Лазерні новини
Точний контроль температури для лазерних систем та промислового застосування з 2002 року
Мова
Лазерні охолоджувачі необхідні для забезпечення якості нарізки пластин у виробництві напівпровідників. Керуючи температурою та мінімізуючи температурний стрес, вони допомагають зменшити задирки, відколи та нерівності поверхні. Надійне охолодження підвищує стабільність лазера та подовжує термін служби обладнання, сприяючи більшій продуктивності мікросхем.
Пластини є основоположним матеріалом у виробництві напівпровідників, які служать підкладками для інтегральних схем та інших мікроелектронних пристроїв. Пластини, як правило, виготовлені з монокристалічного кремнію, є гладкими, плоскими і зазвичай мають товщину 0,5 мм, із звичайним діаметром 200 мм (8 дюймів) або 300 мм (12 дюймів). Виробничий процес дуже складний і включає очищення кремнію, нарізку зливків, полірування пластин, фотолітографію, травлення, іонну імплантацію, гальванічне покриття, випробування пластин і, нарешті, нарізку пластин. Завдяки властивостям матеріалу пластини вимагають суворого контролю за чистотою, площинністю та рівнем дефектів, оскільки вони безпосередньо впливають на продуктивність чіпа.
Поширені проблеми з нарізанням вафельних кубиків
Завдяки високій точності та перевагам безконтактності технологія лазерного нарізання широко поширена в обробці пластин. Однак під час нарізання кубиками можуть виникнути деякі проблеми з якістю:
Задирки та відколи: ці дефекти часто є результатом недостатнього охолодження або зношених ріжучих інструментів. Удосконалення системи охолодження шляхом підвищення потужності холодильної машини та збільшення потоку води може допомогти зменшити нерівномірне нагрівання та звести до мінімуму пошкодження країв.
Знижена точність різання: спричинена неправильним розташуванням машини, нестабільними робочими столами або неправильними параметрами різання. Точність можна відновити шляхом покращення калібрування машини та оптимізації налаштувань параметрів.
Нерівні поверхні різу: знос леза, неправильне налаштування або зміщення шпинделя можуть призвести до нерівностей поверхні. Регулярне технічне обслуговування та повторне калібрування машини необхідні для забезпечення гладкого різу.
Роль лазерних охолоджувачів у нарізанні пластин
Лазерні охолоджувачі відіграють важливу роль у підтримці продуктивності та стабільності лазерних і оптичних систем, які використовуються для нарізання пластин. Забезпечуючи точний контроль температури, вони запобігають дрейфу довжини хвилі лазера, спричиненому коливаннями температури, що є критичним для підтримки точності різання. Ефективне охолодження також мінімізує термічне навантаження під час нарізання, зменшуючи ризик викривлення решітки, відколів або мікротріщин, які можуть погіршити якість пластини.
Крім того, в лазерних чиллерах використовується замкнута система водяного охолодження, яка ізолює контур охолодження від зовнішнього забруднення. Завдяки інтегрованим системам моніторингу та сигналізації вони значно підвищують довгострокову надійність обладнання для нарізання вафель.
Оскільки якість нарізання пластин безпосередньо впливає на вихід стружки, використання надійного лазерного охолоджувача допомагає мінімізувати типові дефекти та підтримувати постійну продуктивність. Вибір відповідного холодильного агрегату на основі теплового навантаження лазерної системи та робочого середовища, а також регулярне технічне обслуговування є ключовими для забезпечення стабільної та ефективної роботи.
Ми тут для вас, коли ми вам потрібні.
Будь ласка, заповніть форму, щоб зв'язатися з нами, і ми будемо раді вам допомогти.
Компанія TEYU S&A Chiller була заснована у 2002 році з 23-річним досвідом виробництва чилерів, і зараз визнана піонером технологій охолодження та надійним партнером у лазерній галузі.
Авторське право © 2025 TEYU S&A Chiller - Усі права захищено.
