Прецизен контрол на температурата за лазерни системи и промишлени приложения от 2002 г.
Език
Лазерните охладители са от съществено значение за осигуряване на качество на нарязване на пластини в производството на полупроводници. Чрез управление на температурата и минимизиране на термичния стрес, те помагат за намаляване на неравностите, начупването и повърхностните неравности. Надеждното охлаждане подобрява стабилността на лазера и удължава живота на оборудването, като допринася за по-висок добив на чипове.
Вафлите са основният материал в производството на полупроводници, служещи като субстрати за интегрални схеми и други микроелектронни устройства. Обикновено направени от монокристален силиций, пластините са гладки, плоски и обикновено с дебелина 0,5 mm, с обичайни диаметри от 200 mm (8 инча) или 300 mm (12 инча). Производственият процес е изключително сложен, включващ пречистване на силиций, нарязване на слитък, полиране на пластини, фотолитография, ецване, йонна имплантация, галванопластика, тестване на пластини и накрая нарязване на пластини. Поради свойствата на материала си, вафлите изискват строг контрол върху чистотата, плоскостта и процента на дефектите, тъй като те пряко влияят върху производителността на чипа.
Често срещани предизвикателства при рязане на вафли
Технологията за лазерно нарязване е широко разпространена в обработката на вафли поради високата си точност и безконтактни предимства. По време на рязане на кубчета обаче могат да възникнат няколко проблема с качеството:
Неравности и наранявания: Тези дефекти често са резултат от неадекватно охлаждане или износени режещи инструменти. Подобряването на охладителната система чрез надграждане на капацитета на охладителя и увеличаване на водния поток може да помогне за намаляване на неравномерното нагряване и минимизиране на щетите по ръбовете.
Намалена точност на рязане: Причинява се от лошо позициониране на машината, нестабилни работни маси или неправилни параметри на рязане. Точността може да бъде възстановена чрез подобряване на калибрирането на машината и оптимизиране на настройките на параметрите.
Неравни повърхности на рязане: Износването на острието, неправилните настройки или разместването на шпиндела могат да доведат до неравности по повърхността. Редовната поддръжка и повторното калибриране на машината са от съществено значение за осигуряване на гладко рязане.
Роля на лазерните охладители при рязане на вафли
Лазерните охладители играят жизненоважна роля за поддържане на производителността и стабилността на лазерните и оптичните системи, използвани при рязане на вафли. Като осигуряват прецизен температурен контрол, те предотвратяват дрейфа на дължината на вълната на лазера, причинен от температурни колебания, което е критично за поддържане на точността на рязане. Ефективното охлаждане също минимизира термичния стрес по време на нарязване, намалявайки риска от изкривяване на решетката, отчупване или микропукнатини, които могат да компрометират качеството на пластините.
В допълнение, лазерните чилъри използват система за водно охлаждане със затворен контур, която изолира охлаждащата верига от външно замърсяване. С интегрирани системи за наблюдение и аларма, те значително подобряват дългосрочната надеждност на оборудването за рязане на вафли.
Тъй като качеството на нарязване на вафли пряко влияе върху добива на чипове, включването на надежден лазерен охладител помага за минимизиране на често срещаните дефекти и поддържа постоянна производителност. Изборът на подходящ чилър въз основа на термичното натоварване на лазерната система и работната среда, заедно с редовната поддръжка, е от ключово значение за осигуряване на стабилна и ефективна работа.
Ние сме тук за вас, когато имате нужда от нас.
Моля, попълнете формата, за да се свържете с нас и ние ще се радваме да ви помогнем.
TEYU S&A Chiller е основана през 2002 г. с 23 години опит в производството на чилъри и сега е призната за пионер в технологиите за охлаждане и надежден партньор в лазерната индустрия.
Авторско право © 2025 TEYU S&A Chiller - Всички права запазени.
