वेफर्स अर्धचालक विनिर्माण में आधारभूत सामग्री हैं, जो एकीकृत सर्किट और अन्य माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक उपकरणों के लिए सब्सट्रेट के रूप में काम करते हैं। आमतौर पर मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन से बने वेफर्स चिकने, सपाट और आमतौर पर 0.5 मिमी मोटे होते हैं, जिनका सामान्य व्यास 200 मिमी (8 इंच) या 300 मिमी (12 इंच) होता है। उत्पादन प्रक्रिया अत्यधिक जटिल है, जिसमें सिलिकॉन शुद्धिकरण, पिंड स्लाइसिंग, वेफर पॉलिशिंग, फोटोलिथोग्राफी, एचिंग, आयन इम्प्लांटेशन, इलेक्ट्रोप्लेटिंग, वेफर परीक्षण और अंत में, वेफर डाइसिंग शामिल है। अपने भौतिक गुणों के कारण, वेफर्स की शुद्धता, समतलता और दोष दर पर सख्त नियंत्रण की आवश्यकता होती है, क्योंकि ये सीधे चिप के प्रदर्शन को प्रभावित करते हैं।
वेफर डाइसिंग की सामान्य चुनौतियाँ
लेजर डाइसिंग प्रौद्योगिकी को इसकी उच्च परिशुद्धता और गैर-संपर्क लाभों के कारण वेफर प्रसंस्करण में व्यापक रूप से अपनाया जाता है। हालाँकि, डाइसिंग के दौरान कई गुणवत्ता संबंधी समस्याएँ उत्पन्न हो सकती हैं:
गड़गड़ाहट और छिलन: ये दोष अक्सर अपर्याप्त शीतलन या घिसे हुए काटने वाले औजारों के कारण उत्पन्न होते हैं। चिलर क्षमता को उन्नत करके और जल प्रवाह को बढ़ाकर शीतलन प्रणाली को बेहतर बनाने से असमान तापन को कम करने और किनारे की क्षति को न्यूनतम करने में मदद मिल सकती है।
कम कटिंग सटीकता: खराब मशीन स्थिति, अस्थिर कार्य तालिकाओं, या गलत कटिंग मापदंडों के कारण। मशीन अंशांकन में सुधार और पैरामीटर सेटिंग्स को अनुकूलित करके सटीकता को बहाल किया जा सकता है।
असमान कट सतहें: ब्लेड का घिसना, अनुचित सेटिंग, या स्पिंडल का गलत संरेखण सतह की अनियमितताओं का कारण बन सकता है। सुचारू कटाई सुनिश्चित करने के लिए नियमित रखरखाव और मशीन का पुनः अंशांकन आवश्यक है।
वेफर डाइसिंग में लेजर चिलर की भूमिका
लेजर चिलर
वेफर डाइसिंग में प्रयुक्त लेजर और ऑप्टिकल प्रणालियों के प्रदर्शन और स्थिरता को बनाए रखने में महत्वपूर्ण भूमिका निभाते हैं। सटीक तापमान नियंत्रण प्रदान करके, वे तापमान में उतार-चढ़ाव के कारण होने वाले लेजर तरंगदैर्ध्य बहाव को रोकते हैं, जो काटने की सटीकता बनाए रखने के लिए महत्वपूर्ण है। प्रभावी शीतलन से डाइसिंग के दौरान तापीय तनाव भी कम हो जाता है, जिससे जाली विरूपण, छिलने या सूक्ष्म दरारों का जोखिम कम हो जाता है, जो वेफर की गुणवत्ता से समझौता कर सकते हैं।
इसके अतिरिक्त, लेजर चिलर एक बंद-लूप जल शीतलन प्रणाली का उपयोग करते हैं जो शीतलन सर्किट को बाहरी संदूषण से अलग करता है। एकीकृत निगरानी और अलार्म प्रणालियों के साथ, वे वेफर डाइसिंग उपकरण की दीर्घकालिक विश्वसनीयता को महत्वपूर्ण रूप से बढ़ाते हैं।
चूंकि वेफर डाइसिंग की गुणवत्ता सीधे चिप उत्पादन को प्रभावित करती है, इसलिए एक विश्वसनीय लेजर चिलर को शामिल करने से सामान्य दोषों को कम करने और निरंतर प्रदर्शन बनाए रखने में मदद मिलती है। लेजर प्रणाली के तापीय भार और परिचालन वातावरण के आधार पर उपयुक्त चिलर का चयन, नियमित रखरखाव के साथ, स्थिर और कुशल संचालन सुनिश्चित करने के लिए महत्वपूर्ण है।
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