පොදු වේෆර් ඩයිසිං ගැටළු මොනවාද සහ ලේසර් චිලර් උදව් කරන්නේ කෙසේද?

අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ මූලික ද්‍රව්‍යය වන්නේ වේෆර් වන අතර, ඒකාබද්ධ පරිපථ සහ අනෙකුත් ක්ෂුද්‍ර ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංග සඳහා උපස්ථර ලෙස සේවය කරයි. සාමාන්‍යයෙන් ඒක ස්ඵටිකරූපී සිලිකන් වලින් සාදන ලද වේෆර් සුමට, පැතලි සහ සාමාන්‍යයෙන් 0.5 mm ඝනකමකින් යුක්ත වන අතර සාමාන්‍ය විෂ්කම්භය 200 mm (අඟල් 8) හෝ 300 mm (අඟල් 12) වේ. නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලිය ඉතා සංකීර්ණ වන අතර, සිලිකන් පිරිසිදු කිරීම, ඉන්ගෝට් පෙති කැපීම, වේෆර් ඔප දැමීම, ෆොටෝලිතෝග්‍රැෆි, කැටයම් කිරීම, අයන බද්ධ කිරීම, විද්‍යුත් ආලේපනය, වේෆර් පරීක්ෂාව සහ අවසාන වශයෙන් වේෆර් ඩයිසිං ඇතුළත් වේ. ඒවායේ ද්‍රව්‍යමය ගුණාංග නිසා, වේෆර් සංශුද්ධතාවය, පැතලි බව සහ දෝෂ අනුපාත සඳහා දැඩි පාලනයක් අවශ්‍ය වේ, මන්ද මේවා චිප ක්‍රියාකාරිත්වයට සෘජුවම බලපායි.

පොදු වේෆර් ඩයිසිං අභියෝග

ලේසර් කැට කැපීමේ තාක්ෂණය එහි ඉහළ නිරවද්‍යතාවය සහ ස්පර්ශ නොවන වාසි නිසා වේෆර් සැකසීමේදී බහුලව භාවිතා වේ. කෙසේ වෙතත්, කැට කැපීමේදී ගුණාත්මක ගැටළු කිහිපයක් මතු විය හැකිය:

බර්ස් සහ චිපින්: මෙම දෝෂ බොහෝ විට ඇති වන්නේ ප්‍රමාණවත් සිසිලනය නොමැතිකම හෝ ගෙවී ගිය කැපුම් මෙවලම් නිසාය. සිසිලන ධාරිතාව වැඩි දියුණු කිරීම සහ ජල ප්‍රවාහය වැඩි කිරීම මගින් සිසිලන පද්ධතිය වැඩි දියුණු කිරීම අසමාන උණුසුම අඩු කිරීමට සහ දාර හානි අවම කිරීමට උපකාරී වේ.

අඩු කැපුම් නිරවද්‍යතාවය: දුර්වල යන්ත්‍ර ස්ථානගත කිරීම, අස්ථායී වැඩ වගු හෝ වැරදි කැපුම් පරාමිතීන් නිසා ඇතිවේ. යන්ත්‍ර ක්‍රමාංකනය වැඩිදියුණු කිරීමෙන් සහ පරාමිති සැකසුම් ප්‍රශස්ත කිරීමෙන් නිරවද්‍යතාවය ප්‍රතිස්ථාපනය කළ හැකිය.

අසමාන කැපුම් මතුපිට: තල ඇඳීම, නුසුදුසු සැකසුම් හෝ ස්පින්ඩල් වැරදි ලෙස සකස් කිරීම මතුපිට අක්‍රමිකතා වලට හේතු විය හැක. සුමට කැපීමක් සහතික කිරීම සඳහා නිතිපතා නඩත්තු කිරීම සහ යන්ත්‍ර නැවත ක්‍රමාංකනය කිරීම අත්‍යවශ්‍ය වේ.

වේෆර් ඩයිසිං වලදී ලේසර් චිලර් වල කාර්යභාරය

වේෆර් ඩයිසිං සඳහා භාවිතා කරන ලේසර් සහ දෘශ්‍ය පද්ධතිවල ක්‍රියාකාරිත්වය සහ ස්ථායිතාව පවත්වා ගැනීම සඳහා ලේසර් සිසිලන යන්ත්‍ර වැදගත් කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි. නිරවද්‍ය උෂ්ණත්ව පාලනයක් ලබා දීමෙන්, ඒවා උෂ්ණත්ව උච්චාවචනයන් නිසා ඇතිවන ලේසර් තරංග ආයාම ප්ලාවිතය වළක්වයි, එය කැපුම් නිරවද්‍යතාවය පවත්වා ගැනීම සඳහා ඉතා වැදගත් වේ. ඵලදායී සිසිලනය ද ඩයිසිං අතරතුර තාප ආතතිය අවම කරයි, දැලිස් විකෘති කිරීම, චිපින් කිරීම හෝ වේෆර් ගුණාත්මක භාවයට හානි කළ හැකි ක්ෂුද්‍ර ඉරිතැලීම් අවදානම අඩු කරයි.

මීට අමතරව, ලේසර් සිසිලන යන්ත්‍ර මඟින් සිසිලන පරිපථය බාහිර දූෂණයෙන් හුදකලා කරන සංවෘත-ලූප් ජල සිසිලන පද්ධතියක් භාවිතා කරයි. ඒකාබද්ධ අධීක්ෂණ සහ අනතුරු ඇඟවීමේ පද්ධති සමඟ, ඒවා වේෆර් ඩයිසිං උපකරණවල දිගුකාලීන විශ්වසනීයත්වය සැලකිය යුතු ලෙස වැඩි දියුණු කරයි.

වේෆර් ඩයිසිං ගුණාත්මකභාවය චිප් අස්වැන්නට සෘජුවම බලපාන බැවින්, විශ්වාසදායක ලේසර් සිසිලන යන්ත්‍රයක් ඇතුළත් කිරීම පොදු දෝෂ අවම කර ගැනීමට සහ ස්ථාවර කාර්ය සාධනයක් පවත්වා ගැනීමට උපකාරී වේ. ලේසර් පද්ධතියේ තාප බර සහ මෙහෙයුම් පරිසරය මත පදනම්ව සුදුසු සිසිලන යන්ත්‍රය තෝරා ගැනීම, නිතිපතා නඩත්තු කිරීම සමඟින්, ස්ථාවර සහ කාර්යක්ෂම ක්‍රියාකාරිත්වය සහතික කිරීම සඳහා යතුරයි.