ლაზერული ჩილერები აუცილებელია ნახევარგამტარების წარმოებაში ვაფლის ჭრის ხარისხის უზრუნველსაყოფად. ტემპერატურის მართვით და თერმული სტრესის მინიმუმამდე შემცირებით, ისინი ხელს უწყობენ ნაოჭების, ჩიპების და ზედაპირული დარღვევების შემცირებას. საიმედო გაგრილება აძლიერებს ლაზერის სტაბილურობას და ახანგრძლივებს აღჭურვილობის სიცოცხლეს, რაც ხელს უწყობს ჩიპის უფრო მაღალ გამომუშავებას.
ვაფლი არის ფუნდამენტური მასალა ნახევარგამტარების წარმოებაში, რომელიც ემსახურება როგორც სუბსტრატს ინტეგრირებული სქემებისა და სხვა მიკროელექტრონული მოწყობილობებისთვის. როგორც წესი, დამზადებულია მონოკრისტალური სილიკონისგან, ვაფლი არის გლუვი, ბრტყელი და ჩვეულებრივ 0,5 მმ სისქით, საერთო დიამეტრით 200 მმ (8 ინჩი) ან 300 მმ (12 ინჩი). წარმოების პროცესი უაღრესად რთულია, მოიცავს სილიკონის გაწმენდას, ინგოტის დაჭრას, ვაფლის გაპრიალებას, ფოტოლითოგრაფიას, ოხრავს, იონის იმპლანტაციას, ელექტრული მოპირკეთებას, ვაფლის ტესტირებას და ბოლოს, ვაფლის დაჭრას. მათი მატერიალური თვისებების გამო, ვაფლი მოითხოვს მკაცრ კონტროლს სისუფთავეზე, სიბრტყეზე და დეფექტების სიხშირეზე, რადგან ეს პირდაპირ გავლენას ახდენს ჩიპის მუშაობაზე.
ვაფლის ჭრის საერთო გამოწვევები
ლაზერული კამათლების ტექნოლოგია ფართოდ არის მიღებული ვაფლის დამუშავებაში მისი მაღალი სიზუსტისა და უკონტაქტო უპირატესობების გამო. თუმცა, კუბების დაჭრის დროს შეიძლება წარმოიშვას რამდენიმე ხარისხის პრობლემა:
ბურუსი და ჩირქი: ეს დეფექტები ხშირად გამოწვეულია არაადეკვატური გაგრილებით ან ნახმარი საჭრელი ხელსაწყოებით. გაგრილების სისტემის გაძლიერება ჩილერის სიმძლავრის განახლებით და წყლის ნაკადის გაზრდით შეიძლება დაეხმაროს არათანაბარი გათბობის შემცირებას და კიდეების დაზიანების მინიმუმამდე შემცირებას.
შემცირებული ჭრის სიზუსტე: გამოწვეულია მანქანის ცუდი პოზიციონირებით, არასტაბილური სამუშაო მაგიდებით ან არასწორი ჭრის პარამეტრებით. სიზუსტის აღდგენა შესაძლებელია მანქანის კალიბრაციის გაუმჯობესებით და პარამეტრების პარამეტრების ოპტიმიზაციის გზით.
არათანაბარი ჭრის ზედაპირები: დანის ცვეთა, არასწორი პარამეტრები ან ზურგის არასწორად განლაგება შეიძლება გამოიწვიოს ზედაპირის დარღვევები. რეგულარული მოვლა და მანქანის ხელახალი კალიბრაცია აუცილებელია გლუვი ჭრის უზრუნველსაყოფად.
ლაზერული ჩილერების როლი ვაფლის კამათებში
ლაზერული ჩილერები მნიშვნელოვან როლს ასრულებენ ლაზერული და ოპტიკური სისტემების მუშაობისა და სტაბილურობის შენარჩუნებაში, რომლებიც გამოიყენება ვაფლის კამათებში. ზუსტი ტემპერატურის კონტროლის მიწოდებით, ისინი ხელს უშლიან ლაზერის ტალღის სიგრძის დრიფტს, რომელიც გამოწვეულია ტემპერატურის რყევებით, რაც გადამწყვეტია ჭრის სიზუსტის შესანარჩუნებლად. ეფექტური გაგრილება ასევე ამცირებს თერმულ სტრესს კამათლების დაჭრის დროს, ამცირებს გისოსების დამახინჯების, ჩიპების ან მიკრობზარების რისკს, რამაც შეიძლება ზიანი მიაყენოს ვაფლის ხარისხს.
გარდა ამისა, ლაზერული ჩილერები იყენებენ დახურული მარყუჟის წყლის გაგრილების სისტემას, რომელიც იზოლირებს გაგრილების წრეს გარე დაბინძურებისგან. ინტეგრირებული მონიტორინგისა და განგაშის სისტემებით, ისინი მნიშვნელოვნად აძლიერებენ ვაფლის საჭრელი აღჭურვილობის გრძელვადიან საიმედოობას.
ვინაიდან ვაფლის ჭრის ხარისხი პირდაპირ გავლენას ახდენს ჩიპის მოსავლიანობაზე, საიმედო ლაზერული ჩილერის ჩართვა ხელს უწყობს საერთო დეფექტების მინიმუმამდე შემცირებას და თანმიმდევრული მუშაობის შენარჩუნებას. შესაბამისი ჩილერის არჩევა ლაზერული სისტემის თერმული დატვირთვისა და სამუშაო გარემოდან გამომდინარე, რეგულარულ მოვლასთან ერთად, არის გასაღები სტაბილური და ეფექტური მუშაობის უზრუნველსაყოფად.
ჩვენ აქ ვართ თქვენთვის, როცა დაგჭირდებათ.
გთხოვთ შეავსოთ ფორმა ჩვენთან დასაკავშირებლად და მოხარული ვიქნებით დაგეხმაროთ.
საავტორო უფლება © 2025 TEYU S&A Chiller - ყველა უფლება დაცულია.