लेजर समाचार
2002 से लेज़र सिस्टम और औद्योगिक अनुप्रयोगों के लिए सटीक तापमान नियंत्रण
भाषा: हिन्दी
सेमीकंडक्टर निर्माण में वेफर डाइसिंग की गुणवत्ता सुनिश्चित करने के लिए लेजर चिलर आवश्यक हैं। तापमान को प्रबंधित करके और थर्मल तनाव को कम करके, वे गड़गड़ाहट, छिलने और सतह की अनियमितताओं को कम करने में मदद करते हैं। विश्वसनीय शीतलन लेजर स्थिरता को बढ़ाता है और उपकरण के जीवन को बढ़ाता है, जिससे उच्च चिप उपज में योगदान मिलता है।
वेफ़र्स सेमीकंडक्टर निर्माण में आधारभूत सामग्री हैं, जो एकीकृत सर्किट और अन्य माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक उपकरणों के लिए सब्सट्रेट के रूप में काम करते हैं। आम तौर पर मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन से बने वेफ़र चिकने, सपाट और आम तौर पर 0.5 मिमी मोटे होते हैं, जिनका सामान्य व्यास 200 मिमी (8 इंच) या 300 मिमी (12 इंच) होता है। उत्पादन प्रक्रिया अत्यधिक जटिल है, जिसमें सिलिकॉन शुद्धिकरण, पिंड स्लाइसिंग, वेफ़र पॉलिशिंग, फोटोलिथोग्राफी, नक़्क़ाशी, आयन इम्प्लांटेशन, इलेक्ट्रोप्लेटिंग, वेफ़र परीक्षण और अंत में, वेफ़र डाइसिंग शामिल है। उनके भौतिक गुणों के कारण, वेफ़र शुद्धता, समतलता और दोष दरों पर सख्त नियंत्रण की मांग करते हैं, क्योंकि ये सीधे चिप के प्रदर्शन को प्रभावित करते हैं।
वेफर डाइसिंग की सामान्य चुनौतियाँ
लेजर डाइसिंग तकनीक को इसकी उच्च परिशुद्धता और गैर-संपर्क लाभों के कारण वेफर प्रसंस्करण में व्यापक रूप से अपनाया जाता है। हालाँकि, डाइसिंग के दौरान कई गुणवत्ता संबंधी समस्याएँ उत्पन्न हो सकती हैं:
गड़गड़ाहट और चिपिंग: ये दोष अक्सर अपर्याप्त शीतलन या घिसे हुए कटिंग टूल के कारण होते हैं। चिलर की क्षमता को उन्नत करके और पानी के प्रवाह को बढ़ाकर शीतलन प्रणाली को बेहतर बनाने से असमान हीटिंग को कम करने और किनारे की क्षति को कम करने में मदद मिल सकती है।
कम कटिंग सटीकता: खराब मशीन पोजिशनिंग, अस्थिर वर्कटेबल्स या गलत कटिंग पैरामीटर्स के कारण। मशीन कैलिब्रेशन में सुधार करके और पैरामीटर सेटिंग्स को अनुकूलित करके सटीकता को बहाल किया जा सकता है।
असमान कट सतहें: ब्लेड घिसना, अनुचित सेटिंग या स्पिंडल का गलत संरेखण सतह की अनियमितताओं का कारण बन सकता है। चिकनी कट सुनिश्चित करने के लिए नियमित रखरखाव और मशीन का पुनः अंशांकन आवश्यक है।
वेफर डाइसिंग में लेजर चिलर्स की भूमिका
लेजर चिलर वेफर डाइसिंग में उपयोग किए जाने वाले लेजर और ऑप्टिकल सिस्टम के प्रदर्शन और स्थिरता को बनाए रखने में महत्वपूर्ण भूमिका निभाते हैं। सटीक तापमान नियंत्रण प्रदान करके, वे तापमान में उतार-चढ़ाव के कारण होने वाले लेजर तरंगदैर्ध्य बहाव को रोकते हैं, जो कटिंग सटीकता बनाए रखने के लिए महत्वपूर्ण है। प्रभावी शीतलन डाइसिंग के दौरान थर्मल तनाव को भी कम करता है, जिससे जाली विरूपण, चिपिंग या माइक्रोक्रैक का जोखिम कम हो जाता है जो वेफर की गुणवत्ता से समझौता कर सकते हैं।
इसके अलावा, लेजर चिलर एक बंद लूप जल शीतलन प्रणाली का उपयोग करते हैं जो शीतलन सर्किट को बाहरी संदूषण से अलग करता है। एकीकृत निगरानी और अलार्म सिस्टम के साथ, वे वेफर डाइसिंग उपकरण की दीर्घकालिक विश्वसनीयता को महत्वपूर्ण रूप से बढ़ाते हैं।
चूंकि वेफर डाइसिंग की गुणवत्ता सीधे चिप की उपज को प्रभावित करती है, इसलिए एक विश्वसनीय लेजर चिलर को शामिल करने से आम दोषों को कम करने और लगातार प्रदर्शन बनाए रखने में मदद मिलती है। लेजर सिस्टम के थर्मल लोड और ऑपरेटिंग वातावरण के आधार पर उचित चिलर का चयन, नियमित रखरखाव के साथ, स्थिर और कुशल संचालन सुनिश्चित करने के लिए महत्वपूर्ण है।
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