Плочице су основни материјал у производњи полупроводника, служећи као подлоге за интегрисана кола и друге микроелектронске уређаје. Типично направљене од монокристалног силицијума, плочице су глатке, равне и обично дебљине 0,5 мм, са уобичајеним пречником од 200 мм (8 инча) или 300 мм (12 инча). Производни процес је веома сложен и укључује пречишћавање силицијума, сечење ингота, полирање плочице, фотолитографију, нагризање, јонску имплантацију, галванизацију, тестирање плочице и коначно, сечење плочице на коцкице. Због својих својстава материјала, плочице захтевају строгу контролу чистоће, равности и стопе дефеката, јер то директно утиче на перформансе чипа.
Уобичајени изазови сечења вафла
Технологија ласерског сечења се широко примењује у обради плочица због своје високе прецизности и предности бесконтактног сечења. Међутим, током сечења може се појавити неколико проблема са квалитетом:
Неравнине и крхотине: Ови дефекти често настају услед неадекватног хлађења или истрошених алата за сечење. Побољшање система хлађења надоградњом капацитета чилера и повећањем протока воде може помоћи у смањењу неравномерног загревања и минимизирању оштећења ивица.
Смањена тачност сечења: Узрокована лошим позиционирањем машине, нестабилним радним столовима или нетачним параметрима сечења. Тачност се може вратити побољшањем калибрације машине и оптимизацијом подешавања параметара.
Неравне површине реза: Трошење сечива, неправилна подешавања или неусклађеност вретена могу довести до неравнина површине. Редовно одржавање и рекалибрација машине су неопходни како би се осигурало глатко сечење.
Улога ласерских хладњака у сечењу вафла
Ласерски хладњаци играју виталну улогу у одржавању перформанси и стабилности ласерских и оптичких система који се користе у сечењу плочица. Омогућавањем прецизне контроле температуре, они спречавају померање таласне дужине ласера изазвано флуктуацијама температуре, што је кључно за одржавање тачности сечења. Ефикасно хлађење такође минимизира термички стрес током сечења, смањујући ризик од изобличења решетке, крзања или микропукотина које могу угрозити квалитет плочице.
Поред тога, ласерски чилери користе систем за хлађење водом затвореног циклуса који изолује расхладни круг од спољашње контаминације. Са интегрисаним системима за праћење и аларм, они значајно побољшавају дугорочну поузданост опреме за сечење вафли.
Пошто квалитет сечења плочица директно утиче на принос чипа, уградња поузданог ласерског хладњака помаже у минимизирању уобичајених недостатака и одржавању конзистентних перформанси. Избор одговарајућег хладњака на основу термичког оптерећења и радног окружења ласерског система, заједно са редовним одржавањем, кључан је за обезбеђивање стабилног и ефикасног рада.
![Побољшање квалитета сечења вафла у ласерској обради]()