การควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำสำหรับระบบเลเซอร์และการใช้งานในอุตสาหกรรมตั้งแต่ปี 2002
ภาษา
เครื่องทำความเย็นด้วยเลเซอร์มีความจำเป็นสำหรับการรับรองคุณภาพการตัดแผ่นเวเฟอร์ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยการจัดการอุณหภูมิและลดความเครียดจากความร้อนให้เหลือน้อยที่สุด เครื่องทำความเย็นจะช่วยลดการเกิดเสี้ยน การแตก และความผิดปกติของพื้นผิว การทำความเย็นที่เชื่อถือได้จะช่วยเพิ่มเสถียรภาพของเลเซอร์และยืดอายุการใช้งานของอุปกรณ์ ส่งผลให้ได้ผลผลิตชิปที่มากขึ้น
เวเฟอร์เป็นวัสดุพื้นฐานในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยทำหน้าที่เป็นสารตั้งต้นสำหรับวงจรรวมและอุปกรณ์ไมโครอิเล็กทรอนิกส์อื่นๆ เวเฟอร์มักทำจากซิลิคอนโมโนคริสตัลไลน์ มีลักษณะเรียบ แบน และโดยปกติจะมีความหนา 0.5 มม. โดยมีเส้นผ่านศูนย์กลางทั่วไป 200 มม. (8 นิ้ว) หรือ 300 มม. (12 นิ้ว) กระบวนการผลิตมีความซับซ้อนสูง ซึ่งเกี่ยวข้องกับการทำให้ซิลิคอนบริสุทธิ์ การตัดแท่งโลหะ การขัดเวเฟอร์ การพิมพ์ด้วยแสง การแกะสลัก การฝังไอออน การชุบด้วยไฟฟ้า การทดสอบเวเฟอร์ และสุดท้ายคือการตัดเวเฟอร์ เนื่องจากคุณสมบัติของวัสดุ เวเฟอร์จึงต้องมีการควบคุมอย่างเข้มงวดในเรื่องความบริสุทธิ์ ความเรียบ และอัตราข้อบกพร่อง เนื่องจากสิ่งเหล่านี้ส่งผลโดยตรงต่อประสิทธิภาพของชิป
ความท้าทายทั่วไปในการหั่นเวเฟอร์
เทคโนโลยีการตัดด้วยเลเซอร์ได้รับการนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในกระบวนการแปรรูปเวเฟอร์ เนื่องจากมีความแม่นยำสูงและข้อดีคือไม่ต้องสัมผัส อย่างไรก็ตาม อาจเกิดปัญหาด้านคุณภาพหลายประการระหว่างการตัดด้วยเลเซอร์:
เสี้ยนและการแตก: ข้อบกพร่องเหล่านี้มักเกิดจากการระบายความร้อนที่ไม่เพียงพอหรือเครื่องมือตัดที่สึกหรอ การปรับปรุงระบบระบายความร้อนโดยเพิ่มความจุของเครื่องทำความเย็นและเพิ่มการไหลของน้ำสามารถช่วยลดความร้อนที่ไม่สม่ำเสมอและลดความเสียหายของขอบได้
ความแม่นยำในการตัดลดลง: เกิดจากการวางตำแหน่งเครื่องจักรที่ไม่ดี โต๊ะทำงานไม่มั่นคง หรือพารามิเตอร์การตัดที่ไม่ถูกต้อง สามารถฟื้นคืนความแม่นยำได้โดยปรับปรุงการสอบเทียบเครื่องจักรและปรับการตั้งค่าพารามิเตอร์ให้เหมาะสม
พื้นผิวที่ตัดไม่เรียบ: การสึกหรอของใบมีด การตั้งค่าที่ไม่เหมาะสม หรือการจัดตำแหน่งแกนหมุนที่ไม่ถูกต้อง อาจทำให้พื้นผิวไม่เรียบได้ การบำรุงรักษาและการปรับเทียบเครื่องจักรเป็นประจำถือเป็นสิ่งสำคัญเพื่อให้แน่ใจว่าจะตัดได้เรียบ
บทบาทของเครื่องทำความเย็นด้วยเลเซอร์ในการตัดเวเฟอร์
เครื่องทำความเย็นด้วยเลเซอร์ มีบทบาทสำคัญในการรักษาประสิทธิภาพและเสถียรภาพของระบบเลเซอร์และระบบออปติกที่ใช้ในการตัดแผ่นเวเฟอร์ ด้วยการควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำ เครื่องทำความเย็นจึงป้องกันการดริฟต์ของความยาวคลื่นเลเซอร์ที่เกิดจากความผันผวนของอุณหภูมิ ซึ่งเป็นสิ่งสำคัญในการรักษาความแม่นยำในการตัด การทำความเย็นที่มีประสิทธิภาพยังช่วยลดความเครียดจากความร้อนระหว่างการตัดแผ่นเวเฟอร์ ซึ่งช่วยลดความเสี่ยงของการบิดเบี้ยวของโครงตาข่าย การแตก หรือรอยแตกเล็กๆ ที่อาจส่งผลต่อคุณภาพของเวเฟอร์
นอกจากนี้ เครื่องทำความเย็นด้วยเลเซอร์ยังใช้ระบบระบายความร้อนด้วยน้ำแบบวงจรปิดที่แยกวงจรระบายความร้อนออกจากการปนเปื้อนจากภายนอก โดยมีระบบตรวจสอบและแจ้งเตือนแบบบูรณาการ จึงช่วยเพิ่มความน่าเชื่อถือของอุปกรณ์ตัดแผ่นเวเฟอร์ได้อย่างมากในระยะยาว
เนื่องจากคุณภาพของการตัดแผ่นเวเฟอร์ส่งผลโดยตรงต่อผลผลิตของชิป การใช้เครื่องทำความเย็นด้วยเลเซอร์ที่เชื่อถือได้ช่วยลดข้อบกพร่องทั่วไปและรักษาประสิทธิภาพที่สม่ำเสมอ การเลือกเครื่องทำความเย็นที่เหมาะสมโดยพิจารณาจากภาระความร้อนและสภาพแวดล้อมการทำงานของระบบเลเซอร์ ควบคู่ไปกับการบำรุงรักษาเป็นประจำ ถือเป็นกุญแจสำคัญในการทำให้การทำงานมีเสถียรภาพและมีประสิทธิภาพ
เราอยู่ที่นี่เพื่อคุณเมื่อคุณต้องการเรา
โปรดกรอกแบบฟอร์มเพื่อติดต่อเรา และเราจะยินดีช่วยเหลือคุณ
TEYU S&A Chiller ก่อตั้งขึ้นในปีพ.ศ. 2545 โดยมีประสบการณ์ด้านการผลิตเครื่องทำความเย็นมากว่า 23 ปี และปัจจุบันได้รับการยอมรับว่าเป็นผู้บุกเบิกเทคโนโลยีการทำความเย็นและพันธมิตรที่เชื่อถือได้ในอุตสาหกรรมเลเซอร์
ลิขสิทธิ์ © 2025 TEYU S&A Chiller - สงวนลิขสิทธิ์
