Kokios yra dažniausios vaflių pjaustymo problemos ir kaip gali padėti lazeriniai aušintuvai?

Plokštelės yra pagrindinė puslaidininkių gamybos medžiaga, naudojama kaip integrinių grandynų ir kitų mikroelektroninių prietaisų substratas. Paprastai iš monokristalinio silicio pagamintos plokštelės yra lygios, plokščios ir paprastai 0,5 mm storio, o jų skersmuo paprastai būna 200 mm (8 coliai) arba 300 mm (12 colių). Gamybos procesas yra labai sudėtingas, apimantis silicio valymą, luitų pjaustymą, plokštelių poliravimą, fotolitografiją, ėsdinimą, jonų implantaciją, galvanizavimą, plokštelių bandymą ir galiausiai plokštelių pjaustymą kubeliais. Dėl savo medžiagų savybių, plokštelių grynumas, plokštumas ir defektų dažnis reikalauja griežtos kontrolės, nes tai tiesiogiai veikia lustų našumą.

Dažni vaflių pjaustymo iššūkiai

Lazerinio pjaustymo technologija plačiai taikoma plokštelių apdirbime dėl didelio tikslumo ir nekontaktinio veikimo privalumų. Tačiau pjaustymo metu gali kilti keletas kokybės problemų:

Įbrėžimai ir atplaišos: Šie defektai dažnai atsiranda dėl nepakankamo aušinimo arba susidėvėjusių pjovimo įrankių. Aušinimo sistemos patobulinimas padidinant aušintuvo galią ir vandens srautą gali padėti sumažinti netolygų šildymą ir kraštų pažeidimus.

Sumažėjęs pjovimo tikslumas: atsiranda dėl netinkamo staklių padėties, nestabilių darbo stalų arba neteisingų pjovimo parametrų. Tikslumą galima atkurti patobulinus mašinos kalibravimą ir optimizuojant parametrų nustatymus.

Nelygūs pjovimo paviršiai: peilio susidėvėjimas, netinkami nustatymai arba veleno išlygiavimas gali sukelti paviršiaus nelygumus. Reguliarus prižiūrėjimas ir mašinos kalibravimas yra būtini norint užtikrinti sklandų pjovimą.

Lazerinių aušintuvų vaidmuo vaflių pjaustyme

Lazeriniai aušintuvai  atlieka gyvybiškai svarbų vaidmenį palaikant lazerinių ir optinių sistemų, naudojamų plokštelių pjaustymui, našumą ir stabilumą. Užtikrindami tikslų temperatūros valdymą, jie apsaugo nuo lazerio bangos ilgio poslinkio, kurį sukelia temperatūros svyravimai, o tai yra labai svarbu norint išlaikyti pjovimo tikslumą. Efektyvus aušinimas taip pat sumažina terminį įtempį pjovimo metu, sumažindamas gardelės iškraipymo, įskilimo ar mikroįtrūkimų, kurie gali pakenkti plokštelių kokybei, riziką.

Be to, lazeriniuose aušintuvuose naudojama uždaros kilpos vandens aušinimo sistema, kuri izoliuoja aušinimo kontūrą nuo išorinio užteršimo. Dėl integruotų stebėjimo ir signalizacijos sistemų jie žymiai padidina plokštelių pjaustymo įrangos ilgalaikį patikimumą.

Kadangi plokštelių pjovimo kokybė tiesiogiai veikia lustų išeigą, patikimo lazerinio aušintuvo įrengimas padeda sumažinti dažniausiai pasitaikančius defektus ir išlaikyti pastovų našumą. Tinkamo aušintuvo pasirinkimas pagal lazerinės sistemos šiluminę apkrovą ir darbo aplinką, taip pat reguliari priežiūra yra pagrindiniai veiksniai, užtikrinantys stabilų ir efektyvų veikimą.