Přesná regulace teploty pro laserové systémy a průmyslové aplikace od roku 2002
Jazyk
Laserové chladiče jsou nezbytné pro zajištění kvality řezání plátků při výrobě polovodičů. Řízením teploty a minimalizací tepelného namáhání pomáhají snižovat otřepy, odštípnutí a nepravidelnosti povrchu. Spolehlivé chlazení zvyšuje stabilitu laseru a prodlužuje životnost zařízení, což přispívá k vyšší výtěžnosti čipů.
Desky jsou základním materiálem při výrobě polovodičů, slouží jako substráty pro integrované obvody a další mikroelektronická zařízení. Typicky vyrobené z monokrystalického křemíku jsou destičky hladké, ploché a obvykle 0,5 mm silné, s běžnými průměry 200 mm (8 palců) nebo 300 mm (12 palců). Výrobní proces je vysoce komplexní, zahrnuje čištění křemíku, krájení ingotů, leštění plátků, fotolitografii, leptání, iontovou implantaci, galvanické pokovování, testování plátků a nakonec krájení plátků. Díky svým materiálovým vlastnostem vyžadují wafery přísnou kontrolu čistoty, plochosti a četnosti vad, protože tyto přímo ovlivňují výkon čipu.
Běžné výzvy při krájení plátků
Technologie laserového kostkování je široce používána při zpracování plátků díky své vysoké přesnosti a bezkontaktním výhodám. Během krájení však může nastat několik problémů s kvalitou:
Otřepy a třísky: Tyto vady jsou často důsledkem nedostatečného chlazení nebo opotřebovaných řezných nástrojů. Vylepšení chladicího systému zvýšením kapacity chladiče a zvýšením průtoku vody může pomoci snížit nerovnoměrné zahřívání a minimalizovat poškození hran.
Snížená přesnost řezání: Je způsobena špatným umístěním stroje, nestabilními pracovními stoly nebo nesprávnými parametry řezání. Přesnost lze obnovit zlepšením kalibrace stroje a optimalizací nastavení parametrů.
Nerovnoměrné povrchy řezu: Opotřebení kotouče, nesprávné nastavení nebo nesouosost vřetena mohou vést k nepravidelnostem povrchu. Pravidelná údržba a rekalibrace stroje jsou nezbytné pro zajištění hladkého řezu.
Role laserových chladičů při krájení plátků
Laserové chladiče hrají zásadní roli při udržování výkonu a stability laserových a optických systémů používaných při krájení plátků. Tím, že poskytují přesnou kontrolu teploty, zabraňují posunu vlnové délky laseru způsobenému kolísáním teploty, což je rozhodující pro udržení přesnosti řezání. Efektivní chlazení také minimalizuje tepelné namáhání během krájení kostek a snižuje riziko deformace mřížky, odštípnutí nebo mikrotrhlin, které mohou ohrozit kvalitu plátku.
Laserové chladiče navíc používají uzavřený systém vodního chlazení, který izoluje chladicí okruh od vnějšího znečištění. Díky integrovaným monitorovacím a poplašným systémům výrazně zvyšují dlouhodobou spolehlivost zařízení na kostičky plátků.
Protože kvalita řezání plátků přímo ovlivňuje výtěžnost čipů, začlenění spolehlivého laserového chladiče pomáhá minimalizovat běžné vady a udržovat konzistentní výkon. Výběr vhodného chladiče na základě tepelného zatížení laserového systému a provozního prostředí spolu s pravidelnou údržbou je klíčem k zajištění stabilního a efektivního provozu.
Jsme tu pro vás, když nás potřebujete.
Kontaktujte nás prosím vyplněním formuláře a my vám rádi pomůžeme.
Společnost TEYU S&A Chiller byla založena v roce 2002 s 23 lety zkušeností s výrobou chladičů a nyní je uznávána jako průkopník v oblasti chladicích technologií a spolehlivý partner v laserovém průmyslu.
Autorská práva © 2025 TEYU S&A Chiller - Všechna práva vyhrazena.
