Kí Ni Àwọn Ìṣòro Ṣíṣe Ìdènà Wafer Tó Wọ́pọ̀, Báwo Ni Àwọn Atupa Laser Ṣe Lè Ran Lọ́wọ́?

Àwọn wafer jẹ́ ohun èlò ìpìlẹ̀ nínú iṣẹ́-ṣíṣe semiconductor, wọ́n ń ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí àwọn ohun èlò ìṣàpẹẹrẹ fún àwọn iyika tí a ti ṣepọ àti àwọn ẹ̀rọ microelectronic mìíràn. A sábà máa ń fi silikoni monocrystalline ṣe é, àwọn wafer jẹ́ dídán, títẹ́jú, àti nínípọn 0.5 mm, pẹ̀lú àwọn ìwọ̀n ìlà tí ó wọ́pọ̀ ti 200 mm (8 inches) tàbí 300 mm (12 inches). Ìlànà iṣẹ́-ṣíṣe náà jẹ́ ohun tí ó díjú gan-an, tí ó ní nínú ìwẹ̀nùmọ́ silikoni, gígé ingot, lílo wafer polishing, photolithography, etching, ion implantation, electroplating, ìdánwò wafer, àti nígbẹ̀yìn gbẹ́yín, dicing wafer. Nítorí àwọn ànímọ́ ohun èlò wọn, àwọn wafer nílò ìṣàkóso tí ó muna lórí ìwẹ̀nùmọ́, fífẹ̀, àti ìwọ̀n àbùkù, nítorí pé àwọn wọ̀nyí ní ipa taara lórí iṣẹ́ chip.

Àwọn Ìpèníjà Dídì Wáfà Tó Wọ́pọ̀

Ìmọ̀ ẹ̀rọ dígí lésà ni a gba ní gbogbogbòò nínú ṣíṣe wafer nítorí pé ó ní àwọn àǹfààní tó péye àti àìfọwọ́kàn. Síbẹ̀síbẹ̀, ọ̀pọ̀lọpọ̀ ìṣòro dídára lè dìde nígbà dígí:

Burrs àti Chipping: Àwọn àbùkù wọ̀nyí sábà máa ń jẹ́ nítorí àìtó ìtútù tàbí àwọn irinṣẹ́ gígé tí ó ti bàjẹ́. Mímú ètò ìtútù sunwọ̀n síi nípa mímú agbára ìtútù sunwọ̀n síi àti mímú omi pọ̀ síi lè ran lọ́wọ́ láti dín ìgbóná tí kò dọ́gba kù àti láti dín ìbàjẹ́ etí kù.

Dídínkù sí Gígé: Ó ń ṣẹlẹ̀ nítorí ipò tí kò dára nínú ẹ̀rọ, àwọn ibi iṣẹ́ tí kò dúró dáadáa, tàbí àwọn pàrámítà gígé tí kò tọ́. A lè mú kí ó péye nípa mímú kí ẹ̀rọ náà túbọ̀ ṣiṣẹ́ dáadáa àti ṣíṣe àtúnṣe sí àwọn ètò pàrámítà.

Àwọn Ilẹ̀ Gígé Tí Kò Déédé: Abẹ́ tí ó bàjẹ́, àwọn ìtò tí kò tọ́, tàbí ìtò spindle tí kò tọ́ lè fa àìdọ́gba ojú ilẹ̀. Ìtọ́jú déédéé àti àtúnṣe ẹ̀rọ ṣe pàtàkì láti rí i dájú pé gígé náà rọrùn.

Ipa ti awọn ẹrọ amúlétutù laser ni Wafer Dicing

Àwọn ẹ̀rọ amúlétutù lésà ń kó ipa pàtàkì nínú mímú iṣẹ́ àti ìdúróṣinṣin àwọn ẹ̀rọ amúlétutù lésà àti optíkì tí a lò nínú dídì wafer. Nípa fífúnni ní ìṣàkóso ìwọ̀n otútù tó péye, wọ́n ń dènà ìyípadà ìgbì omi lésà tí ìyípadà ìwọ̀n otútù ń fà, èyí tí ó ṣe pàtàkì fún mímú kí ìtútù náà péye. Ìtútù tó munadoko tún ń dín wahala ooru kù nígbà dídì, ó sì ń dín ewu ìyípadà lattice, dídì, tàbí microcracks tí ó lè ba dídára wafer jẹ́ kù.

Ní àfikún, àwọn ẹ̀rọ ìtútù lésà ń lo ètò ìtútù omi tí a ti sé papọ̀ tí ó ya àyíká ìtútù sọ́tọ̀ kúrò nínú ìbàjẹ́ òde. Pẹ̀lú àwọn ètò ìṣàyẹ̀wò àti ìkìlọ̀ tí a ti ṣepọ, wọ́n ń mú kí ìgbẹ́kẹ̀lé ìgbà pípẹ́ ti àwọn ẹ̀rọ ìtútù wafer pọ̀ sí i gidigidi.

Nítorí pé dídára ìdènà wafer ní ipa lórí ìyọrísí ìyẹ̀fun, fífi ẹ̀rọ ìdènà laser tó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé sílò ń dín àwọn àbùkù tó wọ́pọ̀ kù àti láti máa ṣiṣẹ́ déédéé. Yíyan ẹ̀rọ ìdènà tó yẹ ní ìbámu pẹ̀lú ẹrù ooru àti àyíká iṣẹ́ ẹ̀rọ laser, pẹ̀lú ìtọ́jú déédéé, jẹ́ pàtàkì láti rí i dájú pé iṣẹ́ rẹ̀ dúró ṣinṣin àti pé ó gbéṣẹ́.