Пластиналар жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө негизги материал болуп саналат, интегралдык микросхемалар жана башка микроэлектрондук түзүлүштөр үчүн субстрат катары кызмат кылат. Адатта монокристаллдык кремнийден жасалган пластиналар жылмакай, жалпак жана адатта 0,5 мм калыңдыкта, жалпы диаметрлери 200 мм (8 дюйм) же 300 мм (12 дюйм) болот. Өндүрүш процесси өтө татаал, ал кремнийди тазалоону, куйманы кесүүнү, пластинаны жылтыратуу, фотолитографияны, оюуну, ион имплантациясын, электрокаптоону, пластинаны сыноону жана акырында пластинаны майдалоону камтыйт. Материалдык касиеттеринен улам, пластиналар тазалыкка, жалпактыкка жана кемчиликтердин көрсөткүчтөрүнө катуу көзөмөлдү талап кылат, анткени булар чиптин иштешине түздөн-түз таасир этет.
Вафли менен кесүү боюнча кеңири таралган кыйынчылыктар
Лазердик кесүү технологиясы жогорку тактыгы жана контактсыз артыкчылыктарынан улам пластина иштетүүдө кеңири колдонулат. Бирок, кесүү учурунда бир нече сапат маселелери келип чыгышы мүмкүн:
Кыйшайып кетүүлөр жана сынып калуулар: Бул кемчиликтер көбүнчө муздатуунун жетишсиздигинен же кесүүчү шаймандардын эскилигинен келип чыгат. Муздатуучунун кубаттуулугун жогорулатуу жана суунун агымын көбөйтүү менен муздатуу системасын жакшыртуу бирдей эмес ысытууну азайтууга жана четтеринин бузулушун азайтууга жардам берет.
Кесүү тактыгынын төмөндөшү: Машинанын туура эмес жайгашуусунан, туруксуз жумушчу столдордон же туура эмес кесүү параметрлеринен улам келип чыгат. Тактыкты машинанын калибрлөөсүн жакшыртуу жана параметрлердин жөндөөлөрүн оптималдаштыруу менен калыбына келтирүүгө болот.
Тегиз эмес кесилген беттер: Пычактын эскириши, туура эмес жөндөөлөр же шпиндельдин туура эмес жайгашуусу беттин тегиз эместигине алып келиши мүмкүн. Жылмакай кесүүнү камсыз кылуу үчүн үзгүлтүксүз техникалык тейлөө жана машинаны кайра калибрлөө зарыл.
Лазердик муздаткычтардын вафли кесүүдө ролу
Лазердик муздаткычтар пластина кесүүдө колдонулган лазердик жана оптикалык системалардын иштешин жана туруктуулугун сактоодо маанилүү ролду ойнойт. Так температураны көзөмөлдөө менен, алар кесүүнүн тактыгын сактоо үчүн маанилүү болгон температуранын өзгөрүшүнөн улам пайда болгон лазердик толкун узундугунун жылышынын алдын алат. Натыйжалуу муздатуу ошондой эле кесүү учурундагы жылуулук чыңалууну минималдаштырып, торчолордун бузулушунун, сынып кетүүнүн же пластинанын сапатына доо кетириши мүмкүн болгон микрожарыктардын пайда болуу коркунучун азайтат.
Мындан тышкары, лазердик муздаткычтар муздатуу контурун тышкы булгануудан бөлүп турган жабык циклдүү суу муздатуу системасын колдонушат. Интеграцияланган мониторинг жана сигнализация системалары менен алар пластина кесүүчү жабдуулардын узак мөөнөттүү ишенимдүүлүгүн бир топ жогорулатат.
Вафли кесүү сапаты чиптин чыгышына түздөн-түз таасир эткендиктен, ишенимдүү лазердик муздатуучуну колдонуу жалпы кемчиликтерди азайтууга жана туруктуу иштөөнү сактоого жардам берет. Лазердик системанын жылуулук жүктөмүнө жана иштөө чөйрөсүнө негизделген тиешелүү муздатуучуну тандоо, ошондой эле үзгүлтүксүз техникалык тейлөө туруктуу жана натыйжалуу иштөөнү камсыз кылуунун ачкычы болуп саналат.
![Лазердик иштетүүдө вафли кесүү сапатын жакшыртуу]()