Kādas ir biežāk sastopamās vafeļu griešanas problēmas un kā lāzerdzesētāji var palīdzēt?

Plāksnes ir pusvadītāju ražošanas pamatmateriāls, kas kalpo kā substrāti integrētajām shēmām un citām mikroelektroniskām ierīcēm. Parasti no monokristāliska silīcija izgatavotās plāksnītes ir gludas, plakanas un parasti 0,5 mm biezas, ar kopējo diametru 200 mm (8 collas) vai 300 mm (12 collas). Ražošanas process ir ļoti sarežģīts, ietverot silīcija attīrīšanu, lietņu griešanu, plāksnīšu pulēšanu, fotolitogrāfiju, kodināšanu, jonu implantāciju, galvanizāciju, plāksnīšu testēšanu un visbeidzot plāksnīšu sagriešanu. To materiāla īpašību dēļ plāksnēm ir nepieciešama stingra tīrības, plakanuma un defektu līmeņa kontrole, jo tie tieši ietekmē mikroshēmas veiktspēju.

Bieži sastopamas vafeļu sagriešanas problēmas

Lāzera griešanas tehnoloģija tiek plaši izmantota vafeļu apstrādē, pateicoties tās augstajai precizitātei un bezkontakta priekšrocībām. Tomēr griešanas laikā var rasties vairākas kvalitātes problēmas:

Atgriezumi un šķembas: Šie defekti bieži rodas nepietiekamas dzesēšanas vai nolietotu griezējinstrumentu dēļ. Dzesēšanas sistēmas uzlabošana, palielinot dzesētāja jaudu un ūdens plūsmu, var palīdzēt samazināt nevienmērīgu sildīšanu un malu bojājumus.

Samazināta griešanas precizitāte: To izraisa nepareiza iekārtas pozicionēšana, nestabilas darba virsmas vai nepareizi griešanas parametri. Precizitāti var atjaunot, uzlabojot iekārtas kalibrēšanu un optimizējot parametru iestatījumus.

Nelīdzenas griešanas virsmas: Asmens nodilums, nepareizi iestatījumi vai vārpstas nepareiza izlīdzināšana var izraisīt virsmas nelīdzenumus. Regulāra apkope un iekārtas atkārtota kalibrēšana ir būtiska, lai nodrošinātu vienmērīgu griešanu.

Lāzera dzesētāju loma vafeļu sagriešanā

Lāzera dzesētājiem ir būtiska loma vafeļu griešanā izmantoto lāzeru un optisko sistēmu veiktspējas un stabilitātes uzturēšanā. Nodrošinot precīzu temperatūras kontroli, tie novērš lāzera viļņa garuma novirzi, ko izraisa temperatūras svārstības, kas ir ļoti svarīgi griešanas precizitātes saglabāšanai. Efektīva dzesēšana arī samazina termisko spriegumu griešanās laikā, samazinot režģa deformācijas, šķembu vai mikroplaisu risku, kas var pasliktināt vafeļu kvalitāti.

Turklāt lāzerdzesētāji izmanto slēgtas cilpas ūdens dzesēšanas sistēmu, kas izolē dzesēšanas ķēdi no ārēja piesārņojuma. Ar integrētām uzraudzības un trauksmes sistēmām tie ievērojami uzlabo vafeļu griešanas iekārtu ilgtermiņa uzticamību.

Tā kā vafeļu griešanas kvalitāte tieši ietekmē mikroshēmas ražu, uzticama lāzera dzesētāja iekļaušana palīdz samazināt biežāk sastopamos defektus un uzturēt nemainīgu veiktspēju. Atbilstoša dzesētāja izvēle, pamatojoties uz lāzera sistēmas termisko slodzi un darba vidi, kā arī regulāra apkope ir būtiska, lai nodrošinātu stabilu un efektīvu darbību.