குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் வேஃபர்கள் அடிப்படைப் பொருளாகும், ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகள் மற்றும் பிற நுண் மின்னணு சாதனங்களுக்கு அடி மூலக்கூறுகளாகச் செயல்படுகின்றன. பொதுவாக மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கானால் தயாரிக்கப்படும் செதில்கள் மென்மையானவை, தட்டையானவை மற்றும் பொதுவாக 0.5 மிமீ தடிமன் கொண்டவை, பொதுவான விட்டம் 200 மிமீ (8 அங்குலம்) அல்லது 300 மிமீ (12 அங்குலம்) ஆகும். உற்பத்தி செயல்முறை மிகவும் சிக்கலானது, இதில் சிலிக்கான் சுத்திகரிப்பு, இங்காட் ஸ்லைசிங், வேஃபர் பாலிஷ், ஃபோட்டோலித்தோகிராபி, எட்சிங், அயன் இம்ப்ளான்டேஷன், எலக்ட்ரோபிளேட்டிங், வேஃபர் சோதனை மற்றும் இறுதியாக, வேஃபர் டைசிங் ஆகியவை அடங்கும். அவற்றின் பொருள் பண்புகள் காரணமாக, வேஃபர்கள் தூய்மை, தட்டையான தன்மை மற்றும் குறைபாடு விகிதங்களின் மீது கடுமையான கட்டுப்பாட்டைக் கோருகின்றன, ஏனெனில் இவை சில்லு செயல்திறனை நேரடியாக பாதிக்கின்றன.
பொதுவான வேஃபர் டைசிங் சவால்கள்
லேசர் டைசிங் தொழில்நுட்பம் அதன் உயர் துல்லியம் மற்றும் தொடர்பு இல்லாத நன்மைகள் காரணமாக வேஃபர் செயலாக்கத்தில் பரவலாக ஏற்றுக்கொள்ளப்படுகிறது. இருப்பினும், பகடை வெட்டும்போது பல தர சிக்கல்கள் எழக்கூடும்.:
பர்ர்ஸ் மற்றும் சில்லுகள்: இந்த குறைபாடுகள் பெரும்பாலும் போதுமான குளிர்ச்சி அல்லது தேய்ந்த வெட்டும் கருவிகளால் ஏற்படுகின்றன. குளிர்விப்பான் திறனை மேம்படுத்துவதன் மூலமும், நீர் ஓட்டத்தை அதிகரிப்பதன் மூலமும் குளிரூட்டும் அமைப்பை மேம்படுத்துவது சீரற்ற வெப்பத்தைக் குறைக்கவும், விளிம்பு சேதத்தைக் குறைக்கவும் உதவும்.
குறைக்கப்பட்ட வெட்டு துல்லியம்: மோசமான இயந்திர நிலைப்படுத்தல், நிலையற்ற பணிமேசைகள் அல்லது தவறான வெட்டு அளவுருக்கள் ஆகியவற்றால் ஏற்படுகிறது. இயந்திர அளவுத்திருத்தத்தை மேம்படுத்துவதன் மூலமும் அளவுரு அமைப்புகளை மேம்படுத்துவதன் மூலமும் துல்லியத்தை மீட்டெடுக்க முடியும்.
சீரற்ற வெட்டு மேற்பரப்புகள்: பிளேடு தேய்மானம், முறையற்ற அமைப்புகள் அல்லது சுழல் தவறான சீரமைப்பு ஆகியவை மேற்பரப்பு முறைகேடுகளுக்கு வழிவகுக்கும். சீரான வெட்டு உறுதி செய்யப்படுவதற்கு வழக்கமான பராமரிப்பு மற்றும் இயந்திர மறுசீரமைப்பு அவசியம்.
வேஃபர் டைசிங்கில் லேசர் குளிர்விப்பான்களின் பங்கு
லேசர் குளிர்விப்பான்கள்
வேஃபர் டைசிங்கில் பயன்படுத்தப்படும் லேசர் மற்றும் ஆப்டிகல் அமைப்புகளின் செயல்திறன் மற்றும் நிலைத்தன்மையை பராமரிப்பதில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. துல்லியமான வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டை வழங்குவதன் மூலம், அவை வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்களால் ஏற்படும் லேசர் அலைநீள சறுக்கலைத் தடுக்கின்றன, இது வெட்டு துல்லியத்தை பராமரிப்பதற்கு மிகவும் முக்கியமானது. பயனுள்ள குளிரூட்டல், டைசிங் செய்யும் போது வெப்ப அழுத்தத்தைக் குறைக்கிறது, லேட்டிஸ் சிதைவு, சிப்பிங் அல்லது வேஃபர் தரத்தை சமரசம் செய்யக்கூடிய மைக்ரோகிராக்குகளின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது.
கூடுதலாக, லேசர் குளிரூட்டிகள் ஒரு மூடிய-லூப் நீர் குளிரூட்டும் அமைப்பைப் பயன்படுத்துகின்றன, இது குளிரூட்டும் சுற்றுகளை வெளிப்புற மாசுபாட்டிலிருந்து தனிமைப்படுத்துகிறது. ஒருங்கிணைந்த கண்காணிப்பு மற்றும் எச்சரிக்கை அமைப்புகளுடன், அவை வேஃபர் டைசிங் உபகரணங்களின் நீண்டகால நம்பகத்தன்மையை கணிசமாக மேம்படுத்துகின்றன.
வேஃபர் டைசிங் தரம் சிப் விளைச்சலை நேரடியாகப் பாதிக்கும் என்பதால், நம்பகமான லேசர் குளிரூட்டியைச் சேர்ப்பது பொதுவான குறைபாடுகளைக் குறைக்கவும் நிலையான செயல்திறனைப் பராமரிக்கவும் உதவுகிறது. லேசர் அமைப்பின் வெப்ப சுமை மற்றும் இயக்க சூழலின் அடிப்படையில் பொருத்தமான குளிரூட்டியை தேர்ந்தெடுப்பது, வழக்கமான பராமரிப்புடன், நிலையான மற்றும் திறமையான செயல்பாட்டை உறுதி செய்வதற்கு முக்கியமாகும்.
![Improving Wafer Dicing Quality in Laser Processing]()