Laserski hladilniki so bistveni za zagotavljanje kakovosti rezanja rezin v proizvodnji polprevodnikov. Z uravnavanjem temperature in zmanjševanjem toplotne obremenitve pomagajo zmanjšati robove, odkruške in površinske nepravilnosti. Zanesljivo hlajenje izboljša stabilnost laserja in podaljša življenjsko dobo opreme, kar prispeva k večjemu izkoristku čipov.
Plošče so temeljni material v proizvodnji polprevodnikov, ki služijo kot substrati za integrirana vezja in druge mikroelektronske naprave. Običajno izdelane iz monokristalnega silicija, so rezine gladke, ravne in običajno debele 0,5 mm, s običajnim premerom 200 mm (8 palcev) ali 300 mm (12 palcev). Proizvodni proces je zelo zapleten in vključuje čiščenje silicija, rezanje ingota, poliranje rezin, fotolitografijo, jedkanje, ionsko implantacijo, galvanizacijo, testiranje rezin in končno rezanje rezin. Zaradi svojih materialnih lastnosti rezine zahtevajo strog nadzor nad čistostjo, ravnostjo in stopnjo napak, saj ti neposredno vplivajo na zmogljivost čipa.
Pogosti izzivi pri rezanju oblatov
Tehnologija laserskega rezanja je široko uporabljena pri obdelavi rezin zaradi svoje visoke natančnosti in brezkontaktnih prednosti. Vendar pa se lahko med rezanjem na kocke pojavi več težav s kakovostjo:
Zareze in odrgnine: te napake so pogosto posledica neustreznega hlajenja ali obrabljenih rezalnih orodij. Izboljšanje hladilnega sistema z nadgradnjo zmogljivosti hladilnika in povečanjem pretoka vode lahko pomaga zmanjšati neenakomerno segrevanje in zmanjšati poškodbe robov.
Zmanjšana natančnost rezanja: Vzrok je slabo pozicioniranje stroja, nestabilne delovne mize ali nepravilni parametri rezanja. Natančnost je mogoče obnoviti z izboljšanjem kalibracije stroja in optimizacijo nastavitev parametrov.
Neravne rezalne površine: Obraba rezila, nepravilne nastavitve ali neporavnanost vretena lahko povzročijo površinske nepravilnosti. Redno vzdrževanje in ponovno umerjanje stroja sta bistvena za zagotovitev gladkega reza.
Vloga laserskih hladilnikov pri rezanju oblatov
Laserski hladilniki igrajo ključno vlogo pri ohranjanju delovanja in stabilnosti laserskih in optičnih sistemov, ki se uporabljajo pri rezanju rezin. Z zagotavljanjem natančnega nadzora temperature preprečujejo odmik valovne dolžine laserja zaradi temperaturnih nihanj, kar je ključnega pomena za ohranjanje natančnosti rezanja. Učinkovito hlajenje prav tako zmanjša toplotno obremenitev med rezanjem na kocke, s čimer zmanjša tveganje za popačenje rešetke, drobljenje ali mikrorazpoke, ki lahko ogrozijo kakovost rezin.
Poleg tega laserski hladilniki uporabljajo sistem vodnega hlajenja z zaprto zanko, ki izolira hladilni krog pred zunanjo kontaminacijo. Z vgrajenimi nadzornimi in alarmnimi sistemi bistveno povečajo dolgoročno zanesljivost opreme za rezanje oblatov.
Ker kakovost rezanja rezin neposredno vpliva na izkoristek čipov, vključitev zanesljivega laserskega hladilnika pomaga zmanjšati pogoste napake in ohraniti dosledno delovanje. Izbira ustreznega hladilnika glede na toplotno obremenitev laserskega sistema in delovno okolje je skupaj z rednim vzdrževanjem ključnega pomena za zagotavljanje stabilnega in učinkovitega delovanja.
Tukaj smo za vas, ko nas potrebujete.
Izpolnite obrazec, da nas kontaktirate in z veseljem vam bomo pomagali.
Avtorske pravice © 2025 TEYU S&A Chiller - Vse pravice pridržane.