Laser Nuus
Presiese temperatuurbeheer vir laserstelsels en industriële toepassings sedert 2002
Taal
Die MIIT se 2024-riglyne bevorder volproses-lokalisering vir 28nm+-skyfievervaardiging, 'n belangrike tegnologiese mylpaal. Sleutelvorderings sluit in KrF- en ArF-litografiemasjiene, wat hoë-presisiekringe moontlik maak en die industrie se selfstandigheid bevorder. Presiese temperatuurbeheer is noodsaaklik vir hierdie prosesse, met TEYU CWUP-waterverkoelers wat stabiele werkverrigting in halfgeleiervervaardiging verseker.
In onlangse maande het die Ministerie van Nywerheid en Inligtingstegnologie (MIIT) die "Riglyne vir die bevordering en toepassing van eerste (stel) groot tegniese toerusting (2024-uitgawe)" uitgereik. Dit baan die weg vir volproses-lokalisering van volwasse chip-vervaardiging vir nodusse bo 28nm!
Alhoewel 28nm-tegnologie nie die nuutste is nie, is dit beduidend belangrik as die skeidslyn tussen lae-tot-middelpunt- en middel-tot-hoëpuntskyfies. Afgesien van gevorderde SVE's, GPU's en AI-skyfies, maak die meeste industriële-graad-skyfies staat op 28nm of hoër tegnologie.
Werksbeginsel: Vooruitgang in diep ultravioletlitografie
KrF (Krypton Fluoried) en ArF (Argon Fluoride) litografiemasjiene val onder die kategorie van Deep Ultraviolet (DUV) litografie. Albei gebruik spesifieke liggolflengtes wat deur optiese stelsels op die fotoweerstandlaag van 'n silikonwafel geprojekteer word, wat ingewikkelde stroombaanpatrone oordra.
KrF Litografiemasjiene: Gebruik 'n 248nm golflengte ligbron, wat resolusies onder 110nm bereik, geskik vir verskeie geïntegreerde stroombaan vervaardigingsprosesse.
ArF-litografiemasjiene: Gebruik 'n 193nm golflengte ligbron, wat hoër resolusie bied vir sub-65nm proses tegnologieë, wat die vervaardiging van fyner stroombane moontlik maak.
Tegnologiese betekenis: Bedryfsopgradering en selfstandigheid
Die ontwikkeling van hierdie litografiemasjiene is 'n groot mylpaal in die bevordering van halfgeleiervervaardiging en die bereiking van industriële outonomie:
Tegniese deurbrake: Die suksesvolle skepping van KrF- en ArF-litografiemasjiene beklemtoon aansienlike vordering in hoë-end litografietegnologie, wat robuuste tegniese ondersteuning bied vir halfgeleiervervaardiging.
Bedryfsopgradering: Hoë-presisie litografiemasjiene maak die produksie van meer komplekse en hoëprestasie geïntegreerde stroombane moontlik, wat innovasie oor die hele halfgeleierwaardeketting dryf.
Ekonomiese en Nasionale Veiligheid: Deur afhanklikheid van buitelandse tegnologie te verminder, versterk hierdie masjiene die binnelandse halfgeleierbedryf se selfvoorsiening, wat ekonomiese en industriële sekuriteit versterk.
Water Chiller : Die sleutel tot stabiele litografiemasjienprestasie
Presiese temperatuurbeheer is noodsaaklik om die kwaliteit en opbrengs van die litografieproses te verseker. Waterverkoelers, as kernkomponente van verkoelingstelsels, speel 'n belangrike rol:
Verkoelingsvereistes: Litografiemasjiene is uiters sensitief vir temperatuurskommelings tydens blootstelling, wat waterverkoelers noodsaak wat hoogs akkurate en stabiele temperatuurbeheer bied.
Funksies van verkoelers: Deur koelwater te sirkuleer, versprei verkoelers hitte wat tydens werking gegenereer word effektief, hou lasertoerusting binne 'n optimale temperatuurreeks en verseker akkuraatheid en betroubaarheid in die litografieproses.
TEYU Chiller bied professionele verkoelingsoplossings vir litografiemasjiene
TEYU CWUP-reeks ultravinnige laserverkoelers kan presiese en stabiele temperatuurbeheer vir litografiemasjiene verskaf. Die verkoelermodel CWUP-20ANP bereik temperatuurstabiliteit van ±0.08°C, wat hoogs doeltreffende verkoeling vir presisievervaardiging lewer.
In die presiese wêreld van halfgeleiervervaardiging is litografiemasjiene die kerntoestelle vir die oordrag van mikrokringpatrone. Met die vooruitgang van tegnologie het kriptonfluoriedlitografiemasjien en argonfluoriedlitografiemasjien 'n belangrike krag geword om die ontwikkeling van die bedryf met hul uitstekende prestasie te bevorder.
Ons is hier vir jou wanneer jy ons nodig het.
Voltooi asseblief die vorm om ons te kontak, en ons sal jou graag help.
TEYU S&A Chiller is in 2002 gestig met 23 jaar se ondervinding in die vervaardiging van verkoelers, en word nou erken as 'n pionier in verkoelingstegnologie en betroubare vennoot in die laserbedryf.
Kopiereg © 2025 TEYU S&A Chiller - Alle regte voorbehou.
