Хабарҳои лазерӣ
Назорати дақиқи ҳарорат барои системаҳои лазерӣ ва барномаҳои саноатӣ аз соли 2002
Забон
Чиллерҳои лазерӣ барои таъмини сифати буридани вафли дар истеҳсоли нимноқилҳо муҳиманд. Бо идоракунии ҳарорат ва кам кардани фишори гармӣ, онҳо ба кам кардани буришҳо, чипҳо ва номунтазамии рӯи замин кӯмак мекунанд. Сардшавии боэътимод устувории лазерро афзоиш медиҳад ва мӯҳлати таҷҳизотро дароз мекунад ва ба ҳосили баландтари чип мусоидат мекунад.
Вафли маводи асоси дар истеҳсоли нимноқилҳо буда, ҳамчун субстрат барои микросхемаҳои интегралӣ ва дигар дастгоҳҳои микроэлектронӣ хизмат мекунанд. Одатан аз кремнийи монокристаллӣ сохта шуда, вафлиҳо ҳамвор, ҳамвор ва одатан ғафсии 0,5 мм буда, диаметри маъмулии 200 мм (8 дюйм) ё 300 мм (12 дюйм) мебошанд. Раванди истеҳсолӣ хеле мураккаб буда, тозакунии кремний, буридани порча, сайқал додани вафли, фотолитография, тайра, имплантацияи ионҳо, электроплинг, санҷиши вафли ва ниҳоят, буридани вафлиро дар бар мегирад. Аз сабаби хосиятҳои моддии худ, вафлиҳо назорати қатъиро аз болои покӣ, ҳамворӣ ва сатҳи нуқсон талаб мекунанд, зеро онҳо бевосита ба кори чип таъсир мерасонанд.
Мушкилоти маъмули буридани вафли
Технологияи буридани лазерӣ дар коркарди вафли аз сабаби дақиқии баланд ва бартариҳои тамоси он ба таври васеъ қабул карда мешавад. Бо вуҷуди ин, ҳангоми буридан якчанд масъалаҳои сифат метавонанд ба миён оянд:
Буррҳо ва чипҳо: Ин нуқсонҳо аксар вақт аз хунуккунии нокифоя ё асбобҳои буриши фарсуда ба вуҷуд меоянд. Такмили системаи хунуккунӣ тавассути такмил додани иқтидори хунуккунӣ ва афзоиши ҷараёни об метавонад ба кам кардани гармии нобаробар ва кам кардани зарари канори он мусоидат кунад.
Дақиқии кам кардани буриш: Бо сабаби ҷойгиршавии нодурусти мошин, мизҳои кории ноустувор ё параметрҳои буриши нодуруст. Дақиқиро тавассути такмил додани калибрченкунии мошин ва оптимизатсияи танзимоти параметр барқарор кардан мумкин аст.
Сатҳи нобаробар буридашуда: фарсудашавии майса, танзимоти номатлуб ё номувофиқи шпиндель метавонад ба номунтазамии рӯи замин оварда расонад. Нигоҳдории мунтазам ва аз нав калибровка кардани мошин барои таъмини буридани ҳамвор муҳим аст.
Нақши хунуккунакҳои лазерӣ дар буридани вафли
Чиллерҳои лазерӣ дар нигоҳ доштани фаъолият ва устувории системаҳои лазерӣ ва оптикӣ, ки дар буридани вафли истифода мешаванд, нақши муҳим мебозанд. Бо расонидани назорати дақиқи ҳарорат, онҳо аз тағирёбии дарозии мавҷҳои лазерӣ, ки аз тағирёбии ҳарорат ба вуҷуд омадаанд, пешгирӣ мекунанд, ки барои нигоҳ доштани дақиқии буридан муҳим аст. Сардшавии муассир инчунин фишори гармиро ҳангоми буридан ба ҳадди ақалл коҳиш медиҳад ва хатари таҳрифи торҳо, чип шудан ё микрокракҳоро, ки метавонанд сифати вафлиро зери хатар гузоранд, коҳиш медиҳад.
Илова бар ин, хунуккунакҳои лазерӣ системаи сардшавии обро истифода мебаранд, ки схемаи хунуккуниро аз ифлосшавии беруна ҷудо мекунад. Бо системаҳои ҳамгирошудаи назорат ва ҳушдор, онҳо эътимоднокии дарозмуддати таҷҳизоти буридани вафлиро ба таври назаррас афзоиш медиҳанд.
Азбаски сифати буридани вафель мустақиман ба ҳосили чип таъсир мерасонад, ворид кардани хунуккунаки лазерии боэътимод ба кам кардани камбудиҳои умумӣ ва нигоҳ доштани кори пайваста мусоидат мекунад. Интихоби хунуккунии мувофиқ дар асоси сарбории гармии системаи лазерӣ ва муҳити корӣ, дар баробари нигоҳдории мунтазам, калиди таъмини кори устувор ва муассир мебошад.
Вақте ки шумо ба мо ниёз доред, мо дар ин ҷо ҳастем.
Лутфан формаро пур кунед, то бо мо тамос гиред ва мо бо омодагӣ ба шумо кӯмак хоҳем кард.
. 
TEYU S&A Chiller дар соли 2002 бо таҷрибаи 23-солаи истеҳсоли чиллер таъсис ёфтааст ва ҳоло ҳамчун пешрави технологияи хунуккунӣ ва шарики боэътимод дар саноати лазерӣ эътироф шудааст.
Copyright © 2025 TEYU S&A Chiller - Ҳама ҳуқуқҳо ҳифз шудаанд.
