Kokios yra dažniausios vaflių pjaustymo problemos ir kaip gali padėti lazeriniai aušintuvai?

Plokštelės yra pagrindinė puslaidininkių gamybos medžiaga, naudojama kaip integrinių grandynų ir kitų mikroelektronikos prietaisų substratas. Paprastai iš monokristalinio silicio pagamintos plokštelės yra lygios, plokščios ir dažniausiai 0,5 mm storio, o jų skersmuo paprastai yra 200 mm (8 coliai) arba 300 mm (12 colių). Gamybos procesas yra labai sudėtingas, apimantis silicio valymą, luitų pjaustymą, plokštelių poliravimą, fotolitografiją, ėsdinimą, jonų implantavimą, galvanizavimą, plokštelių bandymą ir galiausiai plokštelių pjaustymą kubeliais. Dėl savo medžiagų savybių plokštelių grynumas, plokštumas ir defektų dažnis turi būti griežtai kontroliuojami, nes tai tiesiogiai veikia lustų našumą.

Dažni vaflių pjaustymo iššūkiai

Lazerinio pjaustymo kubeliais technologija yra plačiai taikoma plokštelių apdirbime dėl didelio tikslumo ir nekontaktinio veikimo privalumų. Tačiau pjaustant kubeliais gali kilti keletas kokybės problemų:

Įbrėžimai ir atplaišos: šie defektai dažnai atsiranda dėl nepakankamo aušinimo arba susidėvėjusių pjovimo įrankių. Aušinimo sistemos patobulinimas padidinant aušintuvo galią ir vandens srautą gali padėti sumažinti netolygų šildymą ir kraštų pažeidimus.

Sumažėjęs pjovimo tikslumas: atsiranda dėl netinkamo staklės padėties, nestabilių darbo stalų arba neteisingų pjovimo parametrų. Tikslumą galima atkurti patobulinus staklės kalibravimą ir optimizuojant parametrų nustatymus.

Nelygūs pjovimo paviršiai: Dėl peilio susidėvėjimo, netinkamų nustatymų arba veleno išlygiavimo gali atsirasti paviršiaus nelygumų. Norint užtikrinti sklandų pjovimą, būtina reguliariai prižiūrėti ir pakartotinai kalibruoti stakles.

Lazerinių aušintuvų vaidmuo vaflių pjaustyme

Lazeriniai aušintuvai atlieka gyvybiškai svarbų vaidmenį palaikant lazerinių ir optinių sistemų, naudojamų plokštelių pjaustymui, našumą ir stabilumą. Užtikrindami tikslų temperatūros valdymą, jie apsaugo nuo lazerio bangos ilgio poslinkio, kurį sukelia temperatūros svyravimai, o tai yra labai svarbu norint išlaikyti pjovimo tikslumą. Efektyvus aušinimas taip pat sumažina terminį įtempį pjaustymo metu, sumažindamas gardelės iškraipymo, nuskilinėjimo ar mikroįtrūkimų riziką, kurie gali pakenkti plokštelių kokybei.

Be to, lazeriniuose aušintuvuose naudojama uždaro ciklo vandens aušinimo sistema, kuri izoliuoja aušinimo kontūrą nuo išorinio užteršimo. Integruotos stebėjimo ir signalizacijos sistemos žymiai padidina plokštelių pjaustymo įrangos ilgalaikį patikimumą.

Kadangi plokštelių pjovimo kokybė tiesiogiai veikia lustų išeigą, patikimo lazerinio aušintuvo įrengimas padeda sumažinti dažniausiai pasitaikančius defektus ir išlaikyti pastovų našumą. Tinkamo aušintuvo pasirinkimas pagal lazerinės sistemos šiluminę apkrovą ir darbo aplinką, taip pat reguliari priežiūra yra labai svarbūs siekiant užtikrinti stabilų ir efektyvų veikimą.