Вафельді кесудің жалпы мәселелері қандай және лазерлік салқындатқыштар қалай көмектесе алады?

Пластиналар интегралдық схемалар мен басқа микроэлектрондық құрылғылар үшін субстрат ретінде қызмет ететін жартылай өткізгіш өндірісіндегі негізгі материал болып табылады. Әдетте монокристалды кремнийден жасалған пластиналар тегіс, тегіс және әдетте қалыңдығы 0,5 мм, жалпы диаметрі 200 мм (8 дюйм) немесе 300 мм (12 дюйм) болады. Өндіріс процесі өте күрделі, кремнийді тазартуды, құйманы кесуді, пластинаны жылтыратуды, фотолитографияны, офортты, ионды имплантациялауды, гальванизацияны, пластинаны сынауды және ақырында, пластинаны кесуді қамтиды. Материалдық қасиеттеріне байланысты пластиналар тазалық, тегістік және ақаулық көрсеткіштеріне қатаң бақылауды талап етеді, өйткені олар чиптің өнімділігіне тікелей әсер етеді.

Вафельді кесуге арналған жалпы қиындықтар

Лазерлік кесу технологиясы жоғары дәлдік пен жанаспайтын артықшылықтарға байланысты вафли өңдеуде кеңінен қолданылады. Дегенмен, текшелерді кесу кезінде бірнеше сапа мәселелері туындауы мүмкін:

Қақпалар және қиыршықтар: бұл ақаулар жиі салқындатудың жеткіліксіздігінен немесе тозған кескіш құралдардан туындайды. Салқындатқыштың сыйымдылығын арттыру және су ағынын арттыру арқылы салқындату жүйесін жақсарту біркелкі емес қыздыруды азайтуға және шеткі зақымдануды азайтуға көмектеседі.

Кесу дәлдігінің төмендеуі: машинаның нашар орналасуы, тұрақсыз жұмыс үстелдері немесе дұрыс кесу параметрлері. Құрылғыны калибрлеуді жақсарту және параметр параметрлерін оңтайландыру арқылы дәлдікті қалпына келтіруге болады.

Біркелкі емес кесілген беттер: Пышақтың тозуы, дұрыс емес орнатулар немесе шпиндельдің тураланбауы беттің бұзылуына әкелуі мүмкін. Тегіс кесуді қамтамасыз ету үшін тұрақты техникалық қызмет көрсету және машинаны қайта калибрлеу өте маңызды.

Вафельді кесудегі лазерлік салқындатқыштардың рөлі

Лазерлік салқындатқыштар  вафельді кесуде қолданылатын лазерлік және оптикалық жүйелердің өнімділігі мен тұрақтылығын сақтауда маңызды рөл атқарады. Температураны дәл бақылауды қамтамасыз ете отырып, олар кесу дәлдігін сақтау үшін маңызды болып табылатын температура ауытқуларынан туындаған лазерлік толқын ұзындығының ауытқуын болдырмайды. Тиімді салқындату сонымен қатар текшелерді кесу кезінде термиялық кернеуді азайтады, вафли сапасын төмендететін тордың бұрмалану, сыну немесе микрожарықтар қаупін азайтады.

Сонымен қатар, лазерлік салқындатқыштар салқындату тізбегін сыртқы ластанудан оқшаулайтын жабық контурлы суды салқындату жүйесін пайдаланады. Біріктірілген бақылау және дабыл жүйелерімен олар вафельді кесу жабдығының ұзақ мерзімді сенімділігін айтарлықтай арттырады.

Вафельді кесу сапасы чиптің шығымына тікелей әсер ететіндіктен, сенімді лазерлік салқындатқышты қосу жалпы ақауларды азайтуға және тұрақты өнімділікті сақтауға көмектеседі. Лазерлік жүйенің термиялық жүктемесі мен жұмыс ортасына негізделген сәйкес салқындатқышты таңдау және тұрақты техникалық қызмет көрсету тұрақты және тиімді жұмысты қамтамасыз етудің кілті болып табылады.