Пластиналар жартылай өткізгіш өндірісіндегі негізгі материал болып табылады, интегралдық схемалар мен басқа да микроэлектрондық құрылғылар үшін негіз ретінде қызмет етеді. Әдетте монокристалды кремнийден жасалған пластиналар тегіс, жалпақ және әдетте 0,5 мм қалыңдықта болады, жалпы диаметрі 200 мм (8 дюйм) немесе 300 мм (12 дюйм). Өндіріс процесі өте күрделі, оған кремнийді тазарту, құйма кесу, пластинаны жылтырату, фотолитография, ою, иондық имплантация, гальваникалық қаптау, пластинаны сынау және соңында пластинаны турау кіреді. Материалдық қасиеттеріне байланысты пластиналар тазалықты, жалпақтықты және ақаулық деңгейін қатаң бақылауды талап етеді, себебі бұлар чиптің жұмысына тікелей әсер етеді.
Вафлиді кесу бойынша жиі кездесетін қиындықтар
Лазерлік турау технологиясы жоғары дәлдік пен жанаспайтын артықшылықтарына байланысты пластиналарды өңдеуде кеңінен қолданылады. Дегенмен, турау кезінде бірнеше сапа мәселелері туындауы мүмкін:
Қытырлақтар мен сынықтар: Бұл ақаулар көбінесе салқындатудың жеткіліксіздігінен немесе кескіш құралдардың тозуынан болады. Салқындатқыштың сыйымдылығын арттыру және су ағынын арттыру арқылы салқындату жүйесін жақсарту біркелкі емес қыздыруды азайтуға және шеттерінің зақымдануын азайтуға көмектеседі.
Кесу дәлдігінің төмендеуі: Машинаның дұрыс орналаспауынан, тұрақсыз жұмыс үстелдерінен немесе дұрыс емес кесу параметрлерінен туындайды. Дәлдікті машинаны калибрлеуді жақсарту және параметр параметрлерін оңтайландыру арқылы қалпына келтіруге болады.
Тегіс емес кесу беттері: Пышақтың тозуы, дұрыс емес параметрлер немесе шпиндельдің тураланбауы беттің тегіс емес болуына әкелуі мүмкін. Тегіс кесуді қамтамасыз ету үшін машинаны үнемі техникалық қызмет көрсету және қайта калибрлеу қажет.
Лазерлік салқындатқыштардың пластиналарды кесудегі рөлі
Лазерлік салқындатқыштар пластиналарды кесуде қолданылатын лазерлік және оптикалық жүйелердің өнімділігі мен тұрақтылығын сақтауда маңызды рөл атқарады. Дәл температураны бақылауды қамтамасыз ету арқылы олар кесу дәлдігін сақтау үшін маңызды болып табылатын температураның ауытқуынан туындайтын лазерлік толқын ұзындығының ауытқуын болдырмайды. Тиімді салқындату сонымен қатар кесу кезіндегі термиялық кернеуді азайтады, тордың бұрмалану, сыну немесе пластина сапасына нұқсан келтіруі мүмкін микрожарықтардың пайда болу қаупін азайтады.
Сонымен қатар, лазерлік салқындатқыштар салқындату тізбегін сыртқы ластанудан оқшаулайтын тұйықталған сумен салқындату жүйесін пайдаланады. Кіріктірілген бақылау және дабыл жүйелерімен олар пластиналарды турау жабдықтарының ұзақ мерзімді сенімділігін айтарлықтай арттырады.
Вафлиді турау сапасы чиптің шығуына тікелей әсер ететіндіктен, сенімді лазерлік салқындатқышты пайдалану жиі кездесетін ақауларды азайтуға және тұрақты өнімділікті сақтауға көмектеседі. Лазерлік жүйенің жылу жүктемесі мен жұмыс ортасына негізделген тиісті салқындатқышты таңдау, сондай-ақ үнемі техникалық қызмет көрсету тұрақты және тиімді жұмыс істеуді қамтамасыз етудің кілті болып табылады.
![Лазерлік өңдеуде пластиналарды турау сапасын жақсарту]()