Пласціны з'яўляюцца асноўным матэрыялам у вытворчасці паўправаднікоў, служачы падкладкамі для інтэгральных схем і іншых мікраэлектронных прылад. Звычайна вырабляюцца з монакрышталічнага крэмнію, пласціны гладкія, плоскія і звычайна маюць таўшчыню 0,5 мм, а іх дыяметр складае 200 мм (8 цаляў) або 300 мм (12 цаляў). Вытворчы працэс вельмі складаны і ўключае ачыстку крэмнію, нарэзку зліткаў, паліроўку пласцін, фоталітаграфію, травленне, іённую імплантацыю, гальваніку, тэставанне пласцін і, нарэшце, нарэзку пласцін кубікамі. З-за ўласцівасцей матэрыялу, пласціны патрабуюць строгага кантролю за чысцінёй, плоскасцю і ўзроўнем дэфектаў, бо яны непасрэдна ўплываюць на прадукцыйнасць чыпа.
Распаўсюджаныя праблемы з нарэзкай вафельных кубікаў
Тэхналогія лазернай нарэзкі шырока выкарыстоўваецца ў апрацоўцы пласцін дзякуючы высокай дакладнасці і перавагам бескантактавай нарэзкі. Аднак падчас нарэзкі могуць узнікнуць некаторыя праблемы з якасцю:
Задзірыны і сколы: гэтыя дэфекты часта ўзнікаюць з-за недастатковага астуджэння або зношаных рэжучых інструментаў. Паляпшэнне сістэмы астуджэння шляхам павелічэння магутнасці чылера і павелічэння патоку вады можа дапамагчы паменшыць нераўнамерны нагрэў і мінімізаваць пашкоджанне краёў.
Зніжэнне дакладнасці рэзкі: выклікана няправільным пазіцыянаваннем станка, няўстойлівымі рабочымі сталамі або няправільнымі параметрамі рэзкі. Дакладнасць можна аднавіць, удасканаліўшы каліброўку машыны і аптымізаваўшы налады параметраў.
Няроўныя паверхні рэзкі: знос ляза, няправільныя налады або няправільнае выраўноўванне шпіндзеля могуць прывесці да няроўнасцей паверхні. Рэгулярнае тэхнічнае абслугоўванне і паўторная каліброўка машыны неабходныя для забеспячэння роўнага рэзу.
Роля лазерных ахаладжальнікаў у нарэзцы вафель кубікамі
Лазерныя ахаладжальнікі
адыгрываюць жыццёва важную ролю ў падтрыманні прадукцыйнасці і стабільнасці лазерных і аптычных сістэм, якія выкарыстоўваюцца пры нарэзцы пласцін. Забяспечваючы дакладны кантроль тэмпературы, яны прадухіляюць дрэйф даўжыні хвалі лазера, выкліканы ваганнямі тэмпературы, што мае вырашальнае значэнне для падтрымання дакладнасці рэзкі. Эфектыўнае астуджэнне таксама мінімізуе цеплавое напружанне падчас нарэзкі, зніжаючы рызыку дэфармацыі рашоткі, сколаў або мікратрэшчыны, якія могуць пагоршыць якасць пласцін.
Акрамя таго, у лазерных чылерах выкарыстоўваецца замкнёная сістэма вадзянога астуджэння, якая ізалюе контур астуджэння ад знешняга забруджвання. Дзякуючы інтэграваным сістэмам маніторынгу і сігналізацыі, яны значна павышаюць доўгатэрміновую надзейнасць абсталявання для нарэзкі пласцін.
Паколькі якасць нарэзкі пласцін непасрэдна ўплывае на выхад чыпа, ужыванне надзейнага лазернага ахаладжальніка дапамагае мінімізаваць распаўсюджаныя дэфекты і падтрымліваць стабільную прадукцыйнасць. Выбар адпаведнага чылера ў залежнасці ад цеплавой нагрузкі лазернай сістэмы і эксплуатацыйнага асяроддзя, а таксама рэгулярнае тэхнічнае абслугоўванне з'яўляюцца ключом да забеспячэння стабільнай і эфектыўнай працы.
![Improving Wafer Dicing Quality in Laser Processing]()