מקררי לייזר חיוניים להבטחת איכות חיתוך פרוסות בייצור מוליכים למחצה. על ידי ניהול טמפרטורה ומזעור מתח תרמי, הם עוזרים להפחית כתמים, סתתים ואי-סדירות פני השטח. קירור אמין משפר את יציבות הלייזר ומאריך את חיי הציוד, ותורם לתפוקת שבבים גבוהה יותר.
ופלים הם החומר הבסיסי בייצור מוליכים למחצה, המשמשים כמצעים למעגלים משולבים והתקנים מיקרואלקטרוניים אחרים. פרוסות עשויות בדרך כלל מסיליקון חד-גבישי, חלקות, שטוחות ובדרך כלל בעובי של 0.5 מ"מ, עם קטרים נפוצים של 200 מ"מ (8 אינץ') או 300 מ"מ (12 אינץ'). תהליך הייצור מורכב ביותר, הכולל טיהור סיליקון, חיתוך מטיל, ליטוש פרוסות, פוטוליטוגרפיה, תחריט, השתלת יונים, ציפוי אלקטרוליטי, בדיקת פרוסות ולבסוף, חיתוך פרוסות. בשל תכונות החומר שלהם, פרוסות דורשות בקרה קפדנית על טוהר, שטוחות ושיעורי פגמים, שכן אלה משפיעים ישירות על ביצועי השבב.
אתגרי קוביות רקות נפוצות
טכנולוגיית חיתוך לייזר מאומצת באופן נרחב בעיבוד פרוסות בשל הדיוק הגבוה ויתרונותיה ללא מגע. עם זאת, מספר בעיות איכות עשויות להתעורר במהלך חיתוך הקוביות:
כתמים וסתתים: פגמים אלה נובעים לעתים קרובות מקירור לא מספק או כלי חיתוך בלויים. שיפור מערכת הקירור על ידי שדרוג קיבולת הצ'ילר והגברת זרימת המים יכולים לסייע בהפחתת חימום לא אחיד ולמזעור נזקי קצה.
דיוק חיתוך מופחת: נגרמת ממיקום לקוי של המכונה, שולחנות עבודה לא יציבים או פרמטרי חיתוך שגויים. ניתן לשחזר את הדיוק על ידי שיפור כיול המכונה ואופטימיזציה של הגדרות הפרמטרים.
משטחי חיתוך לא אחידים: בלאי להב, הגדרות לא מתאימות או אי יישור ציר עלולים להוביל לאי-סדירות פני השטח. תחזוקה שוטפת וכיול מחדש של המכונה חיוניים כדי להבטיח חתך חלק.
תפקידם של צ'ילרים בלייזר בקוביות רקיקות
לצ'ילרים ללייזר יש תפקיד חיוני בשמירה על הביצועים והיציבות של מערכות לייזר ואופטיות המשמשות לחיתוך קוביות פרוסות. על ידי אספקת בקרת טמפרטורה מדויקת, הם מונעים סחיפה של אורך גל הלייזר הנגרמת על ידי תנודות טמפרטורה, שהיא קריטית לשמירה על דיוק החיתוך. קירור יעיל גם ממזער מתח תרמי במהלך חיתוך לקוביות, ומפחית את הסיכון לעיוות סריג, סתתים או סדקים מיקרו שעלולים לפגוע באיכות הפרוסות.
בנוסף, צ'ילרים בלייזר משתמשים במערכת קירור מים בלולאה סגורה המבודדת את מעגל הקירור מזיהום חיצוני. עם מערכות ניטור ואזעקה משולבות, הן משפרות משמעותית את האמינות ארוכת הטווח של ציוד לחיתוך פרוסות.
מכיוון שאיכות חיתוך הקוביות משפיעה ישירות על תפוקת השבבים, שילוב של מצנן לייזר אמין עוזר למזער פגמים נפוצים ולשמור על ביצועים עקביים. בחירת הצ'ילר המתאים בהתבסס על העומס התרמי וסביבת הפעולה של מערכת הלייזר, יחד עם תחזוקה שוטפת, היא המפתח להבטחת פעולה יציבה ויעילה.
אנחנו כאן בשבילך כשאתה צריך אותנו.
אנא מלא את הטופס כדי ליצור איתנו קשר, ונשמח לעזור לך.
זכויות יוצרים © 2025 TEYU S&A Chiller - כל הזכויות שמורות.