Laserové chladiče sú nevyhnutné na zabezpečenie kvality rezania plátkov pri výrobe polovodičov. Riadením teploty a minimalizovaním tepelného namáhania pomáhajú znižovať otrepy, triesky a nerovnosti povrchu. Spoľahlivé chladenie zvyšuje stabilitu lasera a predlžuje životnosť zariadenia, čo prispieva k vyššej výťažnosti čipu.
Doštičky sú základným materiálom pri výrobe polovodičov, slúžia ako substráty pre integrované obvody a iné mikroelektronické zariadenia. Oblátky sú zvyčajne vyrobené z monokryštalického kremíka, hladké, ploché a zvyčajne hrubé 0,5 mm, s bežnými priemermi 200 mm (8 palcov) alebo 300 mm (12 palcov). Výrobný proces je veľmi zložitý, zahŕňa čistenie kremíka, krájanie ingotov, leštenie plátkov, fotolitografiu, leptanie, implantáciu iónov, galvanické pokovovanie, testovanie plátkov a nakoniec rezanie plátkov. Vďaka svojim materiálovým vlastnostiam si doštičky vyžadujú prísnu kontrolu nad čistotou, plochosťou a mierou defektov, pretože tieto priamo ovplyvňujú výkon čipu.
Bežné výzvy pri krájaní oblátok
Technológia laserového krájania je široko používaná pri spracovaní plátkov vďaka svojej vysokej presnosti a bezkontaktným výhodám. Počas krájania však môže vzniknúť niekoľko problémov s kvalitou:
Otrepy a triesky: Tieto chyby sú často výsledkom nedostatočného chladenia alebo opotrebovaných rezných nástrojov. Zlepšenie chladiaceho systému zvýšením kapacity chladiča a zvýšením prietoku vody môže pomôcť znížiť nerovnomerné zahrievanie a minimalizovať poškodenie okrajov.
Znížená presnosť rezu: Spôsobená zlým umiestnením stroja, nestabilnými pracovnými stolmi alebo nesprávnymi parametrami rezu. Presnosť je možné obnoviť zlepšením kalibrácie stroja a optimalizáciou nastavenia parametrov.
Nerovnomerné povrchy rezu: Opotrebenie kotúča, nesprávne nastavenie alebo nesprávne nastavenie vretena môžu viesť k nepravidelnostiam povrchu. Pravidelná údržba a rekalibrácia stroja sú nevyhnutné na zabezpečenie hladkého rezu.
Úloha laserových chladičov pri krájaní plátkov
Laserové chladiče hrajú zásadnú úlohu pri udržiavaní výkonu a stability laserových a optických systémov používaných pri krájaní plátkov. Poskytovaním presnej regulácie teploty zabraňujú posunu vlnovej dĺžky lasera spôsobenému kolísaním teploty, čo je rozhodujúce pre udržanie presnosti rezu. Efektívne chladenie tiež minimalizuje tepelné namáhanie počas krájania, čím sa znižuje riziko deformácie mriežky, odštiepenia alebo mikrotrhlín, ktoré môžu ohroziť kvalitu plátku.
Okrem toho laserové chladiče používajú uzavretý systém vodného chladenia, ktorý izoluje chladiaci okruh od vonkajšej kontaminácie. S integrovanými monitorovacími a poplašnými systémami výrazne zvyšujú dlhodobú spoľahlivosť zariadení na krájanie plátkov.
Keďže kvalita rezania plátkov priamo ovplyvňuje výťažnosť čipov, začlenenie spoľahlivého laserového chladiča pomáha minimalizovať bežné chyby a udržiavať konzistentný výkon. Výber vhodného chladiča na základe tepelného zaťaženia laserového systému a prevádzkového prostredia spolu s pravidelnou údržbou je kľúčom k zabezpečeniu stabilnej a efektívnej prevádzky.
Sme tu pre vás, keď nás potrebujete.
Ak nás chcete kontaktovať, vyplňte formulár a my vám radi pomôžeme.
Autorské práva © 2025 TEYU S&A Chiller - Všetky práva vyhradené.