Wafer yo se materyèl fondamantal nan fabrikasyon semi-kondiktè, ki sèvi kòm substrats pou sikui entegre ak lòt aparèy mikwoelektwonik. Tipikman fèt ak silikon monokristalin, wafer yo lis, plat, epi anjeneral 0.5 mm epesè, ak dyamèt komen 200 mm (8 pous) oswa 300 mm (12 pous). Pwosesis pwodiksyon an trè konplèks, ki enplike pirifikasyon silikon, tranche lengote, polisaj wafer, fotolitografi, grave, enplantasyon iyon, galvanoplasti, tès wafer, epi finalman, koupe wafer an ti moso. Akòz pwopriyete materyèl yo, wafer yo mande kontwòl strik sou pite, platite, ak pousantaj domaj, paske sa yo afekte dirèkteman pèfòmans chip la.
Difikilte Komen nan Dekoupaj Wafer
Teknoloji koupe lazè a lajman adopte nan pwosesis waf akòz gwo presizyon li yo ak avantaj li pa bezwen kontakte. Sepandan, plizyè pwoblèm kalite ka rive pandan koupe a:
Bav ak Eklatman: Souvan, domaj sa yo soti nan yon refwadisman ki pa adekwa oswa zouti koupe ki ize. Amelyore sistèm refwadisman an lè w ogmante kapasite refrijerasyon an epi ogmante koule dlo a ka ede diminye chofaj inegal epi minimize domaj sou kwen yo.
Presizyon Koupe Redwi: Sa rive akoz move pozisyonman machin nan, tab travay ki pa estab, oswa paramèt koupe ki pa kòrèk. Ou ka retabli presizyon an lè w amelyore kalibrasyon machin nan epi optimize paramèt yo.
Sifas Koupe Inegal: Lam ki ize, move reglaj, oswa move aliyman aks la ka lakòz iregilarite sou sifas la. Antretyen regilye ak rekalibrasyon machin nan esansyèl pou asire yon koupe lis.
Wòl Refwadisè Lazè nan Wafer Dicing
Refwadisman lazè yo jwe yon wòl vital nan mentni pèfòmans ak estabilite sistèm lazè ak optik yo itilize nan koupe wafer. Lè yo bay yon kontwòl tanperati presi, yo anpeche derive longèdonn lazè ki koze pa varyasyon tanperati, ki enpòtan pou mentni presizyon koupe a. Refwadisman efikas minimize tou estrès tèmik pandan koupe a, sa ki diminye risk deformation rezo, eklatman, oswa mikwo-krak ki ka konpwomèt kalite wafer la.
Anplis de sa, refwadisè lazè yo itilize yon sistèm refwadisman dlo an bouk fèmen ki izole sikwi refwadisman an kont kontaminasyon ekstèn. Avèk sistèm siveyans ak alam entegre, yo amelyore anpil fyab alontèm ekipman koupe wafer yo.
Kòm kalite koupe waf la gen yon enpak dirèk sou rannman chip la, enkòporasyon yon refwadisè lazè serye ede minimize domaj komen yo epi kenbe yon pèfòmans konsistan. Chwazi refwadisè ki apwopriye a ki baze sou chaj tèmik sistèm lazè a ak anviwònman operasyon an, ansanm ak antretyen regilye, se kle pou asire yon operasyon ki estab ak efikas.
![Amelyore kalite koupe wafer nan pwosesis lazè]()