzēt samazināt nevienmērīgu sildīšanu un malu bojājumus.

Samazināta griešanas precizitāte: To izraisa nepareiza mašīnas pozicionēšana, nestabilas darba virsmas vai nepareizi griešanas parametri. Precizitāti var atjaunot, uzlabojot iekārtas kalibrēšanu un optimizējot parametru iestatījumus.

Nelīdzenas griešanas virsmas: asmeņu nodilums, nepareizi iestatījumi vai vārpstas nepareiza izlīdzināšana var izraisīt virsmas nelīdzenumus. Regulāra apkope un iekārtas atkārtota kalibrēšana ir būtiska, lai nodrošinātu vienmērīgu griešanu.

Lāzera dzesētāju loma vafeļu sagriešanā

Lāzera dzesētāji  ir būtiska loma vafeļu sagriešanas lāzeru un optisko sistēmu veiktspējas un stabilitātes uzturēšanā. Nodrošinot precīzu temperatūras kontroli, tie novērš lāzera viļņa garuma nobīdi, ko izraisa temperatūras svārstības, kas ir ļoti svarīgi griešanas precizitātes saglabāšanai. Efektīva dzesēšana arī samazina termisko spriegumu griešanas laikā, samazinot režģa deformācijas, šķembu vai mikroplaisu risku, kas var pasliktināt vafeļu kvalitāti.

Turklāt lāzerdzesētāji izmanto slēgtas cilpas ūdens dzesēšanas sistēmu, kas izolē dzesēšanas ķēdi no ārēja piesārņojuma. Ar integrētām uzraudzības un trauksmes sistēmām tie ievērojami uzlabo vafeļu griešanas iekārtu ilgtermiņa uzticamību.

Tā kā vafeļu griešanas kvalitāte tieši ietekmē mikroshēmas ražu, uzticama lāzerdzesētāja iekļaušana palīdz samazināt bieži sastopamos defektus un uzturēt nemainīgu veiktspēju. Atbilstoša dzesētāja izvēle, pamatojoties uz lāzera sistēmas termisko slodzi un darba vidi, kā arī regulāra apkope ir būtiska, lai nodrošinātu stabilu un efektīvu darbību.