Өрөөнд зүсэх нийтлэг асуудал юу вэ, лазер хөргөгч хэрхэн туслах вэ?

Вафель нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн үндсэн материал бөгөөд нэгдсэн хэлхээ болон бусад микро электрон төхөөрөмжүүдийн субстрат болдог. Ихэвчлэн нэг талст цахиураар хийсэн хавтан нь гөлгөр, хавтгай, ихэвчлэн 0.5 мм зузаантай, нийтлэг диаметр нь 200 мм (8 инч) эсвэл 300 мм (12 инч) байдаг. Үйлдвэрлэлийн процесс нь маш нарийн төвөгтэй бөгөөд цахиур цэвэршүүлэх, ембүү зүсэх, вафель өнгөлөх, фотолитографи, сийлбэр, ион суулгац, цахилгаанаар бүрэх, өргүүрийг турших, эцэст нь зүсэх зэрэг юм. Материалын шинж чанараас шалтгаалан вафель нь чипний гүйцэтгэлд шууд нөлөөлдөг тул цэвэр байдал, тэгш байдал, согогийн хэмжээг хатуу хянахыг шаарддаг.

Өрөөнд зүсэх нийтлэг сорилтууд

Лазер шоо зүсэх технологи нь өндөр нарийвчлалтай, контактгүй давуу талтай тул өрөм боловсруулахад өргөн хэрэглэгддэг. Гэхдээ шоо зүсэх явцад чанарын хэд хэдэн асуудал үүсч болно:

Хагархай болон хагархай: Эдгээр согогууд нь ихэвчлэн хангалтгүй хөргөлт эсвэл элэгдсэн зүсэгч багажаас үүсдэг. Хөргөлтийн хүчин чадлыг сайжруулж, усны урсгалыг нэмэгдүүлэх замаар хөргөлтийн системийг сайжруулах нь жигд бус халаалтыг бууруулж, ирмэгийн эвдрэлийг багасгахад тусална.

Зүсэлтийн нарийвчлал буурсан: Машины буруу байрлал, тогтворгүй ажлын ширээ эсвэл огтлох параметрийн буруу зэргээс үүдэлтэй. Машины тохируулгыг сайжруулж, параметрийн тохиргоог оновчтой болгосноор нарийвчлалыг сэргээж болно.

Тэгш бус зүсэгдсэн гадаргуу: Хутганы элэгдэл, буруу тохируулга эсвэл булны буруу тохируулга нь гадаргуугийн жигд бус байдлыг үүсгэдэг. Тогтмол засвар үйлчилгээ хийх, машиныг дахин тохируулах нь жигд зүсэлт хийхэд зайлшгүй шаардлагатай.

Лазер хөргөгчийн өрсөг шоо дөрвөлжин дэх үүрэг

Лазер хөргөгч  Өргөст зүсэхэд ашигладаг лазер болон оптик системийн гүйцэтгэл, тогтвортой байдлыг хангахад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Температурын нарийн хяналтыг хийснээр тэд температурын хэлбэлзлээс үүдэлтэй лазер долгионы уртын шилжилтээс сэргийлдэг бөгөөд энэ нь зүсэлтийн нарийвчлалыг хадгалахад чухал ач холбогдолтой юм. Үр дүнтэй хөргөх нь мөн шоо зүсэх явцад дулааны стрессийг багасгаж, өргүүрийн чанарыг алдагдуулж болох торны гажуудал, хагарал, бичил хагарал үүсэх эрсдлийг бууруулдаг.

Нэмж дурдахад лазер хөргөгч нь хөргөлтийн хэлхээг гадны бохирдлоос тусгаарладаг хаалттай хэлхээтэй усан хөргөлтийн системийг ашигладаг. Нэгдсэн хяналт-шинжилгээ, дохиоллын системүүд нь вафель зүсэх төхөөрөмжийн урт хугацааны найдвартай байдлыг ихээхэн нэмэгдүүлдэг.

Өргөст зүсэх чанар нь чипний гарцад шууд нөлөөлдөг тул найдвартай лазер хөргөгчийг ашиглах нь нийтлэг согогийг багасгаж, тогтвортой гүйцэтгэлийг хадгалахад тусалдаг. Тогтмол засвар үйлчилгээ хийхээс гадна лазерын системийн дулааны ачаалал, ажиллах орчинд үндэслэн тохирох хөргөгчийг сонгох нь тогтвортой, үр ашигтай ажиллагааг хангах гол түлхүүр юм.