Laser kælir eru nauðsynlegir til að tryggja gæði obláta teninga í hálfleiðaraframleiðslu. Með því að stjórna hitastigi og lágmarka hitauppstreymi hjálpa þeir til við að draga úr burrs, flísum og yfirborðsóreglum. Áreiðanleg kæling eykur stöðugleika leysisins og lengir líftíma búnaðarins, sem stuðlar að meiri flísafrakstur.
Wafers eru grunnefnið í hálfleiðaraframleiðslu, sem þjóna sem hvarfefni fyrir samþættar rafrásir og önnur örrafræn tæki. Venjulega framleidd úr einkristölluðu sílikoni, diskar eru sléttar, flatar og venjulega 0,5 mm þykkar, með algengar þvermál 200 mm (8 tommur) eða 300 mm (12 tommur). Framleiðsluferlið er mjög flókið og felur í sér kísilhreinsun, sneiðingu á hleifum, slípun á oblátum, ljósþurrkun, ætingu, jónaígræðslu, rafhúðun, oblátaprófun og að lokum skurð á oblátum. Vegna efniseiginleika þeirra krefjast oblátur strangt eftirlit með hreinleika, flatleika og gallahlutfalli, þar sem þetta hefur bein áhrif á afköst flísanna.
Algengar áskoranir um að teningjastífl
Laser teningatækni er víða notuð í oblátavinnslu vegna mikillar nákvæmni og snertilausra kosta. Hins vegar geta nokkur gæðavandamál komið upp við teninga:
Burrs og flísar: Þessir gallar stafa oft af ófullnægjandi kælingu eða slitnum skurðarverkfærum. Að bæta kælikerfið með því að uppfæra kælirýmið og auka vatnsrennsli getur hjálpað til við að draga úr ójafnri hitun og lágmarka skaða á brúnum.
Minni skurðarnákvæmni: Orsakast af lélegri staðsetningu vélarinnar, óstöðugum vinnuborðum eða röngum skurðarbreytum. Hægt er að endurheimta nákvæmni með því að bæta kvörðun vélarinnar og fínstilla færibreytustillingar.
Ójöfn skurðyfirborð: Slit á hnífnum, óviðeigandi stillingar eða röng snælda getur leitt til ójöfnunar á yfirborði. Reglulegt viðhald og endurkvörðun vélar eru nauðsynleg til að tryggja sléttan skurð.
Hlutverk Laser Chillers í Wafer Dicing
Laserkælar gegna mikilvægu hlutverki við að viðhalda afköstum og stöðugleika leysikerfa og ljóskerfa sem notuð eru til að skera niður oblátur. Með því að veita nákvæma hitastýringu koma þeir í veg fyrir leysibylgjulengdarrek af völdum hitasveiflna, sem er mikilvægt til að viðhalda nákvæmni skurðar. Árangursrík kæling dregur einnig úr hitauppstreymi meðan á teningum stendur og dregur úr hættu á grindarbjögun, flísum eða örsprungum sem geta dregið úr gæðum obláta.
Að auki nota leysikælitæki lokað vatnskælikerfi sem einangrar kælirásina frá ytri mengun. Með samþættum vöktunar- og viðvörunarkerfum auka þau verulega langtímaáreiðanleika búnaðar til að skera niður oblátur.
Þar sem gæði obláta teninga hefur bein áhrif á flísafraksturinn, hjálpar það að nota áreiðanlega leysikæli til að lágmarka algenga galla og viðhalda stöðugri frammistöðu. Val á viðeigandi kælivél byggt á hitauppstreymi leysikerfisins og rekstrarumhverfi, ásamt reglulegu viðhaldi, er lykillinn að því að tryggja stöðugan og skilvirkan rekstur.
Við erum hér fyrir þig þegar þú þarft á okkur að halda.
Vinsamlegast fylltu út eyðublaðið til að hafa samband við okkur og við munum vera fús til að hjálpa þér.
Höfundarréttur © 2025 TEYU S&A Chiller - Allur réttur áskilinn.