Kedu nsogbu ndị a na-ahụkarị gbasara ịkpụ Wafer na kedu ka ihe mkpuchi Laser ga-esi enyere aka?

Wafers bụ ihe dị mkpa n'imepụta semiconductor, na-eje ozi dị ka ihe ndị e ji eme ihe maka sekit agbakwunyere na ngwaọrụ microelectronic ndị ọzọ. A na-ejikarị silikọn monocrystalline eme ha, wafers na-adị ire ụtọ, dị larịị, ma na-adịkarị 0.5 mm n'obosara, ha nwere dayameta nkịtị nke 200 mm (inch 8) ma ọ bụ 300 mm (inch 12). Usoro mmepụta a dị oke mgbagwoju anya, gụnyere nhicha silicon, ịkpụ ingot, ịkpụcha wafer, fotolithography, ịchacha, itinye ion, electroplating, nnwale wafer, na n'ikpeazụ, ịkpụcha wafer. N'ihi ihe onwunwe ha, wafers chọrọ njikwa siri ike na ịdị ọcha, ịdị larịị, na ọnụego ntụpọ, ebe ọ bụ na ihe ndị a na-emetụta arụmọrụ chip ozugbo.

Ihe ịma aka Ịkpụ Wafer A Na-ahụkarị

A na-ejikarị teknụzụ ịkpụ laser eme ihe n'ọtụtụ ebe n'ịhazi wafer n'ihi oke nkenke ya na uru ya na-adịghị emetụ aka. Agbanyeghị, ọtụtụ nsogbu dị mma nwere ike ibilite n'oge ịkpụ:

Ọkụ na Mkpọchi: Nrụpụta ndị a na-abụkarị n'ihi enweghị ezigbo ngwaọrụ ịkpụ oyi ma ọ bụ nke e ji egbutu ihe. Ime ka usoro oyi dịkwuo mma site n'ịkwalite ikike oyi na ịbawanye mmiri nwere ike inye aka belata okpomọkụ na-adịghị mma ma belata mmebi n'akụkụ.

Mbelata Izizi Mkpụcha: Ihe kpatara ya bụ ọnọdụ igwe adịghị mma, tebụl ọrụ na-adịghị akwụsi ike, ma ọ bụ paramita ịkpụ na-ezighi ezi. Enwere ike weghachite izi ezi site na imeziwanye nhazi igwe na imeziwanye ntọala paramita.

Ebe a na-anaghị emecha nke ọma: Agụba na-emebi emebi, ntọala na-adịghị mma, ma ọ bụ nhazi spindle na-adịghị mma nwere ike ibute nsogbu n'elu. Mmezi na nhazi igwe mgbe niile dị mkpa iji hụ na e ji aka bee ya nke ọma.

Ọrụ nke ndị na-eme ka laser chillers dị na Wafer Dicing

Igwe oyi laser na-arụ ọrụ dị oke mkpa n'ịnọgide na-arụ ọrụ na nkwụsi ike nke sistemụ laser na optic eji eme ihe na wafer dicing. Site n'inye njikwa okpomọkụ ziri ezi, ha na-egbochi ntụgharị ogologo oge laser nke mgbanwe okpomọkụ na-akpata, nke dị oke mkpa maka ịnọgide na-enwe izi ezi nke ịkpụ. Ịjụ oyi nke ọma na-ebelatakwa nrụgide okpomọkụ n'oge ịkpụ, na-ebelata ihe egwu nke mgbanwe lattice, mgbawa, ma ọ bụ obere cracks nke nwere ike imebi ịdị mma wafer.

Tinyere nke ahụ, igwe oyi laser na-eji sistemụ mmiri oyi mechiri emechi nke na-ekewapụ sekit oyi na mmetọ mpụga. Site na sistemụ nlekota na mkpu agbakwunyere, ha na-eme ka ntụkwasị obi ogologo oge nke ngwa wafer dicing dịkwuo mma.

Ebe ọ bụ na ịdị mma nke wafer dicing na-emetụta mmepụta chip, itinye ihe mkpuchi laser a pụrụ ịtụkwasị obi na-enyere aka belata ntụpọ ndị a na-ahụkarị ma nọgide na-arụ ọrụ mgbe niile. Ịhọrọ ihe mkpuchi kwesịrị ekwesị dabere na ibu okpomọkụ na gburugburu ebe ọrụ nke sistemụ laser, yana mmezi mgbe niile, bụ isi ihe dị mkpa iji hụ na ọrụ kwụsiri ike ma dị irè.