Mae oeryddion laser yn hanfodol ar gyfer sicrhau ansawdd deisio wafferi mewn gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion. Trwy reoli tymheredd a lleihau straen thermol, maent yn helpu i leihau burrs, naddu, ac afreoleidd-dra arwyneb. Mae oeri dibynadwy yn gwella sefydlogrwydd laser ac yn ymestyn oes offer, gan gyfrannu at gynnyrch sglodion uwch.
Wafferi yw'r deunydd sylfaenol mewn gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion, gan wasanaethu fel swbstradau ar gyfer cylchedau integredig a dyfeisiau microelectroneg eraill. Wedi'u gwneud yn nodweddiadol o silicon monocrystalline, mae wafferi yn llyfn, yn wastad, ac fel arfer 0.5 mm o drwch, gyda diamedrau cyffredin o 200 mm (8 modfedd) neu 300 mm (12 modfedd). Mae'r broses gynhyrchu yn gymhleth iawn, sy'n cynnwys puro silicon, sleisio ingot, caboli wafferi, ffotolithograffeg, ysgythru, mewnblannu ïon, electroplatio, profi wafferi, ac yn olaf, deisio wafferi. Oherwydd eu priodweddau materol, mae wafferi yn mynnu rheolaeth lem dros burdeb, gwastadrwydd a chyfraddau diffygion, gan fod y rhain yn effeithio'n uniongyrchol ar berfformiad sglodion.
Heriau Trosi Wafferi Cyffredin
Mae technoleg deisio laser yn cael ei fabwysiadu'n eang mewn prosesu wafferi oherwydd ei fanteision manylder uchel a di-gyswllt. Fodd bynnag, gall nifer o faterion ansawdd godi yn ystod deisio:
Burrs a Naddu: Mae'r diffygion hyn yn aml yn deillio o oeri annigonol neu offer torri treuliedig. Gall gwella'r system oeri trwy uwchraddio'r gallu i oeri a chynyddu llif y dŵr helpu i leihau gwresogi anwastad a lleihau difrod ymyl.
Cywirdeb Torri Llai: Wedi'i achosi gan safle peiriant gwael, byrddau gwaith ansefydlog, neu baramedrau torri anghywir. Gellir adfer cywirdeb trwy wella graddnodi peiriannau a gwneud y gorau o osodiadau paramedr.
Arwynebau Torri Anwastad: Gall gwisgo llafn, gosodiadau amhriodol, neu gamlinio gwerthyd arwain at afreoleidd-dra arwyneb. Mae cynnal a chadw rheolaidd ac ail-raddnodi peiriannau yn hanfodol i sicrhau toriad llyfn.
Rôl Oeri Laser mewn Deisio Wafferi
Mae oeryddion laser yn chwarae rhan hanfodol wrth gynnal perfformiad a sefydlogrwydd systemau laser ac optegol a ddefnyddir mewn deisio wafferi. Trwy ddarparu rheolaeth tymheredd manwl gywir, maent yn atal drifft tonfedd laser a achosir gan amrywiadau tymheredd, sy'n hanfodol ar gyfer cynnal cywirdeb torri. Mae oeri effeithiol hefyd yn lleihau straen thermol yn ystod deisio, gan leihau'r risg o ystumio dellt, naddu, neu ficrocraciau a all beryglu ansawdd wafferi.
Yn ogystal, mae oeryddion laser yn defnyddio system oeri dŵr dolen gaeedig sy'n ynysu'r gylched oeri rhag halogiad allanol. Gyda systemau monitro a larwm integredig, maent yn gwella'n sylweddol ddibynadwyedd hirdymor offer deisio wafferi.
Gan fod ansawdd deisio wafferi yn effeithio'n uniongyrchol ar gynnyrch sglodion, mae ymgorffori oerydd laser dibynadwy yn helpu i leihau diffygion cyffredin a chynnal perfformiad cyson. Mae dewis yr oerydd priodol yn seiliedig ar lwyth thermol ac amgylchedd gweithredu'r system laser, ynghyd â chynnal a chadw rheolaidd, yn allweddol i sicrhau gweithrediad sefydlog ac effeithlon.
Rydyn ni yma i chi pan fyddwch chi ein hangen ni.
Cwblhewch y ffurflen i gysylltu â ni, a byddwn yn hapus i'ch helpu.
Hawlfraint © 2025 TEYU S&A Chiller - Cedwir Pob Hawl.