Control preciso da temperatura para sistemas láser e aplicacións industriais desde 2002
Lingua
Os refrixeradores láser son esenciais para garantir a calidade do corte de obleas na fabricación de semicondutores. Ao xestionar a temperatura e minimizar o estrés térmico, axudan a reducir as rebabas, as astilladuras e as irregularidades da superficie. O arrefriamento fiable mellora a estabilidade do láser e prolonga a vida útil do equipo, contribuíndo a un maior rendemento do chip.
As obleas son o material fundamental na fabricación de semicondutores, que serven como substratos para circuítos integrados e outros dispositivos microelectrónicos. Normalmente feitas de silicio monocristalino, as obleas son lisas, planas e normalmente teñen un grosor de 0,5 mm, con diámetros comúns de 200 mm (8 polgadas) ou 300 mm (12 polgadas). O proceso de produción é moi complexo, que inclúe a purificación de silicio, corte de lingotes, pulido de obleas, fotolitografía, gravado, implantación iónica, galvanoplastia, proba de obleas e, finalmente, corte de obleas. Debido ás súas propiedades materiais, as obleas esixen un control estrito sobre a pureza, a planitude e as taxas de defectos, xa que afectan directamente o rendemento do chip.
Desafíos comúns de corte de obleas
A tecnoloxía de corte con láser é amplamente adoptada no procesamento de obleas debido á súa alta precisión e vantaxes sen contacto. Non obstante, poden xurdir varios problemas de calidade durante o corte en dados:
Rebabas e astilladuras: estes defectos adoitan derivarse dun arrefriamento inadecuado ou de ferramentas de corte desgastadas. Mellorar o sistema de refrixeración mellorando a capacidade do enfriador e aumentando o fluxo de auga pode axudar a reducir o quecemento irregular e minimizar os danos nos bordos.
Precisión de corte reducida: causada por un mal posicionamento da máquina, mesas de traballo inestables ou parámetros de corte incorrectos. A precisión pódese restaurar mellorando a calibración da máquina e optimizando a configuración dos parámetros.
Superficies de corte irregulares: o desgaste da folla, a configuración inadecuada ou a desalineación do eixe poden provocar irregularidades na superficie. O mantemento regular e a recalibración da máquina son esenciais para garantir un corte suave.
Papel dos enfriadores láser no corte de obleas
Os refrixeradores láser xogan un papel vital para manter o rendemento e a estabilidade dos sistemas ópticos e láser utilizados na corte de obleas. Ao ofrecer un control preciso da temperatura, evitan a deriva da lonxitude de onda do láser causada polas flutuacións de temperatura, o que é fundamental para manter a precisión de corte. O arrefriamento eficaz tamén minimiza o estrés térmico durante o corte en dados, reducindo o risco de distorsión da rede, astillamento ou microgrietas que poden comprometer a calidade da oblea.
Ademais, os refrixeradores láser usan un sistema de refrixeración de auga de circuito pechado que illa o circuíto de refrixeración da contaminación externa. Con sistemas integrados de monitorización e alarma, melloran significativamente a fiabilidade a longo prazo dos equipos de corte de obleas.
Dado que a calidade do corte de obleas incide directamente no rendemento de chip, a incorporación dun refrixerador láser fiable axuda a minimizar os defectos comúns e a manter un rendemento constante. A selección do refrixerador axeitado en función da carga térmica do sistema láser e do ambiente operativo, xunto co mantemento regular, é fundamental para garantir un funcionamento estable e eficiente.
Estamos aquí para ti cando nos necesites.
Complete o formulario para contactar connosco e estaremos encantados de axudarche.
TEYU S&A Chiller fundouse en 2002 con 23 anos de experiencia na fabricación de refrixeradores e agora é recoñecida como pioneira na tecnoloxía de refrixeración e socio fiable na industria láser.
Dereitos reservados © 2025 TEYU S&A Chiller.
