Il-wejfers huma l-materjal fundamentali fil-manifattura tas-semikondutturi, u jservu bħala sottostrati għal ċirkwiti integrati u apparati mikroelettroniċi oħra. Tipikament magħmula minn silikon monokristallin, il-wejfers huma lixxi, ċatti, u ġeneralment ħoxnin 0.5 mm, b'dijametri komuni ta' 200 mm (8 pulzieri) jew 300 mm (12-il pulzier). Il-proċess tal-produzzjoni huwa kumpless ħafna, u jinvolvi l-purifikazzjoni tas-silikon, it-tqattigħ tal-ingotti, l-illustrar tal-wejfers, il-fotolitografija, l-inċiżjoni, l-impjantazzjoni tal-joni, l-electroplating, l-ittestjar tal-wejfers, u fl-aħħar, it-tqattigħ tal-wejfers f'dadi. Minħabba l-proprjetajiet tal-materjal tagħhom, il-wejfers jeħtieġu kontroll strett fuq il-purità, il-flatness, u r-rati tad-difetti, peress li dawn jaffettwaw direttament il-prestazzjoni taċ-ċippa.
Sfidi Komuni tat-Tqattigħ tal-Wafers f'Dadi
It-teknoloġija tat-tqattigħ bil-lejżer hija adottata b'mod wiesa' fl-ipproċessar tal-wejfers minħabba l-preċiżjoni għolja tagħha u l-vantaġġi tagħha mingħajr kuntatt. Madankollu, jistgħu jinqalgħu diversi kwistjonijiet ta' kwalità waqt it-tqattigħ f'kubi:
Tħaffir u Tifqigħ: Dawn id-difetti ħafna drabi jirriżultaw minn tkessiħ inadegwat jew għodod tat-tqattigħ milbusa. It-titjib tas-sistema tat-tkessiħ billi tiġi aġġornata l-kapaċità tal-chiller u jiżdied il-fluss tal-ilma jista' jgħin biex jitnaqqas it-tisħin irregolari u jiġi minimizzat il-ħsara fit-truf.
Preċiżjoni Mnaqqsa tat-Tqattigħ: Ikkawżata minn pożizzjonament ħażin tal-magna, imwejjed tax-xogħol instabbli, jew parametri tat-tqattigħ mhux korretti. Il-preċiżjoni tista' tiġi restawrata billi tittejjeb il-kalibrazzjoni tal-magna u jiġu ottimizzati s-settings tal-parametri.
Uċuħ Maqtugħin Irregolari: Il-kedd tax-xafra, issettjar mhux xieraq, jew allinjament ħażin tal-magħżel jistgħu jwasslu għal irregolaritajiet tal-wiċċ. Manutenzjoni regolari u kalibrazzjoni mill-ġdid tal-magna huma essenzjali biex jiġi żgurat qtugħ bla xkiel.
Ir-Rwol tal-Laser Chillers fit-Tqattigħ tal-Wafers
Chillers bil-lejżer
għandhom rwol vitali fiż-żamma tal-prestazzjoni u l-istabbiltà tas-sistemi tal-lejżer u ottiċi użati fit-tqattigħ tal-wejfers. Billi jipprovdu kontroll preċiż tat-temperatura, jipprevjenu t-tendenza tat-tul tal-mewġ tal-lejżer ikkawżata minn varjazzjonijiet fit-temperatura, li hija kritika biex tinżamm il-preċiżjoni tat-tqattigħ. Tkessiħ effettiv jimminimizza wkoll l-istress termali waqt it-tqattigħ f'dadi, u b'hekk inaqqas ir-riskju ta' distorsjoni tal-kannizzata, tqattigħ, jew mikroxquq li jistgħu jikkompromettu l-kwalità tal-wejfer.
Barra minn hekk, iċ-chillers tal-lejżer jużaw sistema ta' tkessiħ tal-ilma b'ċirkwit magħluq li tiżola ċ-ċirkwit tat-tkessiħ minn kontaminazzjoni esterna. B'sistemi integrati ta' monitoraġġ u allarm, dawn itejbu b'mod sinifikanti l-affidabbiltà fit-tul tat-tagħmir tat-tqattigħ tal-wejfers.
Billi l-kwalità tat-tqattigħ tal-wejfers tħalli impatt dirett fuq ir-rendiment taċ-ċippa, l-inkorporazzjoni ta' chiller tal-lejżer affidabbli tgħin biex timminimizza d-difetti komuni u żżomm prestazzjoni konsistenti. L-għażla taċ-chiller xieraq ibbażat fuq it-tagħbija termali u l-ambjent operattiv tas-sistema tal-lejżer, flimkien ma' manutenzjoni regolari, hija essenzjali biex tiġi żgurata tħaddim stabbli u effiċjenti.
![Improving Wafer Dicing Quality in Laser Processing]()